襯底粗磨減薄砂輪是半導(dǎo)體制造中的關(guān)鍵工具,尤其在晶圓襯底減薄工藝中發(fā)揮著不可替代的作用。隨著新能源汽車、軌道交通、消費電子等行業(yè)的快速發(fā)展,市場對于芯片和功率器件的性能要求越來越高,這直接推動了襯底粗磨減薄砂輪技術(shù)的不斷進步。在江蘇優(yōu)普納科技有限公司,我們專注于研發(fā)和生產(chǎn)品質(zhì)高的襯底粗磨減薄砂輪,以滿足客戶日益增長的需求。我們的砂輪采用先進的金剛石磨料和品質(zhì)高結(jié)合劑,確保在粗磨過程中具有出色的磨削效率和穩(wěn)定性,同時能更大限度地減少晶圓表面的損傷,提高芯片良率。通過持續(xù)的技術(shù)研發(fā)和工藝改進 優(yōu)普納碳化硅晶圓減薄砂輪在性能上不斷突破 為國產(chǎn)半導(dǎo)體加工設(shè)備及耗材力量。適配砂輪生產(chǎn)廠家
針對不同磨床特性,優(yōu)普納提供基體優(yōu)化設(shè)計服務(wù),通過調(diào)整砂輪結(jié)構(gòu)(如孔徑、厚度、溝槽)增強與設(shè)備的匹配度。例如,為適配DISCO-DFG8640高速減薄機,優(yōu)普納開發(fā)了增強型冷卻流道砂輪,使8吋SiC晶圓加工效率提升25%,磨耗比控制在30%以內(nèi)??蛻艨筛鶕?jù)自身設(shè)備型號、晶圓尺寸(4吋/6吋/8吋)及工藝階段(粗磨/精磨)靈活選擇砂輪方案,實現(xiàn)“一機一策”的精確適配。江蘇優(yōu)普納科技有限公司專業(yè)生產(chǎn)砂輪,品質(zhì)有保證,歡迎您的隨時致電咨詢,為您提供滿意的產(chǎn)品以及方案。國產(chǎn)砂輪實驗數(shù)據(jù)在8吋SiC線割片的粗磨加工中,優(yōu)普納砂輪于DISCO-DFG8640減薄機上達到磨耗比30%,Ra≤30nm,TTV≤3μm。
在半導(dǎo)體制造等精密加工領(lǐng)域,精磨減薄砂輪發(fā)揮著舉足輕重的作用。其工作原理基于磨料的磨削作用,通過砂輪高速旋轉(zhuǎn),磨粒與工件表面產(chǎn)生強烈摩擦,從而實現(xiàn)材料的去除與減薄。以江蘇優(yōu)普納科技有限公司的精磨減薄砂輪為例,在碳化硅(SiC)、氮化鎵(GaN)等第三代半導(dǎo)體材料的加工中,砂輪中的磨粒憑借自身極高的硬度,切入堅硬且脆性大的半導(dǎo)體材料表面。磨粒的粒度分布經(jīng)過精心設(shè)計,從粗粒度用于高效去除大量材料,到細粒度實現(xiàn)精密的表面修整,整個過程如同工匠精心雕琢藝術(shù)品。在磨削過程中,結(jié)合劑的作用不可或缺,它牢牢把持磨粒,使其在合適的時機發(fā)揮磨削功能,同時又能在磨粒磨損到一定程度時,適時讓磨粒脫落,新的鋒利磨粒得以露出,這一過程被稱為砂輪的自銳性。優(yōu)普納的砂輪在結(jié)合劑的研發(fā)上投入大量精力,通過優(yōu)化結(jié)合劑配方,實現(xiàn)了磨粒把持力與自銳性的完美平衡,確保在長時間的磨削作業(yè)中,砂輪始終保持穩(wěn)定且高效的磨削性能,為半導(dǎo)體晶圓的高質(zhì)量減薄加工奠定堅實基礎(chǔ)。
優(yōu)普納砂輪以國產(chǎn)價格提供進口品質(zhì),單次加工成本降低40%。例如,進口砂輪精磨8吋SiC晶圓磨耗比通常超過250%,而優(yōu)普納產(chǎn)品只需200%,且Ra≤3nm的精度完全滿足5G、新能源汽車芯片制造需求。客戶反饋顯示,國產(chǎn)替代后設(shè)備停機更換頻率減少50%,年維護成本節(jié)省超百萬元。針對不同設(shè)備(如DISCO-DFG8640、東京精密HRG200X),優(yōu)普納提供基體優(yōu)化設(shè)計砂輪,增強冷卻液流動性,減少振動。支持定制2000#至30000#磨料粒度,適配粗磨、半精磨、精磨全工藝。案例中,6吋SiC晶圓使用30000#砂輪精磨后TTV≤2μm,表面質(zhì)量達國際先進水平。優(yōu)普納砂輪于東京精密-HRG200X減薄機上,對8吋SiC線割片進行粗磨,磨耗比35%,Ra≤30nm,TTV≤3μm。
襯底粗磨減薄砂輪的應(yīng)用工序主要包括背面減薄和正面磨削的粗磨加工。在背面減薄過程中,砂輪需要與晶圓保持恒定的接觸面積,以確保磨削力的穩(wěn)定,避免晶圓出現(xiàn)破片或亞表面損傷。江蘇優(yōu)普納科技有限公司的襯底粗磨減薄砂輪經(jīng)過精心設(shè)計和制造,具有優(yōu)異的端面跳動和外圓跳動控制,能夠在高轉(zhuǎn)速下保持穩(wěn)定的磨削性能。此外,我們的砂輪還具有良好的散熱性能,能夠有效降低磨削過程中產(chǎn)生的熱量,保護晶圓不受熱損傷。歡迎您的隨時致電咨詢~在8吋SiC線割片的精磨案例中,優(yōu)普納砂輪于DISCO-DFG8640減薄機上實現(xiàn)磨耗比200%,Ra≤3nm,TTV≤2μm。浙江砂輪性能
通過優(yōu)化砂輪的基體設(shè)計,優(yōu)普納產(chǎn)品有效減少加工過程中的振動,提升加工精度,增強冷卻效果 延長使用壽命。適配砂輪生產(chǎn)廠家
江蘇優(yōu)普納科技有限公司:5G基站氮化鎵(GaN)器件對晶圓表面質(zhì)量要求極高,江蘇優(yōu)普納科技有限公司的砂輪通過超精密磨削工藝實現(xiàn)Ra≤3nm的鏡面效果。某通信設(shè)備制造商采用優(yōu)普納砂輪加工6吋GaN襯底,精磨磨耗比120%,TTV≤2μm,芯片良率從88%提升至95%,單月產(chǎn)能突破10萬片。這一案例驗證了國產(chǎn)砂輪在高頻、高功率半導(dǎo)體領(lǐng)域的可靠性與競爭力。江蘇優(yōu)普納科技有限公司專業(yè)生產(chǎn)砂輪,品質(zhì)有保證,歡迎您的隨時致電咨詢,為您提供滿意的產(chǎn)品以及方案。適配砂輪生產(chǎn)廠家