隨著半導體行業(yè)的迅速發(fā)展，半導體產(chǎn)品的加工面積成倍縮小，復雜程度與日俱增，生產(chǎn)半導體產(chǎn)品所需的制造設(shè)備需要綜合運用機械、光學、物理、化學等學科技術(shù)，具有技術(shù)壁壘高、制造難度大及研發(fā)投入高等特點。探針臺屬于重要的半導體測試裝備，在整個半導體產(chǎn)業(yè)的多個環(huán)節(jié)起著重要作用，是晶圓廠和元器件封測企業(yè)的重要設(shè)備之一。隨著自動化技術(shù)的飛速發(fā)展，市場對自動化探針臺需求旺盛。自動化探針臺搭配測試機能夠?qū)Τ鰪S晶圓片的電氣參數(shù)、光學參數(shù)進行測試，根據(jù)測試結(jié)果評定上一道工序的工藝質(zhì)量，并指導下一道工序。上海勤確科技有限公司擁有一批年輕、專業(yè)的員工。陜西探針臺公司

探針治具的校準：我們希望校準過程盡可能的把測試網(wǎng)絡中除DUT外所有的誤差項全部校準掉，當使用探針夾具的方式進行操作有兩種校準方法：1一種方式是直接對著電纜的SMA端面進行校準，然后通過加載探針S2P文檔的方式進行補償;2第二種方法是直接通過探針搭配的校準板在探針的端面進行校準。是要告訴大家如果直接在SMA端面進行校準之后不補償探針頭，而直接進行測量的話會帶來很大的誤差。探針廠商一般都會提供探針的S2P文檔與校準片，校準片如下圖所示，上面有Open、Short、Load及不同負載的微帶線。陜西探針臺公司在檢測虛焊和斷路的時候，探針卡用戶經(jīng)常需要為路徑電阻指定一個標稱值。

探針臺是用于檢測每片晶圓上各個芯片電信號，保證半導體產(chǎn)品品質(zhì)的重要檢測設(shè)備。因為我們需要知道器件真正的性能，而不是封裝以后的，雖然可以去嵌，但還是會引入一些誤差和不確定性。因為我們需要確定哪些芯片是好的芯片來降低封裝的成本并提高產(chǎn)量。因為有時我們需要進行自動化測試，在片進行自動化測試成本效益高而且更快。一個典型的在片測試系統(tǒng)，主要包括：矢量網(wǎng)絡分析儀，線纜，探針，探針定位器，探針臺，校準設(shè)備及軟件，電源偏置等。

有數(shù)據(jù)表明探針測試臺的故障中有半數(shù)以上是x-y工作臺的故障，而工作臺故障有許多是對其維護保養(yǎng)不當或盲目調(diào)整造成的，所以對工作臺的維護與保養(yǎng)就顯得尤為重要?，F(xiàn)在只對自動探針測試臺x-y工作臺的維護與保養(yǎng)作一介紹。平面電機x-y步進工作臺的維護與保養(yǎng)：平面電機由定子和動子組成，它和傳統(tǒng)的步進電機相比其特殊性就是將定子展開，定子是基礎(chǔ)平臺，動子和定子間有一層氣墊，動子浮于氣墊上，而可編程承片臺則安裝在動子之上。這種結(jié)構(gòu)的x-y工作臺，由于動子和定子間無相對摩擦故無磨損，使用壽命長。由于x-y工作臺的結(jié)構(gòu)差別很大，所以其使用維護保養(yǎng)不可一概而論，應區(qū)別對待。

探針臺是半導體（包括集成電路、分立器件、光電器件、傳感器）行業(yè)重要的檢測裝備之一，其普遍應用于復雜、高速器件的精密電氣測量，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。探針臺用于晶圓加工之后、封裝工藝之前的CP測試環(huán)節(jié)，負責晶圓的輸送與定位，使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個測試。在半導體器件與集成電路制造工藝中，從單晶硅棒的制取到終器件制造的完成需經(jīng)過復雜的工序，可分為前道工序與后道工序，探針臺是檢測半導體芯片的電參數(shù)、光參數(shù)的關(guān)鍵設(shè)備。經(jīng)過檢測，探針臺將參數(shù)特性不符合要求的芯片記錄下來，在進入后序工序前予以剔除，降低器件的制造成本。上海勤確科技有限公司自動探針測試臺和以采用精密滾珠絲杠副和直線導軌結(jié)構(gòu)的x-y工作臺型自動探針測試臺。貴州探針臺配件廠家

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隨著電子技術(shù)的不斷發(fā)展，對于精密微小(納米級)的微電子器件，表筆點到被測位置就顯得無能為力了。于是一種高精度探針座應運而生，利用高精度微探針將被測原件的內(nèi)部訊號引導出來，便于其電性測試設(shè)備(不屬于本機器)對此測試、分析。探針臺執(zhí)行機構(gòu)由探針座和探針桿兩部分組成.在探針座有X-Y-Z三向調(diào)節(jié)旋鈕，控制固定在針座上的探針桿做三向移動，移動范圍12mm，移動精度可以達到0.7微米。這樣可以把探針很好的點到待測點上(說明探針是耗材，一般客戶自己準備)，探針探測到的信號可以通過探針桿上的電纜傳輸?shù)脚c其連接的測試機上，從而得到電性能的參數(shù)。對于重復測試同種器件，多個點位的推薦使用探針臺安裝探卡進行測試。陜西探針臺公司