隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展以及真空應(yīng)用領(lǐng)域的擴(kuò)大,原有的機(jī)械真空泵及其組成的抽氣系統(tǒng)出現(xiàn)了兩個(gè)急需解決問題:一是泵的工作介質(zhì)返流污染被抽容器,而這種返流在許多情況下影響產(chǎn)品的質(zhì)量、數(shù)量,增加設(shè)備的維護(hù)成本。其次,由于某些工藝過程中的反應(yīng)物質(zhì)使真空泵內(nèi)的介質(zhì)嚴(yán)重變質(zhì),使泵不能正常工作。對(duì)于普通的無油真空系統(tǒng)來說,雖然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之類附件來防止返流,但不能徹底解決問題,而且使系統(tǒng)顯得復(fù)雜。而使用適當(dāng)型式的干式機(jī)械真空泵,則可以達(dá)到理想的使用效果。干式機(jī)械真空泵的應(yīng)用是普遍的,主要有以下幾個(gè)方面:1)低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中;2)半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒;3)除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,則用一定型式的干式機(jī)械真空泵可以滿足要求;4)在化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等,要防止有機(jī)溶劑造成污染,適合用干式真空泵;5)用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級(jí)泵,以防止油污染。沃德氣體有著質(zhì)量的服務(wù)質(zhì)量和極高的信用等級(jí)。吉林循式干式真空泵維修
通過曲柄連桿機(jī)構(gòu)的作用(旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)變成直線運(yùn)動(dòng)),使氣缸內(nèi)的活塞作往復(fù)運(yùn)動(dòng)。當(dāng)活塞在氣缸內(nèi)從左端向右端運(yùn)動(dòng)時(shí),由于氣缸的左腔體積不斷增大,左腔空間的壓強(qiáng)不斷的降低,當(dāng)左腔空間內(nèi)的壓強(qiáng)低于被抽容器內(nèi)的壓強(qiáng),根據(jù)氣體壓強(qiáng)平衡的原理,被抽容器內(nèi)的氣體經(jīng)過吸氣閥不斷地被抽進(jìn)左腔,此時(shí)正處于吸氣過程。當(dāng)活塞達(dá)到**右位置時(shí),氣缸左腔內(nèi)就充滿了氣體。接著活塞從右端向左端運(yùn)動(dòng),此時(shí)吸氣閥自動(dòng)關(guān)閉。氣體隨著活塞從右往左運(yùn)動(dòng)而逐漸被壓縮。當(dāng)氣缸內(nèi)的氣體達(dá)到排氣壓力時(shí),此時(shí)排氣閥被打開,氣體被排出,完成了一個(gè)工作循環(huán)。當(dāng)活塞在從左端向右端運(yùn)動(dòng)時(shí),重復(fù)上述循環(huán),直到被抽容器達(dá)到某一平衡壓力為止。在干式真空泵中,吸氣閥和排氣閥是非常重要的部件且是易損部件,它們工作的好壞直接影響往復(fù)泵的極限壓力、抽氣速率、功率消耗以及運(yùn)行的可靠性。干式真空泵功能的散布:在擴(kuò)大企業(yè)生產(chǎn)力發(fā)展優(yōu)勢(shì)的過程中,應(yīng)不斷提式真空泵產(chǎn)品實(shí)際性能的優(yōu)越性,加快其應(yīng)用效果。其產(chǎn)品應(yīng)用和實(shí)踐能力的整體驅(qū)動(dòng)力是不斷提高其產(chǎn)品強(qiáng)度的整體發(fā)展,通過綜合驅(qū)動(dòng)產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)來提高設(shè)備的應(yīng)用效率。因此,其各方面的性能能力不斷提高,充分發(fā)揮其產(chǎn)品的實(shí)用優(yōu)勢(shì)。天津VPS干式真空泵機(jī)組沃德氣體銳意進(jìn)取,持續(xù)創(chuàng)新為各行各業(yè)提供專業(yè)化服務(wù)。
干式螺桿真空泵,是利用一對(duì)螺桿,在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的抽氣設(shè)備,兩螺桿經(jīng)精細(xì)動(dòng)平衡校正,由軸承支撐,安裝在泵殼中,螺桿與螺桿之間都有一定的間隙,因此泵工作時(shí),相互之間無磨擦,運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn),噪音低,工作腔無需潤滑油,因此,干式螺桿泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場(chǎng)合,極限真空更高,消耗功率更低,具有節(jié)能,免維修等優(yōu)點(diǎn)。它是油封式/水環(huán)式/噴射式真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品。
維修工作者和操作者應(yīng)立即采取措施,不應(yīng)以為常,認(rèn)為“小毛病”不傷大雅而聽之任之。否則長此以往將引起泵漏氣或損壞。漏油并不難解決,只須先放出泵油,拆開泄漏處以調(diào)換密封件即可。前已介紹過軸封漏的解決辦法,對(duì)放油孔滲漏,可用鉛板、橡膠紙板、耐油真空橡皮板等作成墊換上,對(duì)油窗等其他密封處漏油可同樣處理。箱體本身摻漏較少見,多由砂眼引起,可用環(huán)氧樹脂等堵漏劑將其封死。真空泵如何選擇真空泵是常見的真空設(shè)備,那么,真空泵如何選擇呢?首先必須檢查確定每一種工藝要求的真空度。因?yàn)槊恳环N工藝都有其適應(yīng)的真空度范圍,必須認(rèn)真研究確定之。在確定了工藝要求的真空度的基礎(chǔ)上檢查真空泵系統(tǒng)的極限真空度,因?yàn)橄到y(tǒng)的極限真空度決定了系統(tǒng)的比較好工作真空度。一般來講,系統(tǒng)的極限真空度比系統(tǒng)的工作真空度低20%,比前級(jí)泵的極限真空度低50%。檢查確定工藝要求的抽氣種類與抽氣量。因?yàn)槿绻怀闅怏w種類與泵內(nèi)液體發(fā)生反應(yīng),泵系統(tǒng)將被污染。同時(shí)必須考慮確定合適的排氣時(shí)間與抽氣過程中產(chǎn)生的氣體量。檢查確定達(dá)到要求的真空度所需要的時(shí)間、真空管道的流阻與泄漏。考慮達(dá)到要求真空度后在一定工藝要求條件下維持真空需要的抽氣速率。沃德氣體過硬的產(chǎn)品質(zhì)量、質(zhì)量的售后服務(wù)、認(rèn)真嚴(yán)格的企業(yè)管理,贏得客戶的信譽(yù)。
干式機(jī)械真空泵的應(yīng)用是較廣的,主要有以下幾個(gè)方面: 1 低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中; 2 半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒; 3 除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝,不希望微?;烊氡糜椭?,而希望微粒排出泵外,則用一定型式的干式機(jī)械真空泵可以滿足要求; 4 在化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等,要防止有機(jī)溶劑造成污染,適合用干式真空泵; 5 用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級(jí)泵,以防止油污染。沃德氣體以發(fā)展求壯大,就一定會(huì)贏得更好的明天。天津VPS干式真空泵機(jī)組
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組合式設(shè)計(jì)的每一級(jí)都需要較大流量的氮?dú)鈦砥鸬较♂尯透綦x作用。外部壓縮型螺桿式在外部壓縮型螺桿式設(shè)計(jì)中,使用一對(duì)等距螺桿。這使得內(nèi)部壓縮減到**小,同時(shí)使得氣體通路**短也**簡單。這樣,氣體在泵體內(nèi)停留的時(shí)間也**短。雖然這種設(shè)計(jì)由于減少了內(nèi)部的壓縮比而使得其耗電量相對(duì)較高,但在很多復(fù)雜的半導(dǎo)體工藝中表現(xiàn)出極高的穩(wěn)定性。這種單級(jí)設(shè)計(jì)使得其對(duì)氮?dú)庥昧康囊笠卜浅P《液唵?,這樣就使得其在不同工藝中有很好的互換性。在很多清潔的工藝中甚至可以不用氮?dú)?。?nèi)部壓縮型螺桿式除了使用一對(duì)非等距螺桿以外,內(nèi)部壓縮型螺桿式設(shè)計(jì)和外部壓縮型螺桿式設(shè)計(jì)的基本原理非常相似。螺桿間容積的不斷減小使得其內(nèi)部產(chǎn)生壓縮。這種設(shè)計(jì)由于產(chǎn)生內(nèi)部壓縮而使得其耗電量降低到同多級(jí)泵相當(dāng)?shù)乃健5诤芏喙に囍?,這種內(nèi)部壓縮同多級(jí)泵一樣,極易造成氣體在泵體內(nèi)的物理化學(xué)變化而產(chǎn)生固化或液化。干式真空泵工作原理編輯1)干式螺桿真空泵干式螺桿真空泵,是利用一對(duì)螺桿,在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的抽氣設(shè)備,兩螺桿經(jīng)精細(xì)動(dòng)平衡校正,由軸承支撐,安裝在泵殼中,螺桿與螺桿之間都有一定的間隙,因此泵工作時(shí),相互之間無磨擦,運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)。吉林循式干式真空泵維修
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