選擇氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏方法的原則：1、主要根據(jù)被檢漏設(shè)備的允許漏率為依據(jù)，由于一個(gè)設(shè)備的允許漏率是很多漏孔漏率的綜合體現(xiàn)。為找到一個(gè)單個(gè)漏孔，所選擇檢漏方法的檢漏靈敏度就要高于允許漏率1-2個(gè)數(shù)量級(jí)。如一個(gè)設(shè)備的允許漏率為10-11w，而必須選用的氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度為10-12∽10-13W。2、根據(jù)具體被檢對(duì)象，所用方法簡(jiǎn)便易行，經(jīng)濟(jì)實(shí)用。為保證測(cè)試漏率真實(shí)有效：（1）標(biāo)準(zhǔn)漏孔每年送有專(zhuān)業(yè)資質(zhì)計(jì)量單位計(jì)量；（2）使用兩年以上建議更換標(biāo)準(zhǔn)漏孔。氦質(zhì)譜檢漏儀由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。進(jìn)口氦質(zhì)譜檢漏儀注意事項(xiàng)

氦質(zhì)譜檢漏儀在使用過(guò)程中需特別注意以下幾點(diǎn)：①使用的電源電壓要在額定的電壓范圍之內(nèi)，電壓過(guò)低儀器啟動(dòng)困難，且性能不穩(wěn)定，電壓過(guò)高會(huì)燒壞電源，嚴(yán)重時(shí)還會(huì)燒毀母板的電路板和分子泵，應(yīng)連接穩(wěn)壓電源(UPS)。②儀器在運(yùn)行過(guò)程中不能移動(dòng)。渦輪分子泵處于高速運(yùn)轉(zhuǎn)中，若搬動(dòng)檢漏儀，容易使分子泵內(nèi)的葉片與轉(zhuǎn)子的筒體相碰撞。③氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)按照說(shuō)明書(shū)的要求定期進(jìn)行保養(yǎng)，保養(yǎng)的項(xiàng)目有更換機(jī)械泵油、更換過(guò)濾網(wǎng)、更換過(guò)濾器。靈敏度、反應(yīng)時(shí)間、消除時(shí)間、工作真空度、極限真空度及儀器入口處抽速是評(píng)價(jià)氦質(zhì)譜檢漏儀的主要性能指標(biāo)。進(jìn)口氦質(zhì)譜檢漏儀注意事項(xiàng)氦檢儀自動(dòng)化程度高；

氦檢儀（HeliumMassSpectrometerLeakDetector）為氣體工業(yè)名詞術(shù)語(yǔ)，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測(cè)氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數(shù)小，因而易通過(guò)漏孔并易擴(kuò)散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設(shè)備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀（調(diào)整到只對(duì)氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài)）的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應(yīng)，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。專(zhuān)業(yè)用于電廠檢漏的氦檢儀。關(guān)鍵部件均為進(jìn)口，性能穩(wěn)定可靠。不只靈敏度高，而且操作方便，能夠雙燈絲自動(dòng)切換、自動(dòng)調(diào)零、自動(dòng)校準(zhǔn)和自動(dòng)量程切換。

氦檢儀怎么選，這取決于客戶(hù)的需求：應(yīng)用類(lèi)型：(例如：生產(chǎn)，維護(hù)等)-干式/傳統(tǒng)的油泵?性能：(進(jìn)入檢漏模式所需要的時(shí)間，靈敏度，響應(yīng)時(shí)間，恢復(fù)時(shí)間，初抽的能力)。重量以及大小。氦氦檢儀的性能衡量，主要是通過(guò)以下參數(shù)：初抽的能力：(m3/h)，檢測(cè)允許的較大進(jìn)氣口壓力：(mbar)，進(jìn)入檢測(cè)模式所需要的時(shí)間：(s)，氦抽速：(l/s))靈敏度，較低可測(cè)的氦信號(hào)：(mbar.l/s)，響應(yīng)時(shí)間：(s)，恢復(fù)時(shí)間：(s)，初抽能力：將決定進(jìn)入檢測(cè)模式的時(shí)間)將決定是否只使用氦檢儀進(jìn)行檢測(cè)就可以(是否需要輔助泵)。檢測(cè)允許的較大進(jìn)氣口壓力：〉將決定進(jìn)入檢測(cè)模式所需要的時(shí)間。進(jìn)入檢測(cè)模式所需要的時(shí)間：是由初抽能力和檢測(cè)允許的較大壓力共同決定的。其他可能會(huì)影響檢測(cè)時(shí)間的參數(shù)：腔體的脫氣以及非常大的泄漏。氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式通常有兩種，一種為常規(guī)檢漏，另一種為逆擴(kuò)散檢漏。

氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏注意事項(xiàng)：1、工件要保持清潔、干燥。2、對(duì)工件噴氦應(yīng)按以下順序進(jìn)行：①?gòu)纳贤?。②從靠近測(cè)試口到遠(yuǎn)離測(cè)試口。3、噴氦時(shí)應(yīng)經(jīng)常檢查噴口是否有氦氣噴出。4、檢完工件，必須將“節(jié)流閥”關(guān)閉，才能取工件。5、對(duì)同一工件，如有兩處以上漏點(diǎn)，應(yīng)排除Zda的漏點(diǎn)后，再對(duì)其它地方檢漏。6、裝工件時(shí)應(yīng)使連接處密封好，不能有漏。7、檢漏間應(yīng)通風(fēng)良好，避免氦氣濃度，但應(yīng)避免強(qiáng)通風(fēng)。8、氦氣屬貴重氣體，應(yīng)避免泄漏浪費(fèi)。氦質(zhì)譜檢漏儀燈絲安裝時(shí)應(yīng)先將離子源內(nèi)的污漬用細(xì)砂紙打干凈，清洗后再裝。燈絲應(yīng)正對(duì)電離盒電子入口，盡量靠近電離盒，但不能短路，三根引線間也不能相互短路。氦質(zhì)譜檢漏儀不會(huì)受到主觀因素判斷的影響。常州模塊式氦質(zhì)譜檢漏儀使用方法

氦質(zhì)譜檢漏儀的質(zhì)譜模塊組件的超聲清洗以及分子泵的要定期保養(yǎng)維護(hù)。進(jìn)口氦質(zhì)譜檢漏儀注意事項(xiàng)

氦檢儀在使用過(guò)程中需特別注意以下幾點(diǎn)：①使用的電源電壓要在額定的電壓范圍之內(nèi)，電壓過(guò)低儀器啟動(dòng)困難，且性能不穩(wěn)定，電壓過(guò)高會(huì)燒壞電源，嚴(yán)重時(shí)還會(huì)燒毀母板的電路板和分子泵，應(yīng)連接穩(wěn)壓電源(UPS)。②儀器在運(yùn)行過(guò)程中不能移動(dòng)。渦輪分子泵處于高速運(yùn)轉(zhuǎn)中，若搬動(dòng)氦檢儀，容易使分子泵內(nèi)的葉片與轉(zhuǎn)子的筒體相碰撞。③氦檢儀應(yīng)按照說(shuō)明書(shū)的要求定期進(jìn)行保養(yǎng)，保養(yǎng)的項(xiàng)目有更換機(jī)械泵油、更換過(guò)濾網(wǎng)、更換過(guò)濾器。④氦檢儀在運(yùn)行了2000h后應(yīng)對(duì)前級(jí)泵進(jìn)行維修和保養(yǎng)，運(yùn)行7000h分子泵進(jìn)行維護(hù)和保養(yǎng)。進(jìn)口氦質(zhì)譜檢漏儀注意事項(xiàng)