【離子鍍膜法之直流二極型(DCIP)】： 直流二極型(DCIP):利用電阻或電子束加熱使膜材氣化；被鍍基體作為陰極，利用高電壓直流輝光放電將充入的氣體氬(Ar)(也可充少量反應氣體)離化。這種方法的特點是：基板溫升大、繞射性好、附著性好，膜結構及形貌差，若用電子束加熱必須用差壓板；可用于鍍耐腐蝕潤滑機械制品。 【離子鍍膜法之多陰極型】： 多陰極型:利用電阻或電子束加熱使膜材氣化；依靠熱電子、陰極發(fā)射的電子及輝光放電使充入的真空惰性氣體或反應氣體離化。這種方法的特點是：基板溫升小，有時需要對基板加熱；可用于鍍精密機械制品、電子器件裝飾品。 真空鍍膜設備大概多少錢一臺？吉林進口的真空鍍膜設備品牌

【真空鍍膜機常見故障】: 一、 當正在鍍膜室真空突然下降 1. 蒸發(fā)源水路膠圈損壞（更換膠圈） 2. 坩堝被打穿（更換坩堝） 3. 高壓電極密封處被擊穿（更換膠圈） 4. 工轉動密封處膠圈損壞（更換膠圈） 5. 預閥突然關閉可能是二位五通閥損壞（更換二位五通閥） 6. 高閥突然關閉可能是二位五通閥損壞（更換二位五通閥） 7. 機械泵停機可能是繼電器斷開（檢查繼電器是否工作正常） 8. 烘烤引入線電極密封處被擊穿（更換膠圈） 9. 擋板動密封處膠圈損壞（更換膠圈） 10. 玻璃觀察視鏡出現(xiàn)裂紋、炸裂（更換玻璃） 二、長期工作的鍍膜機抽真空的時間很長且達不到工作真空、恢復真空、極限真空、保真空： 1. 蒸發(fā)室有很多粉塵（應清洗） 2. 擴散泵很久未換油（應清洗換油） 3. 前級泵反壓強大太機械泵真空度太低（應清洗換油） 4. 各動密封膠圈損壞（更換膠圈） 5. 由于蒸發(fā)室長期溫度過高使其各密封膠圈老化（更換膠圈） 6. 蒸發(fā)室各引入水路密封處是否有膠圈損壞（更換膠圈） 7. 各引入座螺釘、螺母有無松動現(xiàn)象（重新壓緊） 8. 高低預閥是否密封可靠（注油） 陜西真空鍍膜設備 原材料真空鍍膜設備培訓資料。

【真空鍍膜設備之低溫泵】： 低溫泵：低溫泵分為注入式液氦低溫泵和閉路循環(huán)氣氦制冷機低溫泵兩種。主要用于高真空或超高真空，屬于干泵，工作方式為氣體捕集。極限真空&6~&9Torr。 用低溫介質將抽氣面冷卻到20K 以下，抽氣面就能大量冷凝沸點溫度比該抽氣面溫度高的氣體，產(chǎn)生很大的抽氣作用。這種用低溫表面將氣體冷凝而達到抽氣目的的泵叫做低溫泵，或稱冷凝泵。低溫泵可以獲得抽氣速率Zui大、極限壓力Zui低的清潔真空，guang泛應用于半導體和集成電路的研究和生產(chǎn)，以及分子束研究、真空鍍膜設備、真空表面分析儀器、離子注入機和空間模擬裝置等方面。

【離子鍍膜法之活性反應蒸鍍法】： 活性反應蒸鍍法(ABE):利用電子束加熱使膜材氣化；依靠正偏置探極和電子束間的低壓等離子體輝光放電或二次電子使充入的氧氣、氮氣、乙炔等反應氣體離化。這種方法的特點是：基板溫升小，要對基板加熱，蒸鍍效率高，能獲得三氧化鋁( AL2O3)、氮化鈦(TiN)、碳化鈦(TiC)等薄膜；可用于鍍機械制品、電子器件、裝飾品。 【離子鍍膜法之空心陰極離子鍍(HCD)】： 空心陰極離子鍍(HCD):利用等離子電子束加熱使膜材氣化；依靠低壓大電流的電子束碰撞使充入的氣體Ar或其它惰性氣體、反應氣體離化。這種方法的特點是：基板溫升小，要對基板加熱，離化率高，電子束斑較大，能鍍金屬膜、介質膜、化合物膜；可用于鍍裝飾鍍層、機械制品。 真空鍍膜設備使用時，需要注意哪些問題?

【真空鍍膜設備之真空的獲得】： 真空泵：真空泵是指利用機械、物理、化學或物理化學的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設備。通俗來講，真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產(chǎn)生和維持真空的裝置。 按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分為兩種類型，即氣體捕集泵和氣體傳輸泵。其廣fan用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業(yè)。 A、粗真空泵（Rough Vacuum Pump）：一般用于抽粗真空，有油泵和 干泵。從結構上可分幾種： 旋轉葉片泵：油泵，極限真空可達10&3Torr，抽速1~650CFM 隔膜泵：干泵，極限真空1Torr左右，抽速<10CFM 往復式活塞泵：干泵，極限真空10&2Torr，抽速6~32CFM 渦旋式真空泵：干泵，極限真空10&2Torr，抽速12~25CFM 螺旋泵：干泵，極限真空10&3Torr，抽速30~318CFM 蒸發(fā)鍍膜一般是加熱靶材使表面組分以原子團或離子形式被蒸發(fā)出來沉降在基片表面，通過成膜過程形成薄膜。河北熱成型真空鍍膜設備

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【真空鍍膜產(chǎn)品常見不良分析及改善對策之灰點臟】： 現(xiàn)象：鏡片膜層表面或內部有一些電子（不是膜料點），有些可擦除，有些不能擦除。并且會有點狀脫膜產(chǎn)生。 原因： 1. 真空室臟 2. 鏡圈或碟片臟 3. 鏡片上傘時就有灰塵點，上傘時沒有檢查挑選。 4. 鍍制完成后的環(huán)境污染是膜外灰點的主要成因，特別是當鏡片熱的時候，更容易吸附灰塵，而且難以擦除。 改善思路：杜絕灰塵源 1. 工作環(huán)境改造成潔凈車間，嚴格按潔凈車間規(guī)范實施。 2. 盡可能做好環(huán)境衛(wèi)生。盡量利用潔凈工作臺。 3. 真空室周期打掃，保持清潔。 吉林進口的真空鍍膜設備品牌

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