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來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2022-02-21

下面為大家介紹一下全自動(dòng)HMDS真空烤箱的整機(jī)尺寸、真空腔體尺寸。1.內(nèi)膽尺寸:650*650*650;450*450*450mm;300*300*300mm;2.載物托架:2塊3.室溫+10℃-250℃控溫范圍:溫度分辨率:0.1℃溫度波動(dòng)度:0.5℃4.真空泵:油泵或無(wú)油真空泵。真空度:133pa,5.加熱方式:腔體下部及兩側(cè)加溫。加熱器為外置加熱板(防止一側(cè)加熱使的HMDS液進(jìn)入箱體內(nèi)不能完本轉(zhuǎn)成氣態(tài))6.可放2寸晶圓片或4寸晶圓片;6寸晶圓片;8寸晶圓片等。7.開(kāi)箱溫度可以由user自行設(shè)定來(lái)降低process時(shí)間(正常工藝在50分鐘-120分鐘(按產(chǎn)品所需而定烘烤時(shí)間),為正常工作周期不含降溫時(shí)間(因降溫時(shí)間為常規(guī)降溫)。合肥真萍告訴您如何正確使用試驗(yàn)箱?做試驗(yàn)箱廠家直供

真空烘箱是將干燥物料處于負(fù)壓條件下進(jìn)行干燥的一種箱體式干燥設(shè)備。它是利用真空泵進(jìn)行抽氣抽濕,使工作室內(nèi)形成真空狀態(tài),降低水的沸點(diǎn),加快干燥的速度。下面為大家介紹一下真萍科技真空烘箱的特點(diǎn)。1.長(zhǎng)方體工作室,使有效容積達(dá)到相當(dāng)大,微電腦溫度控制器,精確控溫。2.鋼化、防彈雙層玻璃門觀察工作室內(nèi)物體,一目了然。3.箱體閉合松緊能調(diào)節(jié),整體成型的硅橡膠門封圈,確保箱內(nèi)高真空度4.工作室采用不銹鋼板(或拉絲板)制成,確保產(chǎn)品經(jīng)久耐用。5.儲(chǔ)存、加熱、試驗(yàn)和干燥都是在沒(méi)有氧氣或者充滿惰性氣體環(huán)境里進(jìn)行,所以不會(huì)氧化。6.相當(dāng)短加熱時(shí)間,與傳統(tǒng)干燥烘箱比加熱時(shí)間減少50%以上。真空烘箱因?yàn)槭怯呻娏μ峁崮?,而濕的物品是?huì)導(dǎo)電的,故在使用上宜小心不要有漏電的現(xiàn)象發(fā)生,故一般烘箱都要接地使用,以保安全。若沒(méi)有地線也要確認(rèn)烘箱沒(méi)有漏電的現(xiàn)象;若有輕微的漏電現(xiàn)象,可試著將插座拔起后將插腳以相反方向再插入,若沒(méi)有漏電現(xiàn)象可小心使用,若仍有漏電現(xiàn)象則應(yīng)立即停用。陜西高低溫交變?cè)囼?yàn)箱合肥真萍告訴您試驗(yàn)箱如何去使用呢?

下面為大家介紹一下高溫鐘罩爐的結(jié)構(gòu)系統(tǒng)。一、爐體配置爐膛結(jié)構(gòu):采用多晶莫來(lái)石材料砌筑而成有效尺寸:φ300320mm(DH)設(shè)備重量:約1200Kg外觀顏色:掛板采用高溫噴塑,顏色為江淮藍(lán)外形尺寸:W1300H2200D1510(mm),不含(囪、指示燈)二、熱工系統(tǒng)1.額定溫度:1550℃2.限制溫度:1600℃3.加熱元件:U型硅鉬棒4.加熱功率:16kW5.空爐保溫功率≤8kW6.溫區(qū)個(gè)數(shù):1個(gè)7.控溫點(diǎn)數(shù):1點(diǎn)8.熱偶:B分度9.程序**精度:2℃(大于600℃,升溫速率≤3℃/min)10.控溫穩(wěn)定度:1℃(恒溫平臺(tái))11.爐膛溫度均勻度:4℃(恒溫1500℃,2h)

本篇介紹專業(yè)全自動(dòng)HMDS真空烤箱,首先簡(jiǎn)單介紹一下HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的必要性:在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中,光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個(gè)工藝環(huán)節(jié),涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量,涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的,而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的,這造成光刻膠和硅片的黏合性較差,尤其是正膠,顯影時(shí)顯影液會(huì)侵入光刻膠和硅片的連接處,容易造成漂條、浮膠等,導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗,同時(shí)濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到硅片表面后,經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?,其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合,起著偶聯(lián)劑的作用。上海哪家試驗(yàn)箱值得信賴?

真萍科技電腦式潔凈節(jié)能氮?dú)夤裰饕獞?yīng)用于防止晶圓片的潮濕、氧化及被其它氣體(ex阿摩利亞氣體)破壞,防止探針卡潮濕及氧化,防止光罩的受潮---黃光部封裝的金線,液防止晶的受潮,以及防止線路板受潮。下面為大家簡(jiǎn)單介紹一下真萍科技電腦式潔凈節(jié)能氮?dú)夤竦牡獨(dú)獗O(jiān)控系統(tǒng)。1.溫濕度記錄功能:1.2內(nèi)建內(nèi)存,可儲(chǔ)存溫度/濕度,收集時(shí)間1~240分鐘可自行設(shè)定。1.3可利用RS232連接阜下載至計(jì)算機(jī)中讀取。1.4品管記錄格式設(shè)計(jì),有助于內(nèi)部記錄追蹤并可支持?jǐn)?shù)據(jù)庫(kù)檔案格式。2.濕度警報(bào)系統(tǒng):2.1可設(shè)定啟動(dòng)警報(bào)的濕度值及條件,內(nèi)配蜂鳴器(90分貝)及閃爍警示功能。2.2可另外選配積層式警示燈。3.溫濕度偏移校正功能:內(nèi)建校正功能,確保顯示準(zhǔn)確度。合肥真萍告訴您使用試驗(yàn)箱的便捷性。陜西高低溫交變?cè)囼?yàn)箱

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隧道爐適用于五金模具、航天航空、納米材料、精密陶瓷、粉末治金、鐵氟龍噴涂、五金、鋰電池、化工、運(yùn)動(dòng)器材、汽車零配件、電機(jī)、化工、工業(yè)之烘烤、干燥、預(yù)熱回火、退火、老化等用途。作為隧道爐的優(yōu)良供應(yīng)商原產(chǎn)廠家,小編下面就為大家介紹一下真萍科技隧道爐的產(chǎn)品材質(zhì)的構(gòu)成。1.外箱構(gòu)成。外箱采用1.5mm厚Q235冷軋鋼板/內(nèi)箱采用1.5mm厚SUS304#不銹鋼2.系統(tǒng)裝置保護(hù)裝置定時(shí)報(bào)警斷電裝置、超溫?cái)嚯?、漏電保護(hù)斷路器、電機(jī)過(guò)載保護(hù)。做試驗(yàn)箱廠家直供

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