超高真空烘箱廣泛應(yīng)用于航空、航天、電子、通訊等科研及生產(chǎn)單位。確定儀器儀表、電工產(chǎn)品、材料、零部件、設(shè)備等在低氣壓、高溫單項(xiàng)或同時(shí)作用下的環(huán)境適應(yīng)性與可靠性試驗(yàn)。下面為大家介紹一下超高真空烘箱的主要技術(shù)指標(biāo)。1.工作室溫度范圍:常溫~+300℃用戶使用溫度260℃2.溫度波動(dòng)度:1.0℃(空載);3.溫度偏差:常壓溫度試驗(yàn):常溫~200℃時(shí)2℃200~300℃時(shí)5.0℃低氣壓高溫綜合試驗(yàn):≤100℃時(shí)2.0℃,100℃~200℃時(shí)5.0℃200℃~300℃時(shí)7.0℃試驗(yàn)箱常見(jiàn)的用途有哪些?合肥真萍告訴您。北京高低溫試驗(yàn)箱
真空烘箱是將干燥物料處于負(fù)壓條件下進(jìn)行干燥的一種箱體式干燥設(shè)備。它是利用真空泵進(jìn)行抽氣抽濕,使工作室內(nèi)形成真空狀態(tài),降低水的沸點(diǎn),加快干燥的速度。下面為大家介紹一下真萍科技真空烘箱的特點(diǎn)。一、真空程序分段控制該型號(hào)機(jī)型,抽真空過(guò)程可提供程序化編程,只需根據(jù)客戶要求編輯設(shè)定真空值,保壓時(shí)間值。相當(dāng)大可實(shí)現(xiàn)18段抽真空和保壓編程。二、操作步驟1.接通電源;2.產(chǎn)品送入腔體,關(guān)門;3.打開(kāi)電源;4.工作溫度設(shè)定好,啟動(dòng)加熱,設(shè)備進(jìn)入自動(dòng)恒溫狀態(tài);5.真空值和時(shí)間設(shè)定好后,啟動(dòng)真空泵,開(kāi)始進(jìn)入自動(dòng)抽真空階段;6.到達(dá)時(shí)間值后,真空泵自動(dòng)關(guān)閉。福建生產(chǎn)試驗(yàn)箱上海哪家試驗(yàn)箱值得信賴?
下面為大家介紹一下全自動(dòng)HMDS真空烤箱的整機(jī)尺寸、真空腔體尺寸。1.內(nèi)膽尺寸:650*650*650;450*450*450mm;300*300*300mm;2.載物托架:2塊3.室溫+10℃-250℃控溫范圍:溫度分辨率:0.1℃溫度波動(dòng)度:0.5℃4.真空泵:油泵或無(wú)油真空泵。真空度:133pa,5.加熱方式:腔體下部及兩側(cè)加溫。加熱器為外置加熱板(防止一側(cè)加熱使的HMDS液進(jìn)入箱體內(nèi)不能完本轉(zhuǎn)成氣態(tài))6.可放2寸晶圓片或4寸晶圓片;6寸晶圓片;8寸晶圓片等。7.開(kāi)箱溫度可以由user自行設(shè)定來(lái)降低process時(shí)間(正常工藝在50分鐘-120分鐘(按產(chǎn)品所需而定烘烤時(shí)間),為正常工作周期不含降溫時(shí)間(因降溫時(shí)間為常規(guī)降溫)。
真萍科技電腦式潔凈節(jié)能氮?dú)夤裰饕獞?yīng)用于防止晶圓片的潮濕、氧化及被其它氣體(ex阿摩利亞氣體)破壞,防止探針卡潮濕及氧化,防止光罩的受潮---黃光部封裝的金線,液防止晶的受潮,以及防止線路板受潮。下面為大家簡(jiǎn)單介紹一下真萍科技電腦式潔凈節(jié)能氮?dú)夤竦牡獨(dú)獗O(jiān)控系統(tǒng)。1.溫濕度記錄功能:1.2內(nèi)建內(nèi)存,可儲(chǔ)存溫度/濕度,收集時(shí)間1~240分鐘可自行設(shè)定。1.3可利用RS232連接阜下載至計(jì)算機(jī)中讀取。1.4品管記錄格式設(shè)計(jì),有助于內(nèi)部記錄追蹤并可支持?jǐn)?shù)據(jù)庫(kù)檔案格式。2.濕度警報(bào)系統(tǒng):2.1可設(shè)定啟動(dòng)警報(bào)的濕度值及條件,內(nèi)配蜂鳴器(90分貝)及閃爍警示功能。2.2可另外選配積層式警示燈。3.溫濕度偏移校正功能:內(nèi)建校正功能,確保顯示準(zhǔn)確度。合肥真萍告訴您試驗(yàn)箱的應(yīng)用范圍。
本篇介紹專業(yè)全自動(dòng)HMDS真空烤箱,首先簡(jiǎn)單介紹一下HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的必要性:在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中,光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個(gè)工藝環(huán)節(jié),涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量,涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的,而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的,這造成光刻膠和硅片的黏合性較差,尤其是正膠,顯影時(shí)顯影液會(huì)侵入光刻膠和硅片的連接處,容易造成漂條、浮膠等,導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗,同時(shí)濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到硅片表面后,經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?,其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合,起著偶聯(lián)劑的作用。試驗(yàn)箱哪家便宜?合肥真萍告訴您。高低溫試驗(yàn)箱市場(chǎng)價(jià)格
試驗(yàn)箱在社會(huì)上的重要性。北京高低溫試驗(yàn)箱
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