輪廓儀的主要客戶群體300mm集成電路技術封裝生產(chǎn)線檢測集成電路工藝技術研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化國家重點實驗室高效太陽能電池技術研發(fā)、產(chǎn)業(yè)化MEMS技術研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化新型顯示技術研發(fā)、產(chǎn)業(yè)化超高精密表面工程技術輪廓儀是一種兩坐標測量儀器,儀器傳感器相對被測工件表而作勻速滑行,傳感器的觸針感受到被測表而的幾何變化,在X和Z方向分別采樣,并轉(zhuǎn)換成電信號,該電信號經(jīng)放大和處理,再轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號儲存在計算機系統(tǒng)的存儲器中,計算機對原始表而輪廓進行數(shù)字濾波,分離掉表而粗糙度成分后再進行計算,測量結(jié)果為計算出的符介某種曲線的實際值及其離基準點的坐標,或放大的實際輪廓曲線,測量結(jié)果通過顯示器輸出,也可由打印機輸出。(來自網(wǎng)絡)。輪廓儀可用于:微結(jié)構(gòu)均勻性 缺 陷,表面粗糙度。山東輪廓儀輪廓測量應用
輪廓儀對精密加工的意義現(xiàn)代化高新技術的飛速發(fā)展離不開硬件設施和軟件系統(tǒng)的配套支持,在精密加工領域同樣如此,雖然我們在生活中不曾注意到超精密加工產(chǎn)品的“身影”,但是它卻與我們的生活息息相關。例如在光學玻璃、集成電路、汽車零部件、機器人和新器件、航空航天材料、國fang jun工設備等領域,都需要對加工的成品進行檢測,從物體表面光滑到粗糙的參數(shù),其中包含了從納米到微米級別的輪廓、線粗糙度、面粗糙度等二維、三維參數(shù),作為評定該物件是否合格的標準。因此光學輪廓儀應運而生,以下是表面三維輪廓儀對精密加工的作用:自動測量輪廓儀聯(lián)系電話NanoX-8000主設備尺寸:1290(W)x1390(D)x2190(H) mm。
表面三維微觀形貌測量的意義在于,在生產(chǎn)中表面三維微觀形貌對工程零件的許多技術性能的評家具有蕞直接的影響,而且表面三維評定參數(shù)由于能更權面,更真實的反應零件表面的特征及衡量表面的質(zhì)量而越來越受到重視,因此表面三維微觀形貌的測量就越顯重要。通過兌三維形貌的測量可以比較權面的評定表面質(zhì)量的優(yōu)劣,進而確認加工方法的好壞以及設計要求的合理性,這樣就可以反過來通過知道加工,優(yōu)化加工工藝以及加工出高質(zhì)量的表面,確保零件使用功能的實現(xiàn)。表面三位微觀形貌的此類昂方法非常豐富,通??煞譃榻佑|時和非接觸時兩種,其中以非接觸式測量方法為主。
輪廓儀的物鏡知多少?白光干涉輪廓儀是基于白光干涉原理,以三維非接觸時方法測量分析樣片表面形貌的關鍵參數(shù)和尺寸,典型結(jié)果包括:表面形貌(粗糙度,平面度,平行度,臺階高度,錐角等)幾何特征(關鍵孔徑尺寸,曲率半徑,特征區(qū)域的面積和集體,特征圖形的位置和數(shù)量等)白光干涉系統(tǒng)基于無限遠顯微鏡系統(tǒng),通過干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋,使基本的光學顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮鎯x。因此物鏡是輪廓儀*重要部件,物鏡的選擇根據(jù)功能和檢測的精度提出需求,為了滿足各種精度的需求,需要提供各種物鏡,例如標配的10×,還有2.5×,5×,20×,50×,100×,可選。不同的鏡頭價格有很大的差別,因此需要量力根據(jù)需求選配對應的鏡頭哦。幾何特征(關鍵孔徑尺寸,曲率半徑,特征區(qū)域的面積和集體,特征圖形的位置和數(shù)量等)。
NanoX-8000系統(tǒng)主要性能?菜單式系統(tǒng)設置,一鍵式操作,自動數(shù)據(jù)存儲?一鍵式系統(tǒng)校準?支持連接MES系統(tǒng),數(shù)據(jù)可導入SPC?具備異常報警,急停等功能,報警信息可儲存?MTBF≥1500hrs?產(chǎn)能:45s/點(移動+聚焦+測量)(掃描范圍50um)?具備Globalalignment&Unitalignment?自動聚焦范圍:±0.3mm?XY運動速度蕞快如果需要了解更多詳細參數(shù),請聯(lián)系我們岱美儀器技術服務有限公司。我們主要經(jīng)營鍵合機、光刻機、輪廓儀,隔振臺等設備。NanoX-8000隔振系統(tǒng):集成氣浮隔振 + 大理石基石。NanoScopy輪廓儀值得買
共聚焦顯微鏡包括LED光源、旋轉(zhuǎn)多珍孔盤、帶有壓電驅(qū)動器的物鏡和CCD相機。山東輪廓儀輪廓測量應用
NanoX-8000系統(tǒng)主要性能?菜單式系統(tǒng)設置,一鍵式操作,自動數(shù)據(jù)存儲?一鍵式系統(tǒng)校準?支持連接MES系統(tǒng),數(shù)據(jù)可導入SPC?具備異常報警,急停等功能,報警信息可儲存?MTBF≥1500hrs?產(chǎn)能:45s/點(移動+聚焦+測量)(掃描范圍50um)?具備Globalalignment&Unitalignment?自動聚焦范圍:±0.3mm?XY運動速度蕞快表面三維微觀形貌測量的意義在生產(chǎn)中,表面三維微觀形貌對工程零件的許多技術性能的評家具有蕞直接的影響,而且表面三維評定參數(shù)由于能更權面,更真實的反應零件表面的特征及衡量表面的質(zhì)量而越來越受到重視,因此表面三維微觀形貌的測量就越顯重要。通過兌三維形貌的測量可以比較權面的評定表面質(zhì)量的優(yōu)劣,進而確認加工方法的好壞以及設計要求的合理性,這樣就可以反過來通過知道加工,優(yōu)化加工工藝以及加工出高質(zhì)量的表面,確保零件使用功能的實現(xiàn)。表面三位微觀形貌的此類昂方法非常豐富,通??煞譃榻佑|時和非接觸時兩種,其中以非接觸式測量方法為主。山東輪廓儀輪廓測量應用