場(chǎng)景是新技術(shù)應(yīng)用中的重要一環(huán)，場(chǎng)景越多意味著應(yīng)用的廣大性和未來的期望空間越大，而如果一款技術(shù)誕生沒有實(shí)際的應(yīng)用場(chǎng)景，即無法融入人們的日常生活和生產(chǎn)制造中，這對(duì)它的后續(xù)發(fā)展影響是致命的。

機(jī)械手臂的應(yīng)用場(chǎng)景有哪些呢？它的應(yīng)用特點(diǎn)十分明顯，主要代替人工從事場(chǎng)景危險(xiǎn)的工作或者是代替密集型、重復(fù)性高的動(dòng)作。如果工作場(chǎng)景符合上述兩個(gè)特點(diǎn)，機(jī)械手臂都可以得到應(yīng)用。

機(jī)械手臂應(yīng)用場(chǎng)景多在制造業(yè)，有重工業(yè)屬性，如金屬加工、拋光打磨、裝配、機(jī)床上下料、碼垛/搬運(yùn)、橡膠/塑料、分揀等。 手臂伸縮機(jī)構(gòu)是機(jī)械臂伸出和縮回的伸縮位置檢測(cè)器作用基本等同于升降位置檢測(cè)器。肇慶新款晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂批發(fā)

可用于300mm半導(dǎo)體晶圓搬送的5軸水平多關(guān)節(jié)潔凈機(jī)械手臂GTCR5000系列。

單臂雙手指結(jié)構(gòu)能夠?qū)崿F(xiàn)和雙臂結(jié)構(gòu)同樣的功能。

適用于300mm半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部，檢測(cè)設(shè)備等的晶圓搬運(yùn)。

機(jī)械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長(zhǎng): 210mm, 280mm機(jī)械手臂可以單獨(dú)對(duì)應(yīng)2個(gè)FOUP（210mm臂長(zhǎng)）

或者3個(gè)FOUP（280mm臂長(zhǎng)）雙手指結(jié)構(gòu)能夠縮短更換晶圓時(shí)的手臂動(dòng)作時(shí)間適應(yīng)設(shè)備需求可以選擇底座固定方式，或者法蘭固定方式配備動(dòng)作監(jiān)視器控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式全軸采用絕對(duì)值編碼器規(guī)格的AC伺服電機(jī)通過S曲線加減速控制方式以及對(duì)運(yùn)動(dòng)軌跡的優(yōu)化

能夠高速，高精度地搬運(yùn)半導(dǎo)體晶圓晶圓固定方式：真空吸附式，下托式，邊緣夾持式，伯努利非接觸式手指材質(zhì)：CFRP(碳纖維),鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質(zhì) 陽江晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂設(shè)計(jì)在運(yùn)動(dòng)臂上加裝滾動(dòng)軸承或采用滾珠導(dǎo)軌也能使手臂運(yùn)動(dòng)輕快、平穩(wěn)。

晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂的工作原理主要包括以下幾個(gè)步驟：

吸附：吸盤通過真空吸附原理將晶圓緊密吸附在其表面，確保晶圓在傳送過程中不會(huì)發(fā)生相對(duì)位移。

移動(dòng)：傳動(dòng)系統(tǒng)驅(qū)動(dòng)機(jī)械臂按照預(yù)定軌跡進(jìn)行移動(dòng)，將晶圓從一處工藝設(shè)備傳送至另一處。放置：到達(dá)目標(biāo)位置后，吸盤釋放真空，將晶圓放置在指定位置。

返回：完成放置動(dòng)作后，吸臂返回原點(diǎn)，等待下一次傳送任務(wù)。

在整個(gè)工作過程中，控制系統(tǒng)始終監(jiān)測(cè)機(jī)械臂的運(yùn)動(dòng)狀態(tài)，確保傳送精度和穩(wěn)定性。同時(shí)，為了降低晶圓表面污染的風(fēng)險(xiǎn)，晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂還需要配備潔凈室環(huán)境控制系統(tǒng)，以維持潔凈室內(nèi)恒定的溫度、濕度和潔凈度。

本發(fā)明針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供了一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手，本發(fā)明的機(jī)械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運(yùn)動(dòng)，且角度不會(huì)發(fā)生改變。從而提高機(jī)械手整體剛度和承重能力，同時(shí)提高了重復(fù)定位精度。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定，維護(hù)方便，多功能集一身，可滿足多種工藝設(shè)備要求，適用于各種半導(dǎo)體設(shè)備。

為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明通過下述技術(shù)方案得以解決：一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手，包括升降軸、旋轉(zhuǎn)軸和伸展軸，其特征為，所述的伸展軸包括伸展電機(jī)、一級(jí)伸展臂、二級(jí)伸展臂和手指固定座，所述的一級(jí)伸展臂與所述伸展電機(jī)之間設(shè)置有一級(jí)關(guān)節(jié)，所述的一級(jí)伸展臂與所述的二級(jí)伸展臂之間設(shè)置有二級(jí)關(guān)節(jié)，所述的二級(jí)伸展臂和所述的手指固定座之間設(shè)置有三級(jí)關(guān)節(jié)，所述的伸展電機(jī)、所述的一級(jí)關(guān)節(jié)、所述的二級(jí)關(guān)節(jié)和所述的三級(jí)關(guān)節(jié)依次傳動(dòng)，所述的手指固定座始終保持直線運(yùn)動(dòng)。 手臂的結(jié)構(gòu)要緊湊小巧，才能做手臂運(yùn)動(dòng)輕快、靈活。

3) 加速度反饋控制。Khorrami FarShad 和Jain Sandeep研究了利用末端加速度反饋控制柔性機(jī)械臂的末端軌跡控制問題。4) 被動(dòng)阻尼控制。為降低柔性體相對(duì)彈性變形的影響 選用各種耗能或儲(chǔ)能材料設(shè)計(jì)臂的結(jié)構(gòu)以控制振動(dòng)。 或者在柔性梁上采用阻尼減振器、阻尼材料、復(fù)合型阻尼金屬板、、阻尼合金或用粘彈性大阻尼材料形成附加阻尼結(jié)構(gòu)均屬于被動(dòng)阻尼控制。 近年來 粘彈性大阻尼材料用于柔性機(jī)械臂的振動(dòng)控制已引起高度重視。RoSSi Mauro 和Wang David研究了柔性機(jī)器人的被動(dòng)控制問題。5) 力反饋控制法。柔性機(jī)械臂振動(dòng)的力反饋控制實(shí)際上是基于逆動(dòng)力學(xué)分析的控制方法 即根據(jù)逆動(dòng)力學(xué)分析 通過臂末端的給定運(yùn)動(dòng)求得施加于驅(qū)動(dòng)端的力矩 并通過運(yùn)動(dòng)或力檢測(cè)對(duì)驅(qū)動(dòng)力矩進(jìn)行反饋補(bǔ)償。手端的定位由各部關(guān)節(jié)相互轉(zhuǎn)角來確定，其誤差是積累誤差，因而精度較差，其位置精度也更難保證。梅州進(jìn)口晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂工廠

吸臂具有快速吸附和釋放功能，提高了工作效率。肇慶新款晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂批發(fā)

電鍍：

到這一步，晶圓基本上就完成了，現(xiàn)在要在晶圓上鍍一層硫酸銅，銅離子會(huì)從正極走向負(fù)極。

拋光：

然后將Wafer進(jìn)行打磨，到這一步晶圓就真正的完成了。

切割：

對(duì)晶圓進(jìn)行切割，值得一提的是晶圓十分易碎，因此對(duì)切割的工藝要求也是非常高的。

測(cè)試：

測(cè)試分為三大類：功能測(cè)試、性能測(cè)試、抗老化測(cè)試。大致測(cè)試模式如下:接觸測(cè)試、功耗測(cè)試、輸入漏電測(cè)試、輸出電平測(cè)試、動(dòng)態(tài)參數(shù)測(cè)試、模擬信號(hào)參數(shù)測(cè)試等等。全部測(cè)試都通過的，就是正片；部分測(cè)試未通過，但正常使用無礙，這是白片；未開始測(cè)試，就發(fā)現(xiàn)晶圓具有瑕疵的，這是黑片。

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