MEMS多重轉(zhuǎn)印工藝實(shí)現(xiàn)硬質(zhì)塑料芯片快速成型:MEMS多重轉(zhuǎn)印工藝是公司**技術(shù)之一,實(shí)現(xiàn)了從設(shè)計(jì)圖紙到硬質(zhì)塑料芯片的快速制造,**短周期*需10個(gè)工作日。該工藝流程包括掩膜設(shè)計(jì)、硅基模具制備、熱壓轉(zhuǎn)印及后處理三大環(huán)節(jié):首先通過(guò)光刻技術(shù)在硅片上制備高精度模具,然后利用熱壓成型將微結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)印至PMMA、COC等硬質(zhì)塑料基板,**終通過(guò)切割、打孔完成芯片封裝。相比傳統(tǒng)注塑工藝,該技術(shù)***降低了小批量生產(chǎn)的模具成本(降幅達(dá)70%),尤其適合研發(fā)階段的快速迭代。例如,某客戶開(kāi)發(fā)的便攜式血糖檢測(cè)芯片,通過(guò)該工藝在2周內(nèi)完成3版樣品測(cè)試,將研發(fā)周期縮短40%。公司可加工的塑料材質(zhì)覆蓋多種極性與非極性材料,兼容熒光檢測(cè)、電化學(xué)傳感等功能模塊集成,為POCT設(shè)備廠商提供了低成本、高效率的原型開(kāi)發(fā)與小批量生產(chǎn)解決方案。為什么微流控芯片對(duì)我們很重要?陜西微流控芯片市場(chǎng)
心臟組織微流控芯片(HoC)是一種先進(jìn)的OoC,它模仿了服用劑型或特定藥物分子后人類心臟的整體生理學(xué)。使用該芯片已經(jīng)觀察到一些不良反應(yīng)。Mathur等人在2015年證明了動(dòng)物試驗(yàn)不足以估計(jì)測(cè)試藥物分子相對(duì)于人體的確切藥代動(dòng)力學(xué)和藥效學(xué)。為此,微流控芯片技術(shù)在心血管疾病研究,心血管相關(guān)藥物開(kāi)發(fā),心臟毒性分析以及心臟組織再生研究中起著至關(guān)重要的作用。Sidorov等人于2016年創(chuàng)建了一個(gè)I-wired HoC。他們檢測(cè)到心肌收縮,這是通過(guò)倒置光學(xué)顯微鏡測(cè)量的。此外,工程化的3D心臟組織構(gòu)建體(ECTC)現(xiàn)在能夠在正常和患病條件下復(fù)制心臟組織的復(fù)雜生理學(xué)。圖1C顯示了心臟組織微流控芯片的示意圖,其中上層由心臟上皮細(xì)胞組成,下層由心臟內(nèi)皮細(xì)胞組成。兩層都被多孔膜隔開(kāi)。它還包括有助于抽血的真空室。廣東微流控芯片的應(yīng)用微孔陣列技術(shù)實(shí)現(xiàn)液滴陣列化,用于數(shù)字 PCR、高通量藥物篩選等場(chǎng)景。
微米級(jí)尺度微流控芯片的精密加工與應(yīng)用:在0.5-5μm微米級(jí)尺度微流控芯片加工領(lǐng)域,公司依托MEMS光刻、深硅刻蝕及納米壓印等技術(shù),實(shí)現(xiàn)亞微米級(jí)精度的微流道、微孔陣列及三維結(jié)構(gòu)制造。電鏡下可見(jiàn)的精細(xì)流道網(wǎng)絡(luò),其寬度誤差可控制在±50nm以內(nèi),適用于單分子檢測(cè)、液滴生成等超高精度場(chǎng)景。例如,在單分子免疫檢測(cè)芯片中,微米級(jí)微孔陣列可實(shí)現(xiàn)單個(gè)生物分子的捕獲與熒光信號(hào)放大,檢測(cè)靈敏度較傳統(tǒng)方法提升10倍以上。該尺度芯片的加工難點(diǎn)在于材料刻蝕均勻性與表面粗糙度控制,公司通過(guò)干濕結(jié)合刻蝕工藝與表面化學(xué)修飾技術(shù),解決了高深寬比結(jié)構(gòu)(如10:1以上)的加工瓶頸,成功應(yīng)用于外泌體分選、循環(huán)腫瘤細(xì)胞捕獲等前沿生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域,為精細(xì)醫(yī)療提供器件支撐。
美國(guó)圣母大學(xué)(University of Notre Dame)的Hsueh-Chia Chang博士與微生物學(xué)家和免疫檢測(cè)professor合作研究,提高了微流控分析設(shè)備檢測(cè)細(xì)胞和生物分子的速度和靈敏性。同時(shí),Chang對(duì)交流電動(dòng)電學(xué)進(jìn)行了改善,因?yàn)樗J(rèn)為交流電(AC)可作為選擇平臺(tái),驅(qū)動(dòng)流體通過(guò)用于醫(yī)學(xué)和研究的微流控分析儀。微流控分析儀的驅(qū)動(dòng)機(jī)制是常規(guī)的直流電動(dòng)電學(xué),但是使用時(shí)容易產(chǎn)生氣泡并引起物質(zhì)在電極發(fā)生化學(xué)反應(yīng)的缺點(diǎn)限制了直流電的應(yīng)用,此外,為保證其對(duì)流量的精確控制,直流電極必須放置在儲(chǔ)液池中,不能直接連接在電路中。apparatus微流控芯片的應(yīng)用。
柔性電極芯片在腦機(jī)接口中的關(guān)鍵加工工藝:腦機(jī)接口技術(shù)對(duì)柔性電極的超薄化、生物相容性及信號(hào)穩(wěn)定性提出極高要求。公司利用MEMS薄膜沉積與光刻技術(shù),在聚酰亞胺(PI)或PDMS柔性基板上制備厚度<10μm的金屬電極陣列,電極間距可達(dá)20μm,實(shí)現(xiàn)對(duì)單個(gè)神經(jīng)元電信號(hào)的精細(xì)記錄。通過(guò)濕法刻蝕形成柔性支撐結(jié)構(gòu),配合邊緣圓潤(rùn)化處理,將手術(shù)植入時(shí)的腦組織損傷風(fēng)險(xiǎn)降低60%以上。表面涂層采用聚乙二醇(PEG)與氮化硅復(fù)合層,有效抑制蛋白吸附與炎癥反應(yīng),使電極壽命延長(zhǎng)至6個(gè)月以上。典型產(chǎn)品MEA柔性電極已應(yīng)用于癲癇病灶定位與神經(jīng)康復(fù)設(shè)備,其高柔韌性可貼合腦溝回復(fù)雜曲面,信號(hào)信噪比提升30%,為神經(jīng)科學(xué)研究與臨床醫(yī)治提供了突破性解決方案。微流控技術(shù)能夠把樣本檢測(cè)整個(gè)過(guò)程集中在幾厘米的芯片上。多功能微流控芯片組成
微流控芯片通過(guò)設(shè)計(jì)可以呈現(xiàn)多流道的形式。陜西微流控芯片市場(chǎng)
什么是微流控技術(shù)?微流控技術(shù)是一門精確控制和操縱流體的科學(xué)技術(shù),這些流體在幾何空間上被限制在小規(guī)模流道中,通常流道系統(tǒng)的直徑低于100μm。對(duì)于科學(xué)家和工程師來(lái)講,微流體一詞的使用方式存在不同;對(duì)許多教授來(lái)說(shuō),微流控是一個(gè)科學(xué)領(lǐng)域,主要應(yīng)用于通過(guò)直徑在100微米(μm)到1微米之間的流道研究和操縱微量流體。對(duì)微流控工程師來(lái)講,微流控芯片(通常稱為:生物MEMS芯片)的制造,主要是為了引導(dǎo)流體在直徑為100μm至1μm的流道系統(tǒng)中流動(dòng)。陜西微流控芯片市場(chǎng)