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輪廓儀的性能 測量模式 ： 移相干涉（PSI），白光垂直掃描干涉（VSI），單色光垂直掃描干涉（CSI） 樣 品 臺 ： 150mm/200mm/300mm 樣品臺（可選配） XY 平移：±25mm/150mm/200mm/300mm，傾斜：±5° 可選手動/電動樣品臺 CCD 相機像素： 標配：1280×960 視場范圍： 560×750um（10×物鏡） 具體視場范圍取決于所配物鏡及 CCD 相機 光學系統(tǒng)： 同軸照明無限遠干涉成像系統(tǒng) 光 源： 高 效 LED Z 方向聚焦 80mm 手動...

輪廓儀是一種兩坐標測量儀器，儀器傳感器相對被測工件表而作勻速滑行，傳感器的觸針感受到被測表而的幾何變化，在X和Z方向分別采樣，并轉換成電信號，該電信號經放大和處理，再轉換成數字信號儲存在計算機系統(tǒng)的存儲器中，計算機對原始表而輪廓進行數字濾波，分離掉表而粗糙度成分后再進行計算，測量結果為計算出的符介某種曲線的實際值及其離基準點的坐標，或放大的實際輪廓曲線，測量結果通過顯示器輸出，也可由打印機輸出。（來自網絡） 輪廓儀在集成電路的應用： 封**ump測量 視場：72*96（um）物鏡：干涉50X 檢測位置：樣品局部 面減薄表面粗糙度分析 封裝：...

輪廓儀的**團隊 夏勇博士，江蘇省雙創(chuàng)人才 15年ADE，KAL-Tencor半導體檢測設備公司研發(fā)、項目管理經驗 SuperSight Inc. CEO/共同創(chuàng)始人，太陽能在線檢測設備 唐壽鴻博士，國家千人**** 25年 ADE，KAL-Tencor半導體檢測設備公司研發(fā)經驗 KLA-Tencor ***研發(fā)總監(jiān)，***圖像處理、算法** 許衡博士，軟件系統(tǒng)研發(fā) 10 年硅谷世界500強研發(fā)經驗（BD Medical Instrument） 光學測量、軟件系統(tǒng) 岱美儀器與...

輪廓儀的主要客戶群體 300mm集成電路技術封裝生產線檢測 集成電路工藝技術研發(fā)和產業(yè)化 國家重點實驗室 高 效太陽能電池技術研發(fā)、產業(yè)化 MEMS技術研發(fā)和產業(yè)化 新型顯示技術研發(fā)、產業(yè)化 超高精密表面工程技術 輪廓儀是一種兩坐標測量儀器，儀器傳感器相對被測工件表而作勻速滑行，傳感器的觸針感受到被測表而的幾何變化，在X和Z方向分別采樣，并轉換成電信號，該電信號經放大和處理，再轉換成數字信號儲存在計算機系統(tǒng)的存儲器中，計算機對原始表而輪廓進行數字濾波，分離掉表而粗糙度成分后再進行計算，測量結果為計算出的符介某種...

我們應該如何正確使用輪廓儀？ 一、準備工作 1.測量前準備。 2.開啟電腦、打開機器電源開關、檢查機器啟動是否正常。 3.擦凈工件被測表面。 二、測量 1.將測針正確、平穩(wěn)、可靠地移動在工件被測表面上。 2.工件固定確認工件不會出現松動或者其它因素導致測針與工件相撞的情況出現 3.在儀器上設置所需的測量條件。 4.開始測量。測量過程中不可觸摸工件更不可人為震動桌子的情況產生。 5.測量完畢，根據圖紙對結果進行分析，標出結果，并保存、打印。 共聚焦顯微鏡能夠在納米范圍內獲得高 分辨率。福建輪廓儀學校會用嗎 NanoX-系列...

關于三坐標測量輪廓度及粗糙度 三坐標測量機是不能測量粗糙度的，至于測量零件的表面輪廓 ，要視三坐標的測量精度及零件表面輪廓度的要求了，如果你的三坐標測量機精度比較高，但零件輪廓度要求不可，是可以用三坐標來代替的。一般三坐標精度都在2-3um左右，而輪廓儀都在2um以內，還有就是三坐標可以測量大尺寸零件的輪廓，因為它有龍門式三坐標和關節(jié)臂三坐標，而輪廓儀主要是用來測量一些小的精密零件輪廓尺寸的，加上粗糙度模塊也可以測量粗糙度。 輪廓儀與粗糙度儀不是同一種產品，輪廓儀主要功能是測量零件表面的輪廓形狀。襯底輪廓儀試用 NanoX-8000 3D輪廓測量主要技術參數 3D測量主要...

強大的輪廓儀光電一體軟件 美國硅谷研發(fā)、中英文自由切換 光機電一體化軟硬件集成 三維分析處理迅速，結果實時更新 縮放、定位、平移、旋轉等三維圖像處理 自主設定測量閾值，三維處理自動標注 測量模式可根據需求自由切換 三維圖像支持高清打印 菜單式參數設置，一鍵式操作，人機界面?zhèn)€性直觀 個性化軟件應用支持 可進行軟件在線升級和遠程支持服務 10 年硅谷世界500強研發(fā)經驗（BD Medical Instrument） 光學...

NanoX-系列產品PCB測量應用測試案例 測量種類 ? 基板A Sold Mask 3D形貌、尺寸 ? 基板A Sold Mask粗糙度 ? 基板A 綠油區(qū)域3D 形貌 ? 基板A 綠油區(qū)域 Pad 粗糙度 ? 基板A 綠油區(qū)域粗糙度 ? 基板A 綠油區(qū)域 pad寬度 ? 基板A Trace 3D形貌和尺寸 ? 基板B 背面 Pad NanoX-8000 系統(tǒng)主要性能 ? 菜單式系統(tǒng)設置，一鍵式操作，自動數據存儲 ? 一鍵式系統(tǒng)校準 ...

強大的輪廓儀光電一體軟件 美國硅谷研發(fā)、中英文自由切換 光機電一體化軟硬件集成 三維分析處理迅速，結果實時更新 縮放、定位、平移、旋轉等三維圖像處理 自主設定測量閾值，三維處理自動標注 測量模式可根據需求自由切換 三維圖像支持高清打印 菜單式參數設置，一鍵式操作，人機界面?zhèn)€性直觀 個性化軟件應用支持 可進行軟件在線升級和遠程支持服務 10 年硅谷世界500強研發(fā)經驗（BD Medical Instrument） 光學...

表面三維輪廓儀對精密加工的作用： 一、從根源保障物件成品的準確性： 通過光學表面三維輪廓儀的掃描檢測，得出物件的誤差和超差參數，**提高物件在生產加工時的精確度。杜絕因上游的微小誤差形成“蝴蝶效應”，造成下游生產加工的更大偏離，**終導致整個生產鏈更大的損失。 二、提高效率： 智能化檢測，全自動測量，檢測時只需將物件放置在載物臺，然后在檢定軟件上選擇相關參數，即可一鍵分析批量測量。擯棄傳統(tǒng)檢測方法耗時耗力，精確度低的缺點，**提高加工效率。 三、涵蓋面廣的2D、3D形貌參數分析： 表面三維輪廓儀可測量300余種2D、3D參數，無論加工的物件使用...

隨著時代的發(fā)展，輪廓儀也越來重要了，不少的產品檢測都需要通過輪廓儀進行檢測，***就讓我們來了解一下輪廓儀的工作原理與應用吧。輪廓儀工作原理輪廓儀是一種雙坐標測量儀器。儀器傳感器相對于測量的工件臺以恒定速度滑動。傳感器的觸針檢測測量儀表的幾何變化，并分別在X和Z方向上對其進行采樣，并將其轉換為電信號。電信號被放大和處理，然后轉換成數字信號并存儲在計算機系統(tǒng)的存儲器中。計算機以數字方式過濾原始表格的輪廓，分離表面并計算粗糙度分量，測量結果為計算符號。某個曲線的實際值及其與參考點的坐標，或放大的實際輪廓曲線。測量結果通過顯示器輸出，也可以由打印機輸出。輪廓儀應用輪廓儀***用于機械加工、汽...

關于三坐標測量輪廓度及粗糙度 三坐標測量機是不能測量粗糙度的，至于測量零件的表面輪廓 ，要視三坐標的測量精度及零件表面輪廓度的要求了，如果你的三坐標測量機精度比較高，但零件輪廓度要求不可，是可以用三坐標來代替的。一般三坐標精度都在2-3um左右，而輪廓儀都在2um以內，還有就是三坐標可以測量大尺寸零件的輪廓，因為它有龍門式三坐標和關節(jié)臂三坐標，而輪廓儀主要是用來測量一些小的精密零件輪廓尺寸的，加上粗糙度模塊也可以測量粗糙度。 輪廓儀可用于藍寶石拋光工藝表面粗糙度分析（粗拋與精拋比較）。廣東輪廓儀價格怎么樣 NanoX-8000 系統(tǒng)主要性能 ? 菜單式系統(tǒng)設置，一鍵式操作...

輪廓儀對精密加工的意義 現代化高新技術的飛速發(fā)展離不開硬件設施和軟件系統(tǒng)的配套支持，在精密加工領域同樣如此，雖然我們在生活中不曾注意到超精密加工產品的“身影”，但是它卻與我們的生活息息相關。例如在光學玻璃、集成電路、汽車零部件、機器人**器件、航空航天材料、****設備等領域，都需要對加工的成品進行檢測，從物體表面光滑到粗糙的參數，其中包含了從納米到微米級別的輪廓、線粗糙度、面粗糙度等二維、三維參數，作為評定該物件是否合格的標準。因此光學輪廓儀應運而生，以下是表面三維輪廓儀對精密加工的作用： 視場范圍：560×750um（10×物鏡） 具體視場范圍取決于所配物鏡及 CCD 相機 。...

如何正確使用輪廓儀 準備工作 1.測量前準備。 2.開啟電腦、打開機器電源開關、檢查機器啟動是否正常。 3.擦凈工件被測表面。 測量 1.將測針正確、平穩(wěn)、可靠地移動在工件被測表面上。 2.工件固定確認工件不會出現松動或者其它因素導致測針與工件相撞的情況出現 3.在儀器上設置所需的測量條件。 4.開始測量。測量過程中不可觸摸工件更不可人為震動桌子的情況產生。 5.測量完畢，根據圖紙對結果進行分析，標出結果，并保存、打印。 輪廓的角度處理: 角度處理：兩直線夾角、直線與Y軸夾角、直線與X軸夾角點線處理：兩直線...

2）共聚焦顯微鏡方法 共聚焦顯微鏡包括LED光源、旋轉多***盤、帶有壓電驅動器的物鏡和CCD相機。LED光源通過多***盤（MPD）和物鏡聚焦到樣品表面上，從而反射光。反射光通過MPD的***減小到聚焦的部分落在CCD相機上。傳統(tǒng)光學顯微鏡的圖像包含清晰和模糊的細節(jié)，但是在共焦圖像中，通過多***盤的操作濾除模糊細節(jié)（未聚焦），只有來自聚焦平面的光到達CCD相機。因此，共聚焦顯微鏡能夠在納米范圍內獲得高 分辨率。 每個共焦圖像是通過樣品的形貌的水平切片，在不同的焦點高度捕獲圖像產生這樣的圖像的堆疊，共焦顯微鏡通過壓電驅動器和物鏡的精確垂直位移來實現。200到400個共焦圖像通常在...

NanoX-8000 系統(tǒng)主要性能 ? 菜單式系統(tǒng)設置，一鍵式操作，自動數據存儲 ? 一鍵式系統(tǒng)校準 ? 支持連接MES系統(tǒng)，數據可導入SPC ? 具備異常報警，急停等功能，報警信息可儲存 ? MTBF ≥ 1500 hrs ? 產能 : 45s/點 （移動 + 聚焦 + 測量）（掃描范圍 50um） ? 具備 Global alignment & Unit alignment ? 自動聚焦范圍 ： ± 0.3mm ? XY運動速度 **快 表面三維微觀形貌測量的意義 在生產中，表面三維微觀形貌對工程零件的許多...

NanoX-2000/3000 系列 3D 光學干涉輪廓儀建立在移相干涉測量（PSI）、白光垂直掃描干涉測量（VSI）和單色光 垂直掃描干涉測量（CSI）等技術的基礎上，以其納米級測量準確度和重復性（穩(wěn)定性）定量地反映出被測件的表面粗 糙度、表面輪廓、臺階高度、關鍵部位的尺寸及其形貌特征等。廣泛應用于集成電路制造、MEMS、航空航天、精密加 工、表面工程技術、材料、太陽能電池技術等領域。 使用范圍廣: 兼容多種測量和觀察需求 保護性: 非接觸式光學輪廓儀 耐用性更強， 使用無損 可操作性:一鍵式操作，操作...

輪廓儀的物鏡知多少? 白光干涉輪廓儀是基于白光干涉原理，以三維非接觸時方法測量分析樣片表面形貌的關鍵參數和尺寸，典型結果包括： 表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，臺階高度，錐角等） 幾何特征（關鍵孔徑尺寸，曲率半徑，特征區(qū)域的面積和集體，特征圖形的位置和數量等） 白光干涉系統(tǒng)基于無限遠顯微鏡系統(tǒng)，通過干涉物鏡產生干涉條紋，使基本的光學顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮鎯x。 因此物鏡是輪廓儀****的部件， 物鏡的選擇根據功能和檢測的精度提出需求，為了滿足各種精度的需求，需要提供各種物鏡，例如標配的10×， 還有2.5×，5×，20×，50×，...

輪廓儀對精密加工的意義 現代化高新技術的飛速發(fā)展離不開硬件設施和軟件系統(tǒng)的配套支持，在精密加工領域同樣如此，雖然我們在生活中不曾注意到超精密加工產品的“身影”，但是它卻與我們的生活息息相關。例如在光學玻璃、集成電路、汽車零部件、機器人**器件、航空航天材料、****設備等領域，都需要對加工的成品進行檢測，從物體表面光滑到粗糙的參數，其中包含了從納米到微米級別的輪廓、線粗糙度、面粗糙度等二維、三維參數，作為評定該物件是否合格的標準。因此光學輪廓儀應運而生，以下是表面三維輪廓儀對精密加工的作用： 輪廓儀可用于Oled 特征結構測量，表面粗糙度，外延片表面缺 陷檢測，硅片外延表面缺 陷檢測...

輪廓儀對所測樣品的尺寸有何要求？ 答：輪廓儀對載物臺xy行程為140*110mm（可擴展），Z向測量范圍比較大可達10mm，但由于白光干涉儀單次測量區(qū)域比較?。ㄒ?0X鏡頭為例，在1mm左右），因而在測量大尺寸的樣品時，全檢的方式需要進行拼接測量，檢測效率會比較低，建議尋找樣品表 面的特征位置或抽取若干區(qū)域進行抽點檢測，以單點或多點反映整個面的粗糙度參數； 4.測量的**小尺寸是否可以達到12mm，或者能夠測到更小的尺寸？ 如果需要了解更多，請訪問官網。 輪廓儀可用于：散熱材料表面粗糙度分析（粗糙度控制），生物、醫(yī)藥新技術，微流控器件。高校輪廓儀質量怎么樣 一、從...

輪廓儀對精密加工的意義 現代化高新技術的飛速發(fā)展離不開硬件設施和軟件系統(tǒng)的配套支持，在精密加工領域同樣如此，雖然我們在生活中不曾注意到超精密加工產品的“身影”，但是它卻與我們的生活息息相關。例如在光學玻璃、集成電路、汽車零部件、機器人**器件、航空航天材料、****設備等領域，都需要對加工的成品進行檢測，從物體表面光滑到粗糙的參數，其中包含了從納米到微米級別的輪廓、線粗糙度、面粗糙度等二維、三維參數，作為評定該物件是否合格的標準。因此光學輪廓儀應運而生，以下是表面三維輪廓儀對精密加工的作用： NanoX-8000隔振系統(tǒng)：集成氣浮隔振 + 大理石基石。超納輪廓儀應用 如何正確使用輪...

輪廓儀的物鏡知多少? 白光干涉輪廓儀是基于白光干涉原理，以三維非接觸時方法測量分析樣片表面形貌的關鍵參數和尺寸，典型結果包括： 表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，臺階高度，錐角等） 幾何特征（關鍵孔徑尺寸，曲率半徑，特征區(qū)域的面積和集體，特征圖形的位置和數量等） 白光干涉系統(tǒng)基于無限遠顯微鏡系統(tǒng)，通過干涉物鏡產生干涉條紋，使基本的光學顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮鎯x。 因此物鏡是輪廓儀****的部件， 物鏡的選擇根據功能和檢測的精度提出需求，為了滿足各種精度的需求，需要提供各種物鏡，例如標配的10×， 還有2.5×，5×，20×，50×，100×，可選。 ...

NanoX-系列產品PCB測量應用測試案例 測量種類 ? 基板A Sold Mask 3D形貌、尺寸 ? 基板A Sold Mask粗糙度 ? 基板A 綠油區(qū)域3D 形貌 ? 基板A 綠油區(qū)域 Pad 粗糙度 ? 基板A 綠油區(qū)域粗糙度 ? 基板A 綠油區(qū)域 pad寬度 ? 基板A Trace 3D形貌和尺寸 ? 基板B 背面 Pad NanoX-8000 系統(tǒng)主要性能 ? 菜單式系統(tǒng)設置，一鍵式操作，自動數據存儲 ? 一鍵式系統(tǒng)校準 ...

1）白光輪廓儀的典型應用： 對各種產品，不見和材料表面的平面度，粗糙度，波溫度，面型輪廓，表面缺 陷，磨損情況，腐蝕情況，孔隙間隙，臺階高度，完全變形情況，加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。 2）共聚焦顯微鏡方法 共聚焦顯微鏡包括LED光源、旋轉多***盤、帶有壓電驅動器的物鏡和CCD相機。LED光源通過多***盤（MPD）和物鏡聚焦到樣品表面上，從而反射光。反射光通過MPD的***減小到聚焦的部分落在CCD相機上。傳統(tǒng)光學顯微鏡的圖像包含清晰和模糊的細節(jié)，但是在共焦圖像中，通過多***盤的操作濾除模糊細節(jié)（未聚焦），只有來自聚焦平面的光到達CCD相機。因此，共...

滿足您需求的輪廓儀 使用范圍廣: 兼容多種測量和觀察需求 保護性: 非接觸式光學輪廓儀 耐用性更強， 使用無損 可操作性:一鍵式操作，操作更簡單，更方便 智能性:特殊形狀能夠只能計算特征參數 個性化: 定制化客戶報告模式 更好用戶體驗： 迅捷的售后服務，個性化應用軟件支持 1.精度高,壽命長---采用超高精度氣浮導軌作為直線測量基準，具有穩(wěn)定性好、承載大、**磨損等優(yōu)點，達到國內同類產品較高精度。 2.高精度光柵尺及進口采集卡---保證數據采樣分辨率，準確度高，穩(wěn)定性好。（網絡） NanoX-8000隔振系統(tǒng)：集...

1.5. 系統(tǒng)培訓的注意事項 如何使用電子書閱讀軟件和軟、硬件的操作手冊； 數據采集功能的講解：通訊端口、連接計算器、等待時間等參數的解釋和參數設置； 實際演示一一講解； 如何做好備份和恢復備份資料； 當場演示各種報表的操作并進行操作解說； 數據庫文件應定時作備份，大變動時更應做好備份以防止系統(tǒng)重新安裝時造成資料數據庫的流失； 在系統(tǒng)培訓過程中如要輸入一些臨時數據應在培訓結束后及時刪除這些資料。 備注：系統(tǒng)培訓完成后應請顧客詳細閱讀軟件操作手冊，并留下公司“客戶服務中心”的電話與...

NanoX-8000 3D輪廓測量主要技術參數 3D測量主要技術指標（1）： 測量模式： PSI + VSI + CSI Z軸測量范圍： 大行程PZT 掃描 （300um 標配/500um選配） 10mm 精密電機拓展掃描 CCD相機： 1920x1200 高速相機（標配） 干涉物鏡： 2.5X, 5X, 10X（標配）, 20X, 50X, 100X(NIKON ) 物鏡切換： 5孔電動鼻切換 FOV： 1100x700um(10X物鏡), 220x140um(50X物鏡) Z軸聚焦： 高精密直線平臺自動聚焦 照明系統(tǒng)： 高 效長壽白...

輪廓儀白光干涉的創(chuàng)始人： 邁爾爾遜 1852-1931 美國物理學家 曾從事光速的精密測量工作 邁克爾遜首倡用光波波長作為長度基準。 1881年，他發(fā)明了一種用以測量微小長度，折射率和光波波長的干涉儀，邁克爾遜干涉儀。 他和美國物理學家莫雷合作，進行了***的邁克爾遜-莫雷實驗，否定了以太de 存在，為愛因斯坦建立狹義相對論奠定了基礎。 由于創(chuàng)制了精密的光學儀器和利用這些儀器所完成光譜學和基本度量學研究，邁克爾遜于1907年獲得諾貝爾物理學獎。 傳統(tǒng)光學顯微鏡的圖像包含清晰和模糊的細節(jié).二維輪廓儀用途 我們的輪廓儀有什么優(yōu)勢呢 世...

強大的輪廓儀光電一體軟件 美國硅谷研發(fā)、中英文自由切換 光機電一體化軟硬件集成 三維分析處理迅速，結果實時更新 縮放、定位、平移、旋轉等三維圖像處理 自主設定測量閾值，三維處理自動標注 測量模式可根據需求自由切換 三維圖像支持高清打印 菜單式參數設置，一鍵式操作，人機界面?zhèn)€性直觀 個性化軟件應用支持 可進行軟件在線升級和遠程支持服務 10 年硅谷世界500強研發(fā)經驗（BD Medical Instrument） 光學...

輪廓儀是用容易理解的機械技術測量薄膜厚度。它的工作原理是測量測量劃過薄膜的檢測筆的高度(見右圖)。輪廓儀的主要優(yōu)點是可以測量所有固體膜，包括不透明的厚金屬膜。更昂貴的系統(tǒng)能測繪整個表面輪廓。(有關我們的低成本光學輪廓儀的資訊，請點擊這里).獲取反射光譜指南然而輪廓儀也有不足之處。首先，樣本上必須有個小坎才能測量薄膜厚度，而小坎通常無法很標準(見圖)。這樣，標定誤差加上機械漂移造成5%-10%的測量誤差。與此相比，光譜反射儀使用非接觸技術，不需要任何樣本準備就可以測量厚度。只需一秒鐘分析從薄膜反射的光就可確定薄膜厚度和折射率。光譜反射儀還可以測量多層薄膜。輪廓儀和光譜反射儀的主要優(yōu)點列表...