輪廓儀的培訓
一、 培訓承諾
系統(tǒng)建成后，我公司將為業(yè)主提供為期1天的**培訓和技術資詢；培訓地點可以在我公司，亦或在工程現(xiàn)場；
系統(tǒng)操作及管理人員的培訓人數(shù)為10人，由業(yè)主指定，我公司將確保相關人員正確使用該系統(tǒng)；
1.1. 培訓對象
系統(tǒng)操作及管理人員（培訓對象須具有專業(yè)技術的技術人員或實際值班操作人員）；
其他業(yè)主指定的相關人員。
1.2. 培訓內容
系統(tǒng)操作使用說明書。
培訓課程的主要內容是系統(tǒng)的操作、系統(tǒng)的相關參數(shù)設定和修改和系統(tǒng)的維修與保養(yǎng)與簡單升級等，具體內容如下：
* 系統(tǒng)文檔解讀；
* 系統(tǒng)的技術特點、安裝維護和系統(tǒng)管理方式；
* 系統(tǒng)一般故障排除。
擯棄傳統(tǒng)檢測方法耗時耗力，精確度低的缺點，**提高加工效率。浙江晶圓輪廓儀
輪廓儀的性能
測量模式
移相干涉（PSI），白光垂直掃描干涉（VSI），單色光垂直掃描干涉（CSI）
樣 品 臺
150mm/200mm/300mm 樣品臺（可選配）
XY 平移：±25mm/150mm/200mm/300mm，傾斜：±5°
可選手動/電動樣品臺
CCD 相機像素
標配：1280×960
視場范圍
560×750um（10×物鏡）
具體視場范圍取決于所配物鏡及 CCD 相機
光學系統(tǒng)
同軸照明無限遠干涉成像系統(tǒng)
光 源
高 效 LED
Z 方向聚焦 80mm 手動聚焦（可選電動聚焦）
Z 方向掃描范圍 精密 PZT 掃描(可選擇高精密機械掃描，拓展達 10mm )
縱向分辨率 ＜0.1nm
RMS 重復性* 0.005nm，1σ
臺階測量** 準確度 ≤0.75％；重復性 ≤0.1%，1σ
橫向分辨率 ≥0.35um（100 倍物鏡）
檢測速度 ≤ 35um/sec , 與所選的 CCD 微納米結構和加工儀器輪廓儀報價200到400個共焦圖像通常在幾秒內被捕獲，之后軟件從共焦圖像的堆棧重建精確的三維高度圖像。
輪廓儀的技術原理
被測表面(光)與參考面(光)之間的光程差（高度差）形成干涉
移相法(PSI) 高度和干涉相位
f = (2p/l ) 2 h
形貌高度: < 120nm
精度: < 1nm
RMS重復性: 0.01nm
垂直掃描法
(VSI+CSI)
精度： ?/1000 干涉信號~光程差位置
形貌高度: nm-mm,
精度: >2nm
干涉測量技術：快速靈活、超納米精度、測量精度不受物鏡倍率影響
以下來自網絡：
輪廓儀，能描繪工件表面波度與粗糙度，并給出其數(shù)值的儀器，采用精密氣浮導軌為直線基準。輪廓測試儀是對物體的輪廓、二維尺寸、二維位移進行測試與檢驗的儀器，作為精密測量儀器在汽車制造和鐵路行業(yè)的應用十分***。
輪廓儀產品應用
藍寶石拋光工藝表面粗糙度分析（粗拋與精拋比較）
高精密材料表面缺 陷超精密表面缺 陷分析，核探測
Oled 特征結構測量，表面粗糙度
外延片表面缺 陷檢測
硅片外延表面缺 陷檢測
散熱材料表面粗糙度分析（粗糙度控制）
生物、醫(yī)藥新技術，微流控器件
微結構均勻性 缺 陷，表面粗糙度
移相算法的優(yōu)化和軟件系統(tǒng)的開發(fā) 本作品采用重疊平均移相干涉算法，保證了亞納米量級的測量精度；優(yōu)化軟件控制系統(tǒng)，使每次檢測時間壓縮到10秒鐘以內，同時完善的數(shù)據評價系統(tǒng)為用戶評價產品面形質量提供了方便。 共聚焦顯微鏡能夠在納米范圍內獲得高 分辨率。
2）共聚焦顯微鏡方法
共聚焦顯微鏡包括LED光源、旋轉多***盤、帶有壓電驅動器的物鏡和CCD相機。LED光源通過多***盤（MPD）和物鏡聚焦到樣品表面上，從而反射光。反射光通過MPD的***減小到聚焦的部分落在CCD相機上。傳統(tǒng)光學顯微鏡的圖像包含清晰和模糊的細節(jié)，但是在共焦圖像中，通過多***盤的操作濾除模糊細節(jié)（未聚焦），只有來自聚焦平面的光到達CCD相機。因此，共聚焦顯微鏡能夠在納米范圍內獲得高 分辨率。 每個共焦圖像是通過樣品的形貌的水平切片，在不同的焦點高度捕獲圖像產生這樣的圖像的堆疊，共焦顯微鏡通過壓電驅動器和物鏡的精確垂直位移來實現(xiàn)。200到400個共焦圖像通常在幾秒內被捕獲，之后軟件從共焦圖像的堆棧重建精確的三維高度圖像。 NanoX-8000 的XY 平臺比較大移動速度：200mm/s 。計量院輪廓儀技術服務
具備異常報警，急停等功能，報警信息可儲存。浙江晶圓輪廓儀
輪廓儀的物鏡知多少?
白光干涉輪廓儀是基于白光干涉原理，以三維非接觸時方法測量分析樣片表面形貌的關鍵參數(shù)和尺寸，典型結果包括：
表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，臺階高度，錐角等）
幾何特征（關鍵孔徑尺寸，曲率半徑，特征區(qū)域的面積和集體，特征圖形的位置和數(shù)量等）
白光干涉系統(tǒng)基于無限遠顯微鏡系統(tǒng)，通過干涉物鏡產生干涉條紋，使基本的光學顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮鎯x。
因此物鏡是輪廓儀****的部件，
物鏡的選擇根據功能和檢測的精度提出需求，為了滿足各種精度的需求，需要提供各種物鏡，例如標配的10×， 還有2.5×，5×，20×，50×，100×，可選。
不同的鏡頭價格有很大的差別，因此需要量力根據需求選配對應的鏡頭哦。 浙江晶圓輪廓儀
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