任何本領域技術人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內，均可作各種更動與修改，因此本發(fā)明的保護范圍應當以權利要求所限定的范圍為準。本發(fā)明涉及靶材領域，具體涉及一種長壽命靶材組件。背景技術：目前，現有的半導體濺射用ilc1013系列靶材的濺射壽命已經到了一個極限，為提高靶材的使用壽命，節(jié)省多次更換靶材的重復性?，F有的技術都是通過磁場強度，把靶材表面設計成曲面來延長壽命，公開了一種靶材，包括靶材本體及基體，所述基體的至少一面設有所述靶材本體，所述靶材本體是由高純度靶材合金粉末通過等離子弧噴涂機噴涂熔焊在所述基體上。所述基體與所述靶材本體的結合面為呈內凹的圓弧面。所述基體為矩形體或圓形。所述靶材的制造方法步驟如下：(1)準備合金粉體；(2)準備基體；(3)等離子轉移弧噴涂成型；(4)、清理被噴涂層表面，按照步驟(3)的要求再次噴涂處理，直至獲得要求厚度的靶材。本發(fā)明有益效果在于：一是生產的靶材無氣孔殘留；二是生產設備簡單、投資?。蝗前胁目梢孕迯驮倮?。

靶材安裝及注意事項有哪些？江蘇鋰鑭鋯氧靶材

所得靶材組件濺射強度好，使得濺射過程中薄膜厚度均勻，使用壽命增加。實施例3提供一種長壽命靶材組件，所述靶材表面的比較高點和比較低點的垂直距離為5.8mm；所述靶材表面的硬度為22hv；其中，所述靶材的比較大厚度為28mm；所述靶材組件還包括用于固定靶材的背板；所述靶材呈凹形結構；所述靶材包括用于濺射的濺射面；所述濺射面包括平面、第二平面和斜面；所述斜面與水平面的夾角為3°；所述斜面位于所述平面和第二平面之間；所述平面為圓形；所述第二平面為環(huán)形；所述靶材的材質包括鉭；所述背板的材質包括銅。所得靶材組件濺射強度好，使得濺射過程中薄膜厚度均勻，使用壽命增加。實施例4提供一種長壽命靶材組件，所述靶材表面的比較高點和比較低點的垂直距離為5.9mm；所述靶材表面的硬度為25hv；上海Nb靶材廠家不同用途的靶材對不同雜質含量的要求也不同。

其他服務:打穿的鈀靶材、鈀殘料可提供回收再加工服務。回收流程如下:稱重----清洗、提純---熔煉加工---靶材等成品江陰典譽新材料科技有限公司，是專業(yè)從事鍍膜材料、合金制備等相關材料研發(fā)、銷售、服務為一體的全球化高科技綜合性公司。以業(yè)內 企業(yè)為支撐，整合技術資源，擁有自主進出口經營權和成熟的運營管理團隊，科學化管理運營，為公司向化、高新化發(fā)展奠定了基礎。典譽新材料在光電器件、芯片半導體、太陽能電池、光學鍍膜、航空航天、 、冶金、功能材料、新能源等行業(yè)產品開發(fā)、創(chuàng)新方面，有著得天獨厚的優(yōu)勢。以客戶需求為導向，以前沿技術為基礎，開發(fā)了多個產品系列，涵蓋濺射靶材、蒸鍍膜料、高純合金、金屬粉末、耗材配件等千余種產品，質量穩(wěn)定、工藝完善，得到廣大客戶好評。典譽新材料堅持“誠信為本、高質的經營理念，關注客戶需求，追求客戶滿意，以服務求生存，以質量求發(fā)展，不斷優(yōu)化產品線，為廣大用戶提供一站式服務，力爭做全球 的金屬材料供應商。

靶材材質對靶濺射電壓的影響：1.在真空條件不變的條件下,不同材質與種類靶材對磁控靶的正常濺射電壓會產生一定的影響。2.常用的靶材(如銅Cu、鋁Al、鈦Ti?)的正常濺射電壓一般在400~600V的范圍內。3.有的難濺射的靶材(如錳Mn、鉻Cr等)的濺射電壓比較高,一般需>700V以上才能完成正常磁控濺射過程;而有的靶材(如氧化銦錫ITO)的濺射電壓比較低，可以在200多伏電壓時實現正常的磁控濺射沉積鍍膜。4.實際鍍膜過程中，由于工作氣體壓力變化，或陰極與陽極間距偏小(使真空腔體內阻抗特性發(fā)生變化)，或真空腔體與磁控靶的機械尺寸不匹配，同時選用了輸出特性較軟的靶電源等原因，導致磁控靶的濺射電壓(即靶電源輸出電壓)遠低于正常濺射示值，則可能會出現靶前存雖然呈現出很亮的光圈，就是不能見到靶材離子相應顏色的泛光，以至不能濺射成膜的狀況。

主要由三種方式：壓接、釬焊和導電膠。

玫瑰金靶材有哪些？ PVD玫瑰金是靠濺射玫瑰金靶形成的，不同的玫瑰金靶配方顏色上有一些區(qū)別，大概分為以下幾種： 1、皇冠金（crown gold），黃金含量在22K(91.667％)，由英國亨利八世(1526年)將此比例的黃金用于金幣的鑄造 2、常見的也是典型的18K玫瑰金，黃金含量也在18K(75％)，但其它另含有約4％的銀和21％的銅，呈現美麗的淡粉玫瑰色 3、14K紅金，黃金含量在14K(58.33％)，其它添加金屬為銅(41.67％)。 有的PVD鍍膜廠玫瑰金靶也有添加一些其它的稀有元素，用來達到不同的色調或用來改變鍍層的性能，這也是市面上每一家PVD廠鍍出的色調都有一些差異的原因之一。

厚度適中：3mm左右，太厚，消耗部分磁強；太薄，容易變形。上海Nb靶材廠家

制備過程嚴格控制雜質元素的引入。江蘇鋰鑭鋯氧靶材

拋光片300包括拋光片部分310、拋光片第二部分320及拋光片第三部分330。所述拋光片部分310設置于所述頂板210的底部。所述拋光片第二部分320設置于所述頂板210與所述側板220的拐角處，且在所述拋光片部分310及拋光片第三部分330間平滑的過渡。所述拋光片第三部分330設置于所述側板220的內側面上，所述拋光片第三部分330表面與拋光片部分310表面垂直。拋光片第二部分320呈弧狀，與經圓角處理的靶材側棱相匹配，可對靶材側棱進行拋光。所述拋光片第三部分330表面為平整的平面，能夠對靶材側壁表面進行拋光。因此所述靶材拋光裝置100能夠同時對靶材側壁表面及經圓角處理的側棱進行拋光，有助于提高拋光作業(yè)效率。

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江陰典譽新材料科技有限公司地處江蘇省江陰市，是一家專業(yè)生產濺射靶材和蒸發(fā)材料的公司，濺射靶材充分借鑒國外的先進技術，并通過與國內外**研發(fā)機構合作，整合各行業(yè)資源優(yōu)勢，生產出多系列***濺射靶材產品。 公司目前主要生產金屬，合金，陶瓷三大類靶材產品。經過幾年的發(fā)展和技術積累，已經擁有：真空熱壓，冷壓燒結，真空熔煉，熱等靜壓，等離子噴涂等技術。另外也可根據客戶要求研發(fā)新型靶材并提供靶材金屬化、綁定和背板服務。 江陰典譽新材料科技有限公司已為以下行業(yè)提供***的靶材：平面顯示、裝飾與工具、太陽能光伏和光熱、電子和半導體、建筑與汽車玻璃大面積鍍膜等工業(yè)領域。同時也為國內外各大院校和研究所提供了很多常規(guī)和新型的試驗用靶材。 江陰典譽目前擁有真空熱壓爐兩臺，冷壓燒結爐一臺，真空熔煉設備兩臺，等靜壓設備一臺，等離子噴涂兩套，綁定平臺兩套，各類機加工設備七臺，檢驗設備若干，確保出廠的每件產品都能達到甚至超過客戶的預期。 江陰典譽秉承：“一切以客戶的需求為導向，客戶的所有需求一次做好。”的發(fā)展理念。