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晶圓片隔振臺(tái)一級(jí)代理

來源: 發(fā)布時(shí)間:2021-02-27

AVI主動(dòng)隔振臺(tái)

AVI主動(dòng)隔振系統(tǒng)幫助精密儀器在基礎(chǔ)研究、應(yīng)用研究、生產(chǎn)等方面創(chuàng)造穩(wěn)定的測量和生產(chǎn)環(huán)境。AVI系列可以在非常寬的頻率范圍內(nèi)為原子力顯微鏡、非接觸式表面輪廓儀、激光干涉計(jì)、微檢測設(shè)備等提供極好的隔振效果。

AVI 產(chǎn)品特點(diǎn):

· 安置好后只需簡單地調(diào)節(jié)彈簧即可使用。

· 安裝好后參數(shù)不需要調(diào)整。

· 從低頻率起提高一個(gè)隔振環(huán)境。

·控制中心有超載指示燈。


Cu(100)-O表面低溫AFM圖像

如果想要了解更多信息請(qǐng)聯(lián)系我們岱美儀器。 Table Stable通過主動(dòng)控制沒有共振點(diǎn),可以防止低頻范圍的振動(dòng)。晶圓片隔振臺(tái)一級(jí)代理

主動(dòng)式隔震臺(tái)工作機(jī)理

主動(dòng)防振臺(tái)通過電氣控制,向傳入振動(dòng)瞬間施加反方向的力,從而消除振動(dòng)。測振傳感器不斷監(jiān)測振動(dòng),制動(dòng)器根據(jù)這些信號(hào)產(chǎn)生反向力,以保持比較好的隔振狀態(tài)。主動(dòng)式防震臺(tái)專門研究10Hz以下低頻范圍的防震。

(1)實(shí)際測量的振動(dòng)結(jié)果:AVI 主動(dòng)隔振頻率范圍在 1.0Hz

到 200Hz之間。完美的隔振系統(tǒng)可控制很大范圍的頻率。

(2)不同負(fù)載下的振動(dòng)傳遞率:

AVI 的隔振性能在負(fù)載低于 30Hz 以下時(shí)是一個(gè)重要的參照。高頻率范圍內(nèi),隨著隔振負(fù)載增加,隔震效果稍有提升。 高精密儀器隔振臺(tái)超快激光系統(tǒng)防震臺(tái)應(yīng)用主動(dòng)防振臺(tái)通過電氣控制,向傳入振動(dòng)瞬間施加反方向的力,從而消除振動(dòng)。

AVI-600 / LP的每個(gè)單元均可調(diào)節(jié),以適應(yīng)0至600kg的負(fù)載。 對(duì)于任何設(shè)置由兩個(gè)單元組成的系統(tǒng)上的負(fù)載,可在+/- 90kg之間變化,而不必重設(shè)調(diào)整。


***操作系統(tǒng)時(shí),請(qǐng)將前面板隔離開關(guān)設(shè)置為OFF(黑色旋出)。 接通電源。 電源指示燈現(xiàn)在將點(diǎn)亮,并且24個(gè)顯示LED將短暫閃爍。 黃色的使能LED將以大約2 Hz的頻率閃爍。 如果劇烈震動(dòng)存在或如果您將手放在桌面上,則某些或所有LED將閃爍。接通電源約30秒后,您可以將隔離開關(guān)推到ON位置(紅色旋鈕進(jìn)入)。黃色LED現(xiàn)在將長久保持亮起,表明系統(tǒng)處于隔離。






AVI單元和傳感器的方向

隔離單元和LFS傳感器必須正確安裝,這一點(diǎn)很重要取向!LFS控制單元上的每個(gè)D-Sub15插座都有4個(gè)對(duì)應(yīng)于AVI的開關(guān)輸出以任意4個(gè)矩形方向(即平行或成直角)放置的元素。不允許其他方向。


為確保連接正確,請(qǐng)按照下列步驟操作:

面向LFS傳感器的藍(lán)色LED站立。 將***個(gè)AVI元素連接到以下任意一個(gè)后面板上的12個(gè)D-Sub15插座。用筆滑動(dòng)開關(guān)在位置A和D之間。



所有AVI元素必須連接到LFS單元上的插槽。正確的開關(guān)位置對(duì)于獲得良好的性能至關(guān)重要隔離。



Table Stable生產(chǎn)的主動(dòng)式微振動(dòng)控制系統(tǒng)AVI是一款多功能的主動(dòng)式防振系統(tǒng),具有**的防振單元和控制器。

TS-140+40技術(shù)指標(biāo):

頻率                   負(fù)載范圍            尺寸

0,7-1000 Hz           50-180公斤    500 x

600 x 84毫米

隔離:

動(dòng)態(tài)0.7Hz至1kHz無源(超過1kHz)

傳遞率:

參見附件曲線10 Hz以上的透射率<0.01(-40dB)

矯正力:垂直+/- 8 N     水平+/- 4 N

靜態(tài)合規(guī)性:垂直約12 μm

/ N 水平30-40 μm / N

比較大負(fù)載:50-180公斤

尺寸:500 x 600 x

84毫米

重量:28.5公斤


TS-140 +40結(jié)合了久經(jīng)考驗(yàn)的技術(shù)***性與優(yōu)雅且用戶友好的設(shè)計(jì)

這種中型動(dòng)態(tài)隔振系統(tǒng)非常適合所有需要頂板上空間比TS-150更大的應(yīng)用。

在公制(M6 x 25mm)或非公制網(wǎng)格上鉆孔的頂板可將各種設(shè)備安裝在隔離的桌面上。


傳感器LFS-3有一個(gè)單獨(dú)的電源,通過D-Sub25插座連接到LFS-3控制單元。被動(dòng)隔振臺(tái)質(zhì)量怎么樣

Herz 防震臺(tái)/防振臺(tái)是世界上****的防震臺(tái)/防振臺(tái)系統(tǒng)方案供應(yīng)商之一。晶圓片隔振臺(tái)一級(jí)代理

TS特點(diǎn):

◎在全部的6個(gè)自由度范圍內(nèi),從0.7Hz到100Hz,TS系列產(chǎn)品提供優(yōu)良的主動(dòng)隔振性能。

◎當(dāng)儀器裝載時(shí),高度調(diào)整會(huì)自動(dòng)進(jìn)行。

◎即使當(dāng)負(fù)載偏離中心時(shí),自動(dòng)調(diào)平功能也能保持水準(zhǔn)。當(dāng)高重心的儀器被加載時(shí),給予穩(wěn)定性。

◎通過按下前方的按鈕,系統(tǒng)可以鎖定或者解鎖。鎖定功能可以防止在系統(tǒng)重新加載或傳輸中發(fā)生損壞。

◎前方的顯示屏展示了在X,Y和Z方向的實(shí)際振動(dòng)水平。

◎主動(dòng)隔振也可以通過使用可選的遠(yuǎn)程控制箱來從外部啟用或禁用 晶圓片隔振臺(tái)一級(jí)代理

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