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安徽納米壓印廠(chǎng)家

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2020-08-03

    面板廠(chǎng)為補(bǔ)償較低的開(kāi)口率,多運(yùn)用在背光模塊搭載較多LED的技術(shù),但此作法的缺點(diǎn)是用電量較高。若運(yùn)用NIL制程,可確保適當(dāng)?shù)拈_(kāi)口率,降低用電量。利用一般曝光設(shè)備也可在玻璃基板上形成偏光膜。然8代曝光設(shè)備一次可形成的圖樣面積較小。若要制造55吋面板,需要經(jīng)過(guò)數(shù)十次的曝光制程。不僅制程時(shí)間長(zhǎng),經(jīng)過(guò)多次曝光后,在圖樣間會(huì)形成細(xì)微的縫隙,無(wú)法完整顯示影像。若將NIL技術(shù)應(yīng)用在5代設(shè)備,可一次形成55吋、60吋面板的偏光膜圖樣。在8代基板可制造6片55吋面板,6次的壓印接觸可處理完1片8代基板。南韓業(yè)者表示,在玻璃基板上形成偏光圖樣以提升質(zhì)量的生產(chǎn)制程,是LCD領(lǐng)域中***一個(gè)創(chuàng)新任務(wù)。若加速NIL制程導(dǎo)入LCD生產(chǎn)的時(shí)程,偏光膜企業(yè)的營(yíng)收可能減少。(來(lái)自網(wǎng)絡(luò)。SmartNIL集成多次使用的軟標(biāo)記處理功能,并具有顯著的擁有成本的優(yōu)勢(shì),同時(shí)保留可擴(kuò)展性和易于維護(hù)的特點(diǎn)。安徽納米壓印廠(chǎng)家

IQ Aligner®:用于晶圓級(jí)透鏡成型和堆疊的高精度UV壓印系統(tǒng)

■用于光學(xué)元件的微成型應(yīng)用

■用于全場(chǎng)納米壓印應(yīng)用

■三個(gè)**控制的Z軸,用于控制壓印光刻膠的總厚度變化(TTV),并在壓模和基材之間實(shí)現(xiàn)出色的楔形補(bǔ)償

■粘合對(duì)準(zhǔn)和紫外線(xiàn)粘合功能


紫外線(xiàn)壓印_紫外線(xiàn)固化


印章

防紫外線(xiàn)基材

附加印記壓印納米結(jié)構(gòu)分離印記

用紫外線(xiàn)可固化的光刻膠旋涂或滴涂基材。隨后,將壓模壓入光刻膠并在仍然接觸的情況下通過(guò)UV光交聯(lián)。

μ-接觸印刷

軟印章

基板上的材料

領(lǐng)取物料,物料轉(zhuǎn)移,刪除印章


大面積納米壓印芯片堆疊應(yīng)用SmartNIL 非常適合對(duì)具有復(fù)雜納米結(jié)構(gòu)微流控芯片進(jìn)行高精度圖案化,用在下一代藥 物研究和醫(yī)學(xué)診斷設(shè)備生產(chǎn)。

EVG ® 520 HE熱壓印系統(tǒng)

特色:經(jīng)通用生產(chǎn)驗(yàn)證的熱壓印系統(tǒng),可滿(mǎn)足比較高要求

EVG520 HE半自動(dòng)熱壓印系統(tǒng)設(shè)計(jì)用于對(duì)熱塑性基材進(jìn)行高精度壓印。EVG的這種經(jīng)過(guò)生產(chǎn)驗(yàn)證的系統(tǒng)可以接受直徑比較大為200 mm的基板,并且與標(biāo)準(zhǔn)的半導(dǎo)體制造技術(shù)兼容。熱壓印系統(tǒng)配置有通用壓花腔室以及高真空和高接觸力功能,并管理適用于熱壓印的整個(gè)聚合物范圍。結(jié)合高縱橫比壓印和多種脫壓選項(xiàng),提供了許多用于高質(zhì)量圖案轉(zhuǎn)印和納米分辨率的工藝。


如果需要詳細(xì)的信息,請(qǐng)聯(lián)系我們岱美儀器技術(shù)服務(wù)有限公司。

納米壓印應(yīng)用二:面板尺寸的大面積納米壓印

EVG專(zhuān)有的且經(jīng)過(guò)大量證明的SmartNIL技術(shù)的***進(jìn)展,已使納米圖案能夠在面板尺寸比較大為Gen 3(550 mm x 650 mm)的基板上實(shí)現(xiàn)。對(duì)于不能減小尺寸的顯示器,線(xiàn)柵偏振器,生物技術(shù)和光子元件等應(yīng)用,至關(guān)重要的是通過(guò)增加圖案面積來(lái)提高基板利用率。 NIL已被證明是能夠在大面積上制造納米圖案的**經(jīng)濟(jì)、高 效的方法,因?yàn)樗皇芄鈱W(xué)系統(tǒng)的限制,并且可以為**小的結(jié)構(gòu)提供比較好的圖案保真度。岱美作為EVG在中國(guó)區(qū)的代理商,歡迎各位聯(lián)系我們,探討納米壓印光刻的相關(guān)知識(shí)。


EVG ? 610也可以設(shè)計(jì)成紫外線(xiàn)納米壓印光刻系統(tǒng)。

EVG ® 7200 LA特征:

專(zhuān)有SmartNIL ®技術(shù),提供了****的印跡形大面積

經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的技術(shù),具有出色的復(fù)制保真度和均勻性

多次使用的聚合物工作印模技術(shù)可延長(zhǎng)母版使用壽命并節(jié)省大量成本

強(qiáng)大且精確可控的處理

與所有市售的壓印材料兼容


EVG ® 7200 LA技術(shù)數(shù)據(jù):

晶圓直徑(基板尺寸):直徑200毫米(比較大Gen3)(550 x 650毫米)

解析度:40 nm-10 μm(分辨率取決于模板和工藝)

支持流程:SmartNIL ®

曝光源:大功率窄帶(> 400 mW /cm2)

對(duì)準(zhǔn):可選的光學(xué)對(duì)準(zhǔn):≤±15 μm

自動(dòng)分離:支持的

迷你環(huán)境和氣候控制:可選的


工作印章制作:支持的


EVG系統(tǒng)是客戶(hù)進(jìn)行大批量晶圓級(jí)鏡頭復(fù)制(制造)的***選擇。江蘇納米壓印值得買(mǎi)

EVG開(kāi)拓了這種非常規(guī)光刻技術(shù),擁有多年技術(shù),掌握了NIL,并已在不斷增長(zhǎng)的基板尺寸上實(shí)現(xiàn)了批量生產(chǎn)。安徽納米壓印廠(chǎng)家

EVG ® 510 HE特征:

用于聚合物基材和旋涂聚合物的熱壓印應(yīng)用

自動(dòng)化壓花工藝

EVG專(zhuān)有的**對(duì)準(zhǔn)工藝,用于光學(xué)對(duì)準(zhǔn)的壓印和壓印

完全由軟件控制的流程執(zhí)行

閉環(huán)冷卻水供應(yīng)選項(xiàng)

外部浮雕和冷卻站


EVG ® 510 HE技術(shù)數(shù)據(jù):

加熱器尺寸:150毫米 ,200毫米

比較大基板尺寸:150毫米,200毫米

**小基板尺寸:?jiǎn)涡酒?00毫米

比較大接觸力:10、20、60 kN

比較高溫度:標(biāo)準(zhǔn):350°C;可選:550°C

夾盤(pán)系統(tǒng)/對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)

150毫米加熱器:EVG ® 610,EVG ® 620,EVG ® 6200

200毫米加熱器:EVG ® 6200,MBA300,的Smart View ® NT

真空:

標(biāo)準(zhǔn):0.1毫巴


可選:0.00001 mbar


安徽納米壓印廠(chǎng)家

岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司屬于儀器儀表的高新企業(yè),技術(shù)力量雄厚。公司致力于為客戶(hù)提供安全、質(zhì)量有保證的良好產(chǎn)品及服務(wù),是一家有限責(zé)任公司企業(yè)。以滿(mǎn)足顧客要求為己任;以顧客永遠(yuǎn)滿(mǎn)意為標(biāo)準(zhǔn);以保持行業(yè)優(yōu)先為目標(biāo),提供***的磁記錄,半導(dǎo)體,光通訊生產(chǎn),測(cè)試儀器的批發(fā)。岱美儀器技術(shù)服務(wù)將以真誠(chéng)的服務(wù)、創(chuàng)新的理念、***的產(chǎn)品,為彼此贏得全新的未來(lái)!