精密環(huán)控柜主要由設(shè)備主柜體、控制系統(tǒng)、氣流循環(huán)系統(tǒng)、潔凈過(guò)濾器、制冷(熱)系統(tǒng)、照明系統(tǒng)、局部氣浴等組成，為光刻機(jī)、激光干涉儀等精密測(cè)量、精密制造設(shè)備提供超高精度溫濕度、潔凈度的工作環(huán)境。該設(shè)備內(nèi)部通過(guò)風(fēng)機(jī)引導(dǎo)氣流以一定的方向循環(huán)，控制系統(tǒng)對(duì)循環(huán)氣流的每個(gè)環(huán)節(jié)進(jìn)行處理，從而使柜內(nèi)的溫濕度達(dá)到超高的控制精度。該系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)潔凈度百級(jí)、十級(jí)、一級(jí)，溫度波動(dòng)值±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.002℃等精密環(huán)境控制。自面世以來(lái)，已為相關(guān)領(lǐng)域客戶提供了穩(wěn)定的實(shí)驗(yàn)室環(huán)境以及監(jiān)測(cè)服務(wù)，獲得了眾多好評(píng)。精密環(huán)控設(shè)備為光刻機(jī)、激光干涉儀等精密測(cè)量、精密制造設(shè)備提供超高精度溫濕度、潔凈度的工作環(huán)境。四川0.01℃環(huán)境

光刻設(shè)備對(duì)溫濕度的要求也極高，光源發(fā)出的光線需經(jīng)過(guò)一系列復(fù)雜的光學(xué)系統(tǒng)聚焦到硅片表面特定區(qū)域，以實(shí)現(xiàn)對(duì)光刻膠的曝光，將設(shè)計(jì)好的電路圖案印制上去。當(dāng)環(huán)境溫度出現(xiàn)極其微小的波動(dòng)，哪怕只是零點(diǎn)幾攝氏度的變化，光刻機(jī)內(nèi)部的精密光學(xué)元件就會(huì)因熱脹冷縮特性而產(chǎn)生細(xì)微的尺寸改變。這些光學(xué)元件包括鏡片、反射鏡等，它們的微小位移或形狀變化，會(huì)使得光路發(fā)生偏差。原本校準(zhǔn)、聚焦于硅片特定坐標(biāo)的光線，就可能因?yàn)楣饴返母淖兌x預(yù)定的曝光位置，出現(xiàn)曝光位置的漂移。四川0.01℃環(huán)境在超高水準(zhǔn)潔凈度控制下，該系統(tǒng)設(shè)備工作區(qū)呈現(xiàn)高潔凈度，可優(yōu)于 ISOclass3。

精密環(huán)控柜能夠?qū)崿F(xiàn)如此性能，背后蘊(yùn)含著先進(jìn)而復(fù)雜的原理。在溫度控制方面，自主研發(fā)的高精密控溫技術(shù)是關(guān)鍵所在。通過(guò)高精度傳感器實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)柜內(nèi)溫度，將數(shù)據(jù)反饋至控制系統(tǒng)?？刂葡到y(tǒng)依據(jù)預(yù)設(shè)的精確溫度值，以 0.1% 的控制輸出精度，調(diào)節(jié)制冷（熱）系統(tǒng)的運(yùn)行功率。例如，當(dāng)溫度高于設(shè)定值時(shí)，制冷系統(tǒng)迅速啟動(dòng)，精確控制制冷量，使溫度快速回落至目標(biāo)范圍；反之，加熱系統(tǒng)則及時(shí)介入。對(duì)于濕度控制，利用先進(jìn)的濕度調(diào)節(jié)裝置，通過(guò)冷凝除濕或蒸汽加濕等方式，依據(jù)傳感器反饋的濕度數(shù)據(jù)，將設(shè)備內(nèi)部濕度穩(wěn)定性控制在 ±0.5%@8h 。在潔凈度控制上，采用多層高效潔凈過(guò)濾器，通過(guò)物理攔截、靜電吸附等原理，對(duì)進(jìn)入柜內(nèi)的空氣進(jìn)行深度過(guò)濾，確?？蓪?shí)現(xiàn)百級(jí)以上潔凈度控制，工作區(qū)潔凈度優(yōu)于 ISO class3 。

精密環(huán)控柜采用可拆卸鋁合金框架，這一設(shè)計(jì)極具創(chuàng)新性和實(shí)用性。對(duì)于大型設(shè)備，可在現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行組裝，減少了運(yùn)輸過(guò)程中的體積和重量，降低了運(yùn)輸難度和成本。同時(shí)，鋁合金材質(zhì)具有強(qiáng)度高、質(zhì)量輕、耐腐蝕等優(yōu)點(diǎn)，保證了設(shè)備的結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性和使用壽命。箱體采用高質(zhì)量鈑金材質(zhì)，不僅堅(jiān)固耐用，而且美觀大方。更重要的是，可根據(jù)客戶需求定制外觀顏色，滿足不同用戶的個(gè)性化審美需求。在一些對(duì)環(huán)境美觀度有要求的實(shí)驗(yàn)室或生產(chǎn)車間，定制化的外觀設(shè)計(jì)能使設(shè)備更好地融入整體環(huán)境。這種既注重功能又兼顧外觀的設(shè)計(jì)，充分體現(xiàn)了產(chǎn)品的人性化和靈活性。針對(duì)一些局部溫度波動(dòng)精度要求比較高的區(qū)域，可以采用局部氣浴的控制方式，對(duì)局部進(jìn)行高精密溫控。

數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)記錄查詢功能為用戶帶來(lái)了極大的便利，提升了設(shè)備的使用體驗(yàn)和管理效率。數(shù)據(jù)自動(dòng)生成曲線，就如同設(shè)備運(yùn)行的 “心電圖”，用戶通過(guò)曲線能直觀地看到設(shè)備運(yùn)行過(guò)程中溫濕度、壓力等參數(shù)隨時(shí)間的變化情況，便于及時(shí)發(fā)現(xiàn)異常波動(dòng)。數(shù)據(jù)自動(dòng)保存，方便用戶進(jìn)行后續(xù)的數(shù)據(jù)分析和處理?？蒲腥藛T可以通過(guò)分析歷史數(shù)據(jù)，優(yōu)化實(shí)驗(yàn)方案；生產(chǎn)人員能夠依據(jù)數(shù)據(jù)找出設(shè)備運(yùn)行的參數(shù)，提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。同時(shí)，運(yùn)行狀態(tài)、故障狀態(tài)等事件同步記錄，查詢一目了然。一旦設(shè)備出現(xiàn)故障，用戶能迅速?gòu)挠涗浿蝎@取故障發(fā)生的時(shí)間、類型等信息，為快速排查和解決故障提供有力支持。設(shè)備內(nèi)部濕度穩(wěn)定性極強(qiáng)，8 小時(shí)內(nèi)可達(dá)±0.5%。四川0.01℃環(huán)境

該系統(tǒng)集成暖通通風(fēng)、環(huán)境潔凈、照明安防及實(shí)驗(yàn)室管理系統(tǒng)，能夠?qū)崟r(shí)記錄查詢數(shù)據(jù)。四川0.01℃環(huán)境

在電極制備環(huán)節(jié)，溫濕度的不穩(wěn)定會(huì)對(duì)電極材料的涂布均勻性造成極大干擾。溫度過(guò)高，涂布用的漿料黏度降低，流動(dòng)性增強(qiáng)，容易出現(xiàn)厚度不均的情況，這會(huì)使得電池在充放電過(guò)程中局部電流密度不一致，降低電池性能。濕度若偏高，漿料中的水分含量難以精細(xì)控制，水分過(guò)多不僅會(huì)改變漿料的化學(xué)性質(zhì)，影響電極材料與集流體的附著力，還可能在后續(xù)干燥過(guò)程中引發(fā)氣泡，導(dǎo)致電極表面出現(xiàn)孔洞，增加電池內(nèi)阻，降低電池的能量密度和充放電效率。四川0.01℃環(huán)境