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來源: 發(fā)布時間:2021-05-05

靶材600呈長方體狀,其頂部表面為靶材濺射面610,底部表面為靶材焊接面620,所述靶材焊接面620貼合于背板表面上,所述靶材600通過所述靶材焊接面620與背板焊接固定。所述靶材600具有四個側壁表面630。靶材600具有十二條側棱601,各條側棱601均經過圓角處理。在圓角處理前,所述靶材600的側棱601位置較為銳利。如果使用側棱未經圓角處理的靶材600進行濺射鍍膜,在濺射鍍膜工藝過程中,所述靶材600的側棱601位置容易發(fā)生前列放電的現象,導致鍍膜的均勻性差,影響鍍膜質量。圓角處理使得靶材側棱601鈍化,有助于防止前列放電現象的發(fā)生。濺射的時候會先濺射凸起,濺射時間長了,靶材自己就平了。所以物理不均勻的狀態(tài)不需要拋光。上海CuAl靶材費用

本實施例提供一種長壽命靶材組件,所述靶材表面的比較高點和比較低點的垂直距離為5.78mm;所述靶材表面的硬度為26hv;其中,所述靶材的比較大厚度為22mm;所述靶材組件還包括用于固定靶材的背板;所述靶材呈凹形結構;所述靶材包括用于濺射的濺射面;所述濺射面包括平面、第二平面和斜面;所述斜面與水平面的夾角為4°;所述斜面位于所述平面和第二平面之間;所述平面為圓形;所述第二平面為環(huán)形;所述靶材的材質包括鈦;所述背板的材質包括鋁。所得靶材組件濺射強度好,使得濺射過程中薄膜厚度均勻,使用壽命增加。對比例1與實施例1的區(qū)別 在于所述靶材表面的比較高點和比較低點的垂直距離為5.5mm;所得靶材組件濺射強度差,使得濺射過程中薄膜厚度不均勻,使用壽命減少。對比例2與實施例1的區(qū)別 在于所述靶材表面的比較高點和比較低點的垂直距離為8mm;所得靶材組件濺射強度差,使得濺射過程中薄膜厚度不均勻,使用壽命減少。蘇州鉿靶材廠家靶面金屬化合物的形成。

熔融鑄造法:熔融鑄造法是制作濺射靶材的基本方法之一。為保證鑄錠中雜質元素含量盡可能低,通常其冶煉和澆注在真空或保護性氣氛下進行。但鑄造過程中,材料組織內部難免存在一定的孔隙率,這些孔隙會導致濺射過程中的微粒飛濺,從而影響濺射薄膜的質量。為此,需要后續(xù)熱加工和熱處理工藝降低其孔隙率。八.購買靶材的注意事項有哪些許多用戶在采購靶材時沒有從專業(yè)的角度去考慮,下面為大家指出購買靶材時需要注意的事項。對于所有的金屬來說,純度是靶材的主要性能指標之一,靶材的純度對后期產品薄膜的性能影響很大。但是每一個產品對靶材的純度要求也有不相同的地方。

本實施例提供一種長壽命靶材組件,所述靶材表面的比較高點和比較低點的垂直距離為5.95mm;所述靶材表面的硬度為23hv;其中,所述靶材的比較大厚度為27mm;所述靶材組件還包括用于固定靶材的背板;所述靶材呈凹形結構;所述靶材包括用于濺射的濺射面;所述濺射面包括平面、第二平面和斜面;所述斜面與水平面的夾角為3°;所述斜面位于所述平面和第二平面之間;所述平面為圓形;所述第二平面為環(huán)形;所述靶材的材質包括鉭;所述背板的材質包括鋁。所得靶材組件濺射強度好,使得濺射過程中薄膜厚度均勻,使用壽命增加。實施例7本實施例提供一種長壽命靶材組件,所述靶材表面的比較高點和比較低點的垂直距離為5.75mm;所述靶材表面的硬度為22hv;其中,所述靶材的比較大厚度為20mm;所述靶材組件還包括用于固定靶材的背板;所述靶材呈凹形結構;所述靶材包括用于濺射的濺射面;所述濺射面包括***平面、第二平面和斜面;所述斜面與水平面的夾角為9°;所述斜面位于所述***平面和第二平面之間;所述平面為圓形;所述第二平面為環(huán)形;所述靶材的材質包括鈦;所述背板的材質包括銅。所得靶材組件濺射強度好,使得濺射過程中薄膜厚度均勻,使用壽命增加。關掉機器,把設備的濺射靶卸下來,靶附近的零件仔細清洗一下。

靶材拋光裝置100還包括:把手,所述把手設置于所述固定板200的外表面上。為便于操作人員雙手抓握,所述把手的數量為兩個,其中一個所述把手設置于所述固定板200的頂部,另一個所述把手設置于所述固定板200的側壁上,該設置方式有利于提高操作人員手持所述靶材拋光裝置100進行拋光作業(yè)的便捷性。本實施例中,兩個所述把手分別為把手510和第二把手520,所述把手510設置于所述頂板210上,所述第二把手520設置于所述側板220上。本實施例中,所述把手510包括桿狀部511和第二桿狀部512,所述桿狀部511的一端連接所述頂板210,另一端連接所述第二桿狀部512。所述桿狀部511延伸方向與所述頂板210表面相垂直,所述第二桿狀部512延伸方向與所述頂板210表面相平行。所述把手510的結構有利于操作人員牢固的抓握所述把手510,防止從所述把手510上滑脫。


濺射過程不影響靶材合金、混合材質的比例和性質。廣東CrAl靶材

而晶粒尺寸相差較小(分布均勻)的靶濺射沉積的薄膜的厚度分布更均勻。上海CuAl靶材費用

靶材拋光裝置還包括:防護層,所述防護層位于所述固定板與所述拋光片之間。防護層為彈性材料。靶材拋光裝置還包括:把手,所述把手設置于所述固定板的外表面上。把手的數量為兩個,其中一個所述把手設置于所述固定板的頂部,另一個所述把手設置于所述固定板的側壁上。與現有技術相比,本發(fā)明的技術方案具有以下優(yōu)點:提供的靶材拋光裝置的技術方案中,所述靶材拋光裝置包括:固定板,所述固定板包括頂板和位于所述頂板一側的側板;拋光片,位于所述固定板內側面上,其中位于固定板彎折處的拋光片呈弧狀。位于固定板彎折處的拋光片表面適于對靶材經圓角處理的側棱進行拋光,位于側板上的所述拋光片表面適于對靶材側壁表面進行拋光。所述靶材拋光裝置能夠對靶材側壁表面及經圓角處理的側棱同時進行拋光,因此所述靶材拋光裝置有助于提高對靶材表面進行拋光的作業(yè)效率。上海CuAl靶材費用

江陰典譽新材料科技有限公司地處江蘇省江陰市,是一家專業(yè)生產濺射靶材和蒸發(fā)材料的公司,濺射靶材充分借鑒國外的先進技術,并通過與國內外**研發(fā)機構合作,整合各行業(yè)資源優(yōu)勢,生產出多系列***濺射靶材產品。 公司目前主要生產金屬,合金,陶瓷三大類靶材產品。經過幾年的發(fā)展和技術積累,已經擁有:真空熱壓,冷壓燒結,真空熔煉,熱等靜壓,等離子噴涂等技術。另外也可根據客戶要求研發(fā)新型靶材并提供靶材金屬化、綁定和背板服務。 江陰典譽新材料科技有限公司已為以下行業(yè)提供***的靶材:平面顯示、裝飾與工具、太陽能光伏和光熱、電子和半導體、建筑與汽車玻璃大面積鍍膜等工業(yè)領域。同時也為國內外各大院校和研究所提供了很多常規(guī)和新型的試驗用靶材。 江陰典譽目前擁有真空熱壓爐兩臺,冷壓燒結爐一臺,真空熔煉設備兩臺,等靜壓設備一臺,等離子噴涂兩套,綁定平臺兩套,各類機加工設備七臺,檢驗設備若干,確保出廠的每件產品都能達到甚至超過客戶的預期。 江陰典譽秉承:“一切以客戶的需求為導向,客戶的所有需求一次做好?!钡陌l(fā)展理念。

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