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密度也是靶材的關(guān)鍵性能指標(biāo)之一.在靶材的技術(shù)工藝中為了減少靶材固體中的氣孔,提高濺射薄膜的性能,一般是要求靶材必須具有較高的密度。因?yàn)榘胁闹饕匦悦芏葘?duì)濺射速率有著很大的影響,并且影響著薄膜的電學(xué)和光學(xué)性能。靶材密度越高,薄膜的性能越好。
是晶粒尺寸及晶粒尺寸分布。通常靶材為多晶結(jié)構(gòu),晶粒大小可由微米到毫米量級(jí)。對(duì)于同一種靶材,晶粒細(xì)小的靶的濺射速率比晶粒粗大的靶的濺射速率快;而晶粒尺寸相差較小(分布均勻)的靶濺射沉積的薄膜的厚度分布更均勻。 此外,提高靶材的密度和強(qiáng)度使靶材能更好地承受濺射過(guò)程中的熱應(yīng)力。密度也是靶材的關(guān)鍵性能指標(biāo)之一。武漢鐵酸鉍靶功能
氧化物鍍膜技術(shù)在真空鍍鋁膜中的應(yīng)用 近年來(lái),迅速發(fā)展微波加熱技術(shù)給微波食品包裝及需經(jīng)微波殺 菌消毒的一類商品的包裝提出了新的要求,即包裝材料不要具有優(yōu)良的阻隔性能,而且還要耐高溫、微波透過(guò)性好等特性,傳統(tǒng)的包裝材料很難具備這些特點(diǎn)。因此,近年來(lái)日本、德國(guó)、美國(guó)等國(guó)家大力研究開(kāi)發(fā)新型的高阻隔性包裝材料——SiOX和其它金屬氧化物鍍膜復(fù)合材料。這類材料除了阻隔性能可以與鋁塑復(fù)合材料相媲美外,同時(shí)還具有微波透過(guò)性好、耐高溫、透明、受環(huán)境溫度濕度影響小等優(yōu)點(diǎn)。 非金屬鍍膜可采用蒸鍍?cè)峡刹捎肧iOX、SiO2,也可以采用其它氧化物如Al2O3、 MgO、Y2O3、TiO2、Gd2O3等,其中常用的是SiOX、AlOx。氧化物鍍膜的蒸發(fā)源有電阻式和電子束兩種,電阻式蒸發(fā)源以電阻通過(guò)發(fā)熱的原理來(lái)加熱蒸鍍?cè)?,高加熱溫度可達(dá)1700℃。電子束蒸發(fā)源利用加速電子碰撞蒸鍍?cè)隙蛊湔舭l(fā),蒸發(fā)源配有電子,在材料局部位置上而形成加熱束斑,束斑溫度可達(dá)3000~6000℃,能量密度高可達(dá)20KW/cm2。 實(shí)驗(yàn)表明只有PP、PET、PA等材料才能較適合氧化物鍍膜加工。杭州富鋰錳酸鋰靶功能磁控濺射金屬靶時(shí),無(wú)法起輝的原因有很多,常見(jiàn)主要原因。
高純金屬的概念: 任何金屬都不能達(dá)到純?!案呒儭焙汀俺儭本哂邢鄬?duì)的含義,是指技術(shù)上達(dá)到的標(biāo)準(zhǔn)。由于技術(shù)的發(fā)展,也常使“超純”的標(biāo)準(zhǔn)升級(jí)。例如過(guò)去高純金屬的雜質(zhì)為 ppm級(jí)(即百萬(wàn)分之幾),而超純半導(dǎo)體材料的雜質(zhì)達(dá)ppb級(jí)(十億分之幾),并將逐步發(fā)展到以ppt級(jí)(一萬(wàn)億分之幾)表示。實(shí)際上純度以幾個(gè)“9”(N)來(lái)表示(如雜質(zhì)總含量為百萬(wàn)分之一,即稱為6個(gè)“9”或6N),是不完整概念,如電子器件用的超純硅以金屬雜質(zhì)計(jì)算,其純度相當(dāng)于9 個(gè)“9”。 但如計(jì)入碳,則可能不到6個(gè)“9”?!俺儭钡南鄬?duì)名詞是指“雜質(zhì)”,廣義的雜質(zhì)是指化學(xué)雜質(zhì)(元素)及“物理雜質(zhì)”,后者是指位錯(cuò)及空位等,而化學(xué)雜質(zhì)是指基體以外的原子以代位或填隙等形式摻入。但只當(dāng)金屬純度達(dá)到很高的標(biāo)準(zhǔn)時(shí)(如純度 9N 以上的金屬),物理雜質(zhì)的概念才是有意義的, 因此目前工業(yè)生產(chǎn)的金屬仍是以化學(xué)雜質(zhì)的含量作為標(biāo)準(zhǔn),即以金屬中雜質(zhì)總含量為百萬(wàn)分之幾表示。
電致變色智能玻璃的特點(diǎn):電致變色智能玻璃在電場(chǎng)作用下具有光吸收透過(guò)的可調(diào)節(jié)性,可選擇性地吸收或反射外界的熱輻射和內(nèi)部的熱的擴(kuò)散,減少辦公大樓和民用住宅在夏季保持涼爽和冬季保持溫暖而必須消耗的大量能源。同時(shí)起到改善自然光照程度、防窺的目的。解決現(xiàn)代不斷惡化的城市光污染問(wèn)題。是節(jié)能建筑材料的一個(gè)發(fā)展方向。調(diào)光玻璃的調(diào)光原理是:在自然狀態(tài)下(斷電不加電場(chǎng)),它內(nèi)部液晶的排列是無(wú)規(guī)則的,液晶的折射率比外面聚合物的折射率低,入射光在聚合物上發(fā)生散射,呈乳白色,即不透明。當(dāng)加上電場(chǎng)(通電)以后,有彌散分布液晶的聚合物內(nèi)液滴重新排列,液晶從無(wú)序排列變?yōu)槎ㄏ蛴行蚺帕?,使液晶的折射率與聚合物的折射率相等,入射光完全可以通過(guò),形成透明狀態(tài)。靶中毒時(shí),靶面形成一層絕緣膜,正離子到達(dá)陰極靶面時(shí)由于絕緣層的阻擋,不能直接進(jìn)入陰極靶面。
什么是DLC薄膜?類金剛石薄膜通常又被人們稱為DLC薄膜,是英文詞匯DiamondLikeCarbon的簡(jiǎn)稱,它是一類性質(zhì)近似于金剛石,具有高硬度,高電阻率。良好光學(xué)性能等,同時(shí)又具有自身獨(dú)特摩擦學(xué)特性的非晶碳薄膜。碳元素因碳原子和碳原子之間的不同結(jié)合方式,從而使其終產(chǎn)生不同的物質(zhì):金剛石(diamond)—碳碳以sp3鍵的形式結(jié)合;石墨(graphite)—碳碳以sp2鍵的形式結(jié)合。而類金剛石(DLC)—碳碳則是以sp3和sp2鍵的形式結(jié)合,生成的無(wú)定形碳的一種亞穩(wěn)定形態(tài),它沒(méi)有嚴(yán)格的定義,可以包括很寬性質(zhì)范圍的非晶碳,因此兼具了金剛石和石墨的優(yōu)良特性;所以由類金剛石而來(lái)的DLC膜同樣是一種亞穩(wěn)態(tài)長(zhǎng)程無(wú)序的非晶材料,碳原子間的鍵合方式是共價(jià)鍵,主要包含sp2和sp3兩種雜化鍵,而在含氫的DLC膜中還存在一定數(shù)量的C-H鍵。通常是放熱反應(yīng),反應(yīng)生成熱必須有傳導(dǎo)出去的途徑,否則,該化學(xué)反應(yīng)無(wú)法繼續(xù)進(jìn)行。揚(yáng)州硫化錳靶調(diào)試
在受到離子轟擊之后,釋放的二次電子數(shù)量增加,提高了空間的導(dǎo)通能力。武漢鐵酸鉍靶功能
但下列情況綁定有弊端:
1.熔點(diǎn)低的靶材,像銦、硒等,金屬化的時(shí)候可能會(huì)變軟變形;
2.貴金屬靶材,一是實(shí)際重量易出現(xiàn)分歧,二是金屬化以及解綁的時(shí)候都會(huì)有浪費(fèi)料,建議墊一片銅片。
三.背靶的選擇
對(duì)材質(zhì)的要求:一般選用無(wú)氧銅和鉬靶,厚度在3mm左右;
導(dǎo)電性好:常用無(wú)氧銅,無(wú)氧銅的導(dǎo)熱性比紫銅好;
強(qiáng)度足夠:太薄,易變形,不易真空密封;
結(jié)構(gòu)要求:空心或者實(shí)心結(jié)構(gòu);
厚度適中:3mm左右,太厚,消耗部分磁強(qiáng);太薄,容易變形。 武漢鐵酸鉍靶功能
江陰典譽(yù)新材料科技有限公司地處江蘇省江陰市,是一家專業(yè)生產(chǎn)濺射靶材和蒸發(fā)材料的公司,濺射靶材充分借鑒國(guó)外的先進(jìn)技術(shù),并通過(guò)與國(guó)內(nèi)外**研發(fā)機(jī)構(gòu)合作,整合各行業(yè)資源優(yōu)勢(shì),生產(chǎn)出多系列***濺射靶材產(chǎn)品。 公司目前主要生產(chǎn)金屬,合金,陶瓷三大類靶材產(chǎn)品。經(jīng)過(guò)幾年的發(fā)展和技術(shù)積累,已經(jīng)擁有:真空熱壓,冷壓燒結(jié),真空熔煉,熱等靜壓,等離子噴涂等技術(shù)。另外也可根據(jù)客戶要求研發(fā)新型靶材并提供靶材金屬化、綁定和背板服務(wù)。 江陰典譽(yù)新材料科技有限公司已為以下行業(yè)提供***的靶材:平面顯示、裝飾與工具、太陽(yáng)能光伏和光熱、電子和半導(dǎo)體、建筑與汽車玻璃大面積鍍膜等工業(yè)領(lǐng)域。同時(shí)也為國(guó)內(nèi)外各大院校和研究所提供了很多常規(guī)和新型的試驗(yàn)用靶材。 江陰典譽(yù)目前擁有真空熱壓爐兩臺(tái),冷壓燒結(jié)爐一臺(tái),真空熔煉設(shè)備兩臺(tái),等靜壓設(shè)備一臺(tái),等離子噴涂?jī)商?,綁定平臺(tái)兩套,各類機(jī)加工設(shè)備七臺(tái),檢驗(yàn)設(shè)備若干,確保出廠的每件產(chǎn)品都能達(dá)到甚至超過(guò)客戶的預(yù)期。 江陰典譽(yù)秉承:“一切以客戶的需求為導(dǎo)向,客戶的所有需求一次做好?!钡陌l(fā)展理念。