激光干涉儀，以激光波長為已知長度，利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量。激光具有高的強度、高度方向性、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點。目前常用來測量長度的干涉儀，主要是以邁克爾遜干涉儀為主，并以穩(wěn)頻氦氖激光為光源，構(gòu)成一個具有干涉作用的測量系統(tǒng)。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作，并可作為精密工具機或測量儀器的校正工作。英文名稱：laser interferometer2000轉(zhuǎn)/分時的總振動高于150納米，可能導(dǎo)致電機 故障。廣東激光干涉儀外形尺寸測量

高靈敏，高分辨，小型化。如將光譜儀集成到一塊電路板上。

標(biāo)準(zhǔn)化。通訊接口過去常用GPIB，RS232，目前有可能成為替代物的高性能標(biāo)準(zhǔn)是USB、IEEE1394和VXI。現(xiàn)在，技術(shù)前面者設(shè)法控制技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)，參與標(biāo)準(zhǔn)制訂是儀器開發(fā)的基礎(chǔ)研究工作之一。

配合數(shù)控設(shè)備的技術(shù)創(chuàng)新(如主軸速度，精度創(chuàng)成)

數(shù)控設(shè)備的主要誤差來源可分為幾何誤差（共有21項）和熱誤差。對于重復(fù)出現(xiàn)的系統(tǒng)誤差，可采用軟件修正；對于隨機誤差較大的情況，要采用實時修正方法。對于熱誤差，一般要通過溫度測量進行修正。 浦東新區(qū)激光干涉儀形貌測量提供： 反射器表面誤差，s（Φ）。 XY-跳動運動誤差，εX（Φ）和εy（Φ）。

激光干涉儀系統(tǒng)可同步測量大型龍門移動式數(shù)控機床:雙軸定位精度的檢測及其自動補償雷尼紹雙激光干涉儀系統(tǒng)可同步測量大型龍門移動式數(shù)控機床，由雙伺服驅(qū)動某一軸向運動的定位精度，而且還能通過RS232接口，自動對兩軸線性誤差分別進行補償。數(shù)控機床動態(tài)性能檢測利用RENISHAW動態(tài)特性測量與評估軟件，可用激光干涉儀進行機床振動測試與分析（FFT），滾珠絲杠的動態(tài)特性分析，伺服驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析，導(dǎo)軌的動態(tài)特性（低速爬行）分析等。

精密機械技術(shù)

?？拼髮W(xué)的專業(yè)課程

精密機械技術(shù)是一個大學(xué)專業(yè)課程，培養(yǎng)掌握精密機械與儀器的基礎(chǔ)理論和專業(yè)知識，事精密儀器與機械的設(shè)計制造，以及設(shè)備的測量控制和維護管理的高級技術(shù)應(yīng)用性專門人才。

中樞能力：精密機械設(shè)計制造、信息處理、測量和控制的技能。

專業(yè)中樞課程與主要實踐環(huán)節(jié)：機械設(shè)計基礎(chǔ)、電工與電子學(xué)、互換性和技術(shù)測量、微機原理與應(yīng)用、傳感器、信號分析與處理、控制工程基礎(chǔ)、工程光學(xué)基礎(chǔ)、精密機械與儀器設(shè)計、精密機械制造工藝學(xué)、精密測量與控制、金工實習(xí)、電工電子實習(xí)、測試與檢測實習(xí)、精密機械課程設(shè)計、畢業(yè)實習(xí)（設(shè)計）等，以及各校的主要特色課程和實踐環(huán)節(jié)。 基于壓電的定位器（頂部）只在x軸上移動（5 nm步長）。

這些內(nèi)容不局限于一種技術(shù)方案，而是幾種不同技術(shù)方案中概括出來的共同點。如采用無導(dǎo)軌干涉儀，對跟蹤系統(tǒng)的要求可以降低；采用二維精密跟蹤測角系統(tǒng)在1M3測量范圍內(nèi)可以得到高精度；有了超半球反射鏡可以提高4路跟蹤方案的精度。在現(xiàn)場進行介入制造和裝配不能等待很長時間，力和熱變形的補償是必須的而且需要足夠快，現(xiàn)在的技術(shù)還有相當(dāng)大的差距，所以這些進展是關(guān)鍵性的。應(yīng)用范圍：新型并行機構(gòu)機床的鑒定，飛機裝配型架的鑒定，大型設(shè)備安裝，用于生物芯片精密機器人校準(zhǔn)等。100pm/步的線性偏移被確定。韶關(guān)激光干涉儀共焦技術(shù)

探頭安裝 在線性導(dǎo)軌上，在一個軸上移動探頭，而線性導(dǎo)軌則集成在一個橋中。廣東激光干涉儀外形尺寸測量

干涉儀應(yīng)用：幾何精度檢測可用于檢測直線度、垂直度、俯仰與偏擺、平面度、平行度等。位置精度的檢測及其自動補償可檢測數(shù)控機床定位精度、重復(fù)定位精度、微量位移精度等。利用雷尼紹ML10激光干涉儀不僅能自動測量機器的誤差，而且還能通過RS232接口自動對其線性誤差進行補償，比通常的補償方法節(jié)省了大量時間，并且避免了手工計算和手動數(shù)控鍵入而引起的操作者誤差，同時可比較大限度地選用被測軸上的補償點數(shù)，使機床達到比較好精度，另外操作者無需具有機床參數(shù)及補償方法的知識。廣東激光干涉儀外形尺寸測量