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襯底隔振臺(tái)應(yīng)用

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2021-03-29

TS-140+40

TS-140 +40結(jié)合了久經(jīng)考驗(yàn)的技術(shù)特點(diǎn)與優(yōu)雅且用戶友好的設(shè)計(jì)

這種中型動(dòng)態(tài)隔振系統(tǒng)非常適合所有需要頂板上空間比TS-150更大的應(yīng)用。

在公制(M6 x 25mm)或非公制網(wǎng)格上鉆孔的頂板可將各種設(shè)備安裝在隔離的桌面上。


TS-140 +40結(jié)合了久經(jīng)考驗(yàn)的技術(shù)***性與優(yōu)雅且用戶友好的設(shè)計(jì)

TS-140 +40的隔離始于0.7 Hz,超過(guò)10Hz后迅速增加至40db

缺少低頻諧振意味著比大多數(shù)常見(jiàn)的被動(dòng)空氣阻尼方法要好得多

TS系統(tǒng)的固有剛度賦予其出色的方向和位置穩(wěn)定性

TS 140 +40的出色性能包括所有水平和垂直共計(jì)六個(gè)方向的震動(dòng)隔離模式

精確的自動(dòng)高度調(diào)節(jié)機(jī)制即使在負(fù)載發(fā)生重大變化后也能將頂板穩(wěn)定在比較好工作水平

遙控器允許在外部將隔離開關(guān)“打開”和“關(guān)閉”

用戶友好,實(shí)用的操作優(yōu)勢(shì)是創(chuàng)新建筑理念的結(jié)果

TS-140 +40的高度*84毫米

TS 140 +40的重量*為28.5千克 勵(lì)磁箱允許將激勵(lì)信號(hào)施加到TS隔離系統(tǒng),以便該系統(tǒng)可以在任何方向上用作振動(dòng)器。襯底隔振臺(tái)應(yīng)用

LFS控制單元上的每個(gè)D-Sub15插座都有4個(gè)對(duì)應(yīng)于AVI元件的開關(guān)輸出,這些AVI元件以任意4個(gè)矩形方向(即平行或直角)放置,不允許其他方向。

面向LFS傳感器的藍(lán)色LED直立。將***個(gè)AVI元件連接到后面板上的12個(gè)D-Sub15插座中的任何一個(gè)。使用筆在位置A和D之間滑動(dòng)開關(guān)。

傳感器的位置:

傳感器可以移動(dòng)到任何所需位置。它可能位于負(fù)載下方或外部,但必須位于支持AVI元件的同一表面上。連接后,傳感器與AVI單元的方向必須保持不變。

支承面剛度:

支承面的剛度很重要。水平傳感器無(wú)法區(qū)分水平加速度和傾斜。因此,LFS和AVI元件所在的支承面必須盡可能堅(jiān)硬,以便在附近移動(dòng)時(shí)不會(huì)明顯傾斜。傾斜將導(dǎo)致傳感器輸出飽和,隔離將失效。 半導(dǎo)體隔振臺(tái)供應(yīng)商家AVI 400-M緊湊型裝置不需要任何大型安裝工具。

關(guān)鍵詞:主動(dòng)式隔震臺(tái)、主動(dòng)式隔振臺(tái)、主動(dòng)式防振臺(tái)、防振臺(tái)、AVI、Herz、Tablestable、


·AVI系列振動(dòng)傳遞率


橫坐標(biāo)為頻率,縱坐標(biāo)為傳遞率的數(shù)據(jù),在10hz頻率以上時(shí),傳遞率的數(shù)據(jù)小于0.02,很好地起到了隔振作用。

AVI承載不同重量時(shí)不同方向上振動(dòng)衰減的數(shù)據(jù)(實(shí)驗(yàn)室實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù))

垂直方向上的振動(dòng)傳遞衰減,在承重時(shí)10hz的頻率以上時(shí),比較大可以達(dá)到40dB的衰減。隔振效率可以達(dá)到99%以上的效果。10Hz以上的頻率正常情況下是30dB到40dB的衰減。


AVI400-S

AVI 400-S的基本配置包括兩個(gè)緊湊型單元和一個(gè)控制單元,比較大負(fù)載為800公斤。通過(guò)增加緊湊型模塊的數(shù)量,可以輕松實(shí)現(xiàn)對(duì)更高負(fù)載的支持。為了使AVI400-S適應(yīng)用戶特定的應(yīng)用,可以使用不同長(zhǎng)度的緊湊型裝置。

AVI 400-S的隔離始于1,2 Hz,超過(guò)10HZ以上迅速增加至35 db

減少低頻諧振可得到比普通的被動(dòng)空氣阻尼系統(tǒng)更好的性能

AVI 400-S系統(tǒng)固有的剛性賦予其出色的方向性和位置穩(wěn)定性

AVI 400-S的出色性能包括所有六個(gè)方向水平和垂直振動(dòng)模式

AVI 400-S緊湊型裝置不需要任何大型安裝工具。我們努力提供一種簡(jiǎn)單,友好的概念-因此,在裝置上放置沉重的設(shè)備(例如SEM)時(shí),避免了任何復(fù)雜的過(guò)程。


技術(shù)指標(biāo):

頻率: 1,2-200 Hz

負(fù)載范圍: 0-800公斤

(單個(gè)): 400公斤 使用D-Sub 15M-F電纜將T-Box連接到TS的背面。無(wú)需單獨(dú)的電源。通過(guò)模式開關(guān)可以選擇不同的激勵(lì)方向。

1、使用2 mm內(nèi)六角扳手(包括在內(nèi))拆下模塊端板。

2、根據(jù)掃描電鏡的重量調(diào)整模塊。

在每個(gè)中心柱上的橫梁上方和下方應(yīng)該有一個(gè)間隙,允許每側(cè)大約有2mm的行程。

B、使用M6活動(dòng)扳手(包括)轉(zhuǎn)動(dòng)位于支撐彈簧頂部的調(diào)整螺母。向右轉(zhuǎn)動(dòng)扳手可降低模塊并增加上部間隙(在**止動(dòng)螺母和橫撐之間)。向左轉(zhuǎn)動(dòng)扳手可升高模塊并減小上部間隙。

C、計(jì)算每個(gè)螺母的圈數(shù);盡可能均勻地調(diào)整所有螺母。并非所有中心柱上的間隙都完全相同。

D、不要轉(zhuǎn)動(dòng)螺母太遠(yuǎn),否則可能損壞系統(tǒng)。在任何情況下,外露螺紋不得超過(guò)10mm

3.裝回模塊上的端板 LFS-3感應(yīng)器測(cè)試水平和垂直方向加速度3軸的頻率低到0.2Hz。晶圓片隔振臺(tái)代理商

Table Stable通過(guò)主動(dòng)控制沒(méi)有共振點(diǎn),可以防止低頻范圍的振動(dòng)。襯底隔振臺(tái)應(yīng)用

TS-150

TS-150結(jié)合了久經(jīng)考驗(yàn)的技術(shù)特點(diǎn)和優(yōu)雅且用戶友好的設(shè)計(jì)

TS 150的隔離頻率始于0.7 Hz,超過(guò)10Hz時(shí)迅速增加至40db

缺少低頻諧振意味著比大多數(shù)常見(jiàn)的被動(dòng)空氣阻尼方法要好得多

TS系統(tǒng)的固有剛度賦予其出色的方向和位置穩(wěn)定性

TS 150的出色性能包括所有水平和垂直共計(jì)六個(gè)方向的震動(dòng)隔離模式

精確的**于載荷的自動(dòng)高度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)即使在載荷發(fā)生重大變化后也能將頂板穩(wěn)定在比較好工作水平

遙控器允許在外部將隔離開關(guān)“打開”和“關(guān)閉”


頻率:0,7-1000 Hz

負(fù)載范圍:0-150公斤

尺寸 :400 x 450 x 78.5 毫米


TS-150結(jié)合了久經(jīng)考驗(yàn)的技術(shù)***性和優(yōu)雅且用戶友好的設(shè)計(jì)。TS 150的隔離頻率始于0.7 Hz,超過(guò)10Hz時(shí)迅速增加至40db缺少低頻諧振意味著比大多數(shù)常見(jiàn)的被動(dòng)空氣阻尼方法要好得多。

TS系統(tǒng)的固有剛度賦予其出色的方向和位置穩(wěn)定性。TS 150的出色性能包括所有六個(gè)平移和旋轉(zhuǎn)振動(dòng)模式精確的**于載荷的自動(dòng)高度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)即使在載荷發(fā)生重大變化后也能將頂板穩(wěn)定在比較好工作水平。遙控器允許在外部將隔離開關(guān)“打開”和“關(guān)閉”用戶友好,實(shí)用的操作優(yōu)勢(shì)是創(chuàng)新建筑理念的結(jié)果。

TS-150的高度*為78.5毫米

TS-150的重量*為17.5千克 襯底隔振臺(tái)應(yīng)用

岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司總部位于中國(guó)(上海)自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)加太路39號(hào)第五層六十五部位,是一家磁記錄、半導(dǎo)體、光通訊生產(chǎn)及測(cè)試儀器的批發(fā)、進(jìn)出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關(guān)配套服務(wù),國(guó)際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,商務(wù)信息咨詢服務(wù)。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營(yíng)活動(dòng)】磁記錄、半導(dǎo)體、光通訊生產(chǎn)及測(cè)試儀器的批發(fā)、進(jìn)出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關(guān)配套服務(wù),國(guó)際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,商務(wù)信息咨詢服務(wù)。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營(yíng)活動(dòng)】的公司。岱美儀器技術(shù)服務(wù)擁有一支經(jīng)驗(yàn)豐富、技術(shù)創(chuàng)新的專業(yè)研發(fā)團(tuán)隊(duì),以高度的專注和執(zhí)著為客戶提供磁記錄,半導(dǎo)體,光通訊生產(chǎn),測(cè)試儀器的批發(fā)。岱美儀器技術(shù)服務(wù)致力于把技術(shù)上的創(chuàng)新展現(xiàn)成對(duì)用戶產(chǎn)品上的貼心,為用戶帶來(lái)良好體驗(yàn)。岱美儀器技術(shù)服務(wù)創(chuàng)始人陳玲玲,始終關(guān)注客戶,創(chuàng)新科技,竭誠(chéng)為客戶提供良好的服務(wù)。