HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的必要性:在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中,光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個(gè)工藝環(huán)節(jié),涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量,涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的,而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的,這造成光刻膠和硅片的黏合性較差,尤其是正膠,顯影時(shí)顯影液會(huì)侵入光刻膠和硅片的連接處,容易造成漂條、浮膠等,導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗,同時(shí)濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。  增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到硅片表面后,經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?,其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合,起著偶聯(lián)劑的作用。工業(yè)烤箱如何發(fā)揮重要作用?合肥真萍告訴您。做工業(yè)烤箱報(bào)價(jià)
下面為大家介紹一下真空干燥箱。它是將干燥物料處于負(fù)壓條件下進(jìn)行干燥的一種箱體式干燥設(shè)備。它是利用真空泵進(jìn)行抽氣抽濕,使工作室內(nèi)形成真空狀態(tài),降低水的沸點(diǎn),加快干燥的速度。特點(diǎn):1、長(zhǎng)方體工作室,增加有效容積,微電腦溫度控制器,精確控溫。2、雙層玻璃視窗觀察工作室內(nèi)物體,一目了然。3、箱體閉合松緊能調(diào)節(jié),整體成型的硅橡膠門(mén)封圈,確保箱內(nèi)高真空度。4、工作室采用不銹鋼板(或拉絲板)制成,確保產(chǎn)品經(jīng)久耐用。5、儲(chǔ)存、加熱、試驗(yàn)和干燥都是在沒(méi)有氧氣或者充滿惰性氣體環(huán)境里進(jìn)行,所以不會(huì)氧化。真空程序分段控制該型號(hào)機(jī)型,抽真空過(guò)程可提供程序化編程,根據(jù)客戶要求編輯設(shè)定真空值,保壓時(shí)間值。可實(shí)現(xiàn)多段抽真空和保壓編程。操作步驟1,接通電源2,產(chǎn)品送入腔體,關(guān)門(mén)3,打開(kāi)電源4,工作溫度設(shè)定好,啟動(dòng)加熱,設(shè)備進(jìn)入自動(dòng)恒溫狀態(tài)5,真空值和時(shí)間設(shè)定好后,啟動(dòng)真空泵,開(kāi)始進(jìn)入自動(dòng)抽真空階段6,到達(dá)時(shí)間值后,真空泵自動(dòng)關(guān)閉福建工業(yè)烤箱廠家工業(yè)烤箱的特點(diǎn)是什么?合肥真萍告訴您。
超高真空烘箱一、本產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于航空、航天、電子、通訊等科研及生產(chǎn)單位。確定儀器儀表、電工產(chǎn)品、材料、零部件、設(shè)備等在低氣壓、高溫單項(xiàng)或同時(shí)作用下的環(huán)境適應(yīng)性與可靠性試驗(yàn).二、主要技術(shù)指標(biāo):1、工作室溫度范圍:常溫~+300℃用戶使用溫度260℃2、溫度波動(dòng)度:1.0℃(空載);3、溫度偏差:常壓溫度試驗(yàn):常溫~200℃時(shí)2℃200~300℃時(shí)5.0℃低氣壓高溫綜合試驗(yàn):≤100℃時(shí)2.0℃,100℃~200℃時(shí)5.0℃200℃~300℃時(shí)7.0℃4、升降溫速率:升溫時(shí)間:①常壓時(shí):90min(常溫~+260℃)②低氣壓0.0001pa時(shí):180min(常溫~+260℃)降溫時(shí)間:3℃~10℃/min(260℃~120℃),1℃~5℃/min(120℃~常溫℃)降溫方式:水冷降溫5、試驗(yàn)箱承壓方式:采用內(nèi)承壓方式6、壓力范圍:常壓~0.0001Pa
真空烤盤(pán)爐是與MOCVD設(shè)備配套使用的爐體,爐內(nèi)抽真空,被處理工件放置在爐膛內(nèi),采用清洗氣體加熱反應(yīng)方式進(jìn)行干式清洗(清洗氣體:N2,H2)。主要用于有效清洗除MOCVD承受器(SiC涂層石墨盤(pán)或石英盤(pán))上的氮化鎵和氮化鋁等,可達(dá)到有效清潔處理,提高制品質(zhì)量的目的。二、設(shè)計(jì)特點(diǎn)1、后門(mén)設(shè)計(jì)熱風(fēng)電機(jī)2、降溫時(shí)風(fēng)機(jī)開(kāi)啟,同時(shí)兩端降溫封頭開(kāi)啟,爐膛內(nèi)產(chǎn)生如圖所示的氣體流向3、通過(guò)氣體介質(zhì)將隔熱層內(nèi)與水冷壁之間進(jìn)行熱交換,達(dá)到快速降溫的目的三、技術(shù)指標(biāo)1、使用溫度:1450℃;比較高溫度:1500℃;2、絕熱材料:石墨纖維毯、石墨紙;4、加熱元件:石墨加熱棒;5、冷卻方式:氣冷+循環(huán)風(fēng)冷降溫;6、控溫穩(wěn)定度:2℃,具有PID參數(shù)自整定功能;7、爐膛溫度均勻度:5℃(恒溫1500℃);8、氣氛:可向爐膛內(nèi)通入干燥、潔凈、無(wú)油的高純度氮?dú)?純度≥99.999%;9、極限真空:10-3torr級(jí);10、抽氣速率:空載下,30min達(dá)到10-2torr11、升溫功率:170kW;12、升溫速率:15℃/min(空載);13、降溫速率:1450℃至80℃,240分鐘14、腔體尺寸:1000*1000*1000mm(寬*深*高)合肥真萍與您分享工業(yè)烤箱的重要性。
工業(yè)烤箱為內(nèi)外雙層結(jié)構(gòu),殼體為角鋼薄鋼板,內(nèi)外雙層殼體之間填充有纖維物質(zhì)。工業(yè)烤箱使用的纖維物質(zhì)多為硅酸鋁,它能起到保溫的作用,形成可靠的保溫層。工業(yè)烤箱配置有熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)及溫度測(cè)量與控制系統(tǒng)。工業(yè)烤箱在工作時(shí),操作人員通過(guò)儀表和感溫器來(lái)獲得工業(yè)烤箱內(nèi)部的溫度值,在通過(guò)控制系統(tǒng)進(jìn)行操作。工業(yè)烤箱的熱風(fēng)循環(huán)加熱方式,與普通的散熱加熱方式相比,有著更好的氣體流動(dòng)性,能加快工業(yè)烤箱內(nèi)物料的干燥速度。業(yè)烤箱配置有熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)及溫度測(cè)量與控制系統(tǒng)。工業(yè)烤箱找哪家比較安心?合肥真萍不錯(cuò)。做工業(yè)烤箱報(bào)價(jià)
工業(yè)烤箱怎樣使用?合肥真萍告訴您。做工業(yè)烤箱報(bào)價(jià)
一、本產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于航空、航天、電子、通訊等科研及生產(chǎn)單位。確定儀器儀表、電工產(chǎn)品、材料、零部件、設(shè)備等在低氣壓、高溫單項(xiàng)或同時(shí)作用下的環(huán)境適應(yīng)性與可靠性試驗(yàn).二、主要技術(shù)指標(biāo):1、工作室溫度范圍:常溫~+300℃用戶使用溫度260℃2、溫度波動(dòng)度:1.0℃(空載);3、溫度偏差:常壓溫度試驗(yàn):常溫~200℃時(shí)2℃200~300℃時(shí)5.0℃低氣壓高溫綜合試驗(yàn):≤100℃時(shí)2.0℃,100℃~200℃時(shí)5.0℃200℃~300℃時(shí)7.0℃4、升降溫速率:升溫時(shí)間:①常壓時(shí):90min(常溫~+260℃)②低氣壓0.0001pa時(shí):180min(常溫~+260℃)降溫時(shí)間:3℃~10℃/min(260℃~120℃),1℃~5℃/min(120℃~常溫℃)降溫方式:水冷降溫5、試驗(yàn)箱承壓方式:采用內(nèi)承壓方式6、壓力范圍:常壓~0.0001Pa做工業(yè)烤箱報(bào)價(jià)
上海矽旺電子科技有限公司主要經(jīng)營(yíng)范圍是交通運(yùn)輸,擁有一支專業(yè)技術(shù)團(tuán)隊(duì)和良好的市場(chǎng)口碑。公司自成立以來(lái),以質(zhì)量為發(fā)展,讓匠心彌散在每個(gè)細(xì)節(jié),公司旗下電子科技,機(jī)械科技,機(jī)電科技,電氣科技深受客戶的喜愛(ài)。公司從事交通運(yùn)輸多年,有著創(chuàng)新的設(shè)計(jì)、強(qiáng)大的技術(shù),還有一批**的專業(yè)化的隊(duì)伍,確保為客戶提供良好的產(chǎn)品及服務(wù)。矽旺電子科技立足于全國(guó)市場(chǎng),依托強(qiáng)大的研發(fā)實(shí)力,融合前沿的技術(shù)理念,飛快響應(yīng)客戶的變化需求。