雙頻激光干涉儀：在氦氖激光器上，加上一個(gè)約0.03特斯拉的軸向磁場(chǎng)。由于塞曼分裂效應(yīng)和頻率牽引效應(yīng),激光器產(chǎn)生1和2兩個(gè)不同頻率的左旋和右旋圓偏振光。雙頻激光干涉儀是應(yīng)用頻率變化來(lái)測(cè)量位移的，這種位移信息載于f1和f2的頻差上，對(duì)由光強(qiáng)變化引起的直流電平變化不敏感，所以抗干擾能力強(qiáng)。它常用于檢定測(cè)長(zhǎng)機(jī)、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)、光刻機(jī)和加工中心等的坐標(biāo)精度，也可用作測(cè)長(zhǎng)機(jī)、高精度三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等的測(cè)量系統(tǒng)。利用相應(yīng)附件，還可進(jìn)行高精度直線度測(cè)量、平面度測(cè)量和小角度測(cè)量。晶圓表面測(cè)量可以在各種各樣的目標(biāo)上進(jìn)行測(cè)量。光電激光干涉儀形貌測(cè)量

在物理學(xué)家關(guān)于氣體或其他有重物體所形成的理論觀念同麥克斯韋關(guān)于所謂空虛空間中的電磁過(guò)程的理論之間，有著深刻的形式上的分歧。這就是，我們認(rèn)為一個(gè)物體的狀態(tài)是由數(shù)目很大但還是有限個(gè)數(shù)的原子和電子的坐標(biāo)和速度來(lái)完全確定的；與此相反，為了確定一個(gè)空間的電磁狀態(tài)，我們就需要用連續(xù)的空間函數(shù)，因此，為了完全確定一個(gè)空間的電磁狀態(tài)，就不能認(rèn)為有限個(gè)數(shù)的物理量就足夠了。按照麥克斯韋的理論，對(duì)于一切純電磁現(xiàn)象因而也對(duì)于光來(lái)說(shuō)，應(yīng)當(dāng)把能量看作是連續(xù)的空間函數(shù)，而按照物理學(xué)家的看法，一個(gè)有重客體的能量，則應(yīng)當(dāng)用其中原子和電子所帶能量的總和來(lái)表示。一個(gè)有重物體的能量不可能分成任意多個(gè)、任意小的部分，而按照光的麥克斯韋理論（或者更一般地說(shuō)，按照任何波動(dòng)理論），從一個(gè)點(diǎn)光源發(fā)射出來(lái)的光束的能量，則是在一個(gè)不斷增大的體積中連續(xù)地分布的。天津激光干涉儀平面度測(cè)量但I(xiàn)DS3010干涉儀可診斷非接觸式pm位移@ 10 MHz 安裝的高功率激光反射鏡。

5 指針不應(yīng)彎曲，與標(biāo)度盤表面間的距離要適當(dāng)。對(duì)裝有反射鏡式讀數(shù)裝置的儀表應(yīng)不大于(0.02L+1)MM；其余儀表應(yīng)不大于(0.01L+1)MM。指針與標(biāo)度尺在同一水平面上的儀表，其指針前列與標(biāo)度尺邊緣的間隙應(yīng)不超過(guò)(0.01L+0.8)MM。其中L 是標(biāo)度尺長(zhǎng)度，MM。刀形和絲形指針的前列至少應(yīng)蓋住標(biāo)度尺上較短分度線的1/2，矛形指針可為1/2～3/4；

6 檢查有無(wú)封印，外殼密封是否良好。

三相儀表應(yīng)在對(duì)稱電壓和平衡負(fù)載的條件下檢驗(yàn)。三相系統(tǒng)中每一個(gè)線電壓或相電壓以及電流與系統(tǒng)中相應(yīng)量的平均值之差均不應(yīng)大于1%。各個(gè)相電流與對(duì)應(yīng)相電壓的相位差之間的差值不大于2°。

干涉儀是根據(jù)光的干涉原理制成的一種儀器。分雙光束干涉儀和多光束干涉儀兩大類。其思想在于利用波的疊加性來(lái)獲取波的相位信息， 從而獲得實(shí)驗(yàn)所關(guān)心的物理量。干涉儀并不僅只局限于光干涉儀。干涉儀在天文學(xué)(Thompson et al,2001)，光學(xué)，工程測(cè)量，海洋學(xué)，地震學(xué)，波譜分析，量子物理實(shí)驗(yàn)，遙感，雷達(dá)等等精密測(cè)量領(lǐng)域都有廣泛應(yīng)用（Hariharan，2007）。根據(jù)光干涉原理制成的儀器。所以干涉儀是以光波波長(zhǎng)為單位測(cè)量光程差的，其測(cè)量精度之高是任何其他測(cè)量方法所無(wú)法比擬的。對(duì)每個(gè)樣品旋轉(zhuǎn)，只要安裝了反射器和傳感器且對(duì)齊良好，就可使用多探頭誤差分離技術(shù)處理原始干涉測(cè)量數(shù)據(jù)。

被光束照射到的電子會(huì)吸收光子的能量，但是其中機(jī)制遵照的是一種非全有即全無(wú)的判據(jù)，光子所有能量都必須被吸收，用來(lái)克服逸出功，否則這能量會(huì)被釋出。假若電子所吸收的能量能夠克服逸出功，并且還有剩余能量，則這剩余能量會(huì)成為電子在被發(fā)射后的動(dòng)能。逸出功 W 是從金屬表面發(fā)射出一個(gè)光電子所需要的較小能量。如果轉(zhuǎn)換到頻率的角度來(lái)看，光子的頻率必須大于金屬特征的極限頻率，才能給予電子足夠的能量克服逸出功。逸出功與極限頻率之間的關(guān)系為其中，h是普朗克常數(shù)， W是光頻率為的光子的能量?？朔莩龉χ?，光電子的比較大動(dòng)能  為其中，hv 是光頻率為 v的光子所帶有并且被電子吸收的能量。實(shí)際物理要求動(dòng)能必須是正值，因此，光頻率必須大于或等于極限頻率，光電效應(yīng)才能發(fā)生。三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)和加工中心的校準(zhǔn)。段差激光干涉儀高精度測(cè)量

非接觸式檢測(cè)軸承誤差。光電激光干涉儀形貌測(cè)量

電測(cè)量指示儀表的分類可分為：（1）按相別分：?jiǎn)蜗?、三相三線、三相四線等。（2）按功能及用途分：有功電表、無(wú)功電表、比較大需量表、復(fù)費(fèi)率電表、多功能電表、銅損表、鐵損表等。（3）按工作原理分：感應(yīng)式、電子式、機(jī)電式等。電力系統(tǒng)各類電表的技術(shù)要求（1）接入中注點(diǎn)絕緣系統(tǒng)的電能計(jì)量裝置，應(yīng)采用三相三線有功、無(wú)功電表。接入非中性點(diǎn)絕緣系統(tǒng)的電能計(jì)量裝置，應(yīng)采用三相四線有功、無(wú)功電表或3只感應(yīng)式無(wú)止逆單相電表。（2）接入中性點(diǎn)絕緣系統(tǒng)的3臺(tái)電壓互感器，35kV及以上的宜采用Y/y方式接線；35kV以下的宜采用V/V方式接線。接入非中性點(diǎn)絕緣系統(tǒng)的3臺(tái)電壓互感器，宜采用Y0/y0方式接線。其一次側(cè)接地方式和系統(tǒng)接地方式相一致。（3）低壓供電，負(fù)荷電流為50A 及以下時(shí)，宜采用直接接入式電表；負(fù)荷電流為50A以上時(shí)，宜采用經(jīng)電流互感器接入式的接線方式。（4）對(duì)三相三線制接線的電能計(jì)量裝置，其2臺(tái)電流互感器二次繞組與電表之間宜采用四線連接。對(duì)三相四線制連接的電能計(jì)量裝置，其3臺(tái)電流互感器二次繞組與電表之間宜采用六線連接。光電激光干涉儀形貌測(cè)量