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來源: 發(fā)布時間:2023-08-13

下面為大家介紹一下石墨盤真空烤盤爐的用途和設計。一、產(chǎn)品介紹真空烤盤爐是與MOCVD設備配套使用的爐體,爐內(nèi)抽真空,被處理工件放置在爐膛內(nèi),采用清洗氣體加熱反應方式進行干式清洗(清洗氣體:N2,H2)。主要用于有效清洗除MOCVD承受器(SiC涂層石墨盤或石英盤)上的氮化鎵和氮化鋁等,可達到有效清潔處理,提高制品質量的目的。二、設計特點1.后門設計熱風電機2.降溫時風機開啟,同時兩端降溫封頭開啟,爐膛內(nèi)產(chǎn)生如圖所示的氣體流向3.通過氣體介質將隔熱層內(nèi)與水冷壁之間進行熱交換,達到快速降溫的目的氣氛爐如何選擇?合肥真萍科技告訴您。常州氣氛爐供應商家

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下面為大家介紹一下全自動HMDS真空烤箱的技術指標。1.HMDS管路加熱功能,使HMDS液體進入箱體的前端管路加熱,使轉為HMDS氣態(tài)時更易。2.低液報警裝置,采用紅外液體感測器,能及時靈敏給出指令(當HMDS液過低時發(fā)出報警及及時切斷工作起動功能)3.溫度與PLC聯(lián)動保護功能(當PLC沒有啟動程序時,加溫功能啟動不了,相反加溫功能啟動時,PLC程序不按正常走時也及時切斷工作功能,發(fā)出警報)4.整個箱體及HMDS氣體管路采用SUS316不銹鋼材料,整體使用無縫焊接(避免拼接導致HMDS液體腐蝕外泄對人體的傷害)泉州氣氛爐生產(chǎn)廠商合肥真萍科技建材為您提供專業(yè)的氣氛爐定制服務。

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下面為大家介紹一下全自動HMDS真空烤箱的整機尺寸、真空腔體尺寸。1.內(nèi)膽尺寸:650*650*650;450*450*450mm;300*300*300mm;2.載物托架:2塊3.室溫+10℃-250℃控溫范圍:溫度分辨率:0.1℃溫度波動度:0.5℃4.真空泵:油泵或無油真空泵。真空度:133pa,5.加熱方式:腔體下部及兩側加溫。加熱器為外置加熱板(防止一側加熱使的HMDS液進入箱體內(nèi)不能完本轉成氣態(tài))6.可放2寸晶圓片或4寸晶圓片;6寸晶圓片;8寸晶圓片等。7.開箱溫度可以由user自行設定來降低process時間(正常工藝在50分鐘-120分鐘(按產(chǎn)品所需而定烘烤時間),為正常工作周期不含降溫時間(因降溫時間為常規(guī)降溫)。

中溫氣氛箱式爐主要用于磷酸鐵鋰正極材料等類似產(chǎn)品的高溫燒結、熱處理,下面為大家介紹一下中溫氣氛箱式爐的系統(tǒng)配置。一、熱工系統(tǒng)1.額定溫度800℃2.較高溫度850℃3.加熱元件陶瓷外絲加熱管4.加熱功率18kw5.空爐保溫功率約9kw6.溫區(qū)個數(shù)1個7.控溫點數(shù)2點8.熱偶K分度9.控溫穩(wěn)定度1℃(恒溫平臺)10.爐膛溫度均勻度6℃(恒溫800℃,1h)二、氣氛系統(tǒng)1.爐膛氣氛2路氮氣,流量計量程為2~20L/min;每路流量可調節(jié)2.排氣系統(tǒng)在爐膛頂部設置一個排氣囪,用于廢氣排放,廢氣3.經(jīng)過水封清洗后進入大氣中,減少對環(huán)境污染4.氧含量配氧含量分析儀分析氧含量:5.高溫狀態(tài)氧含量≤10ppm+氣源氧含量6.低溫狀態(tài)氧含量≤50ppm+氣源氧含量合肥真萍科技為您提供氣氛爐的詳細介紹。

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密封性為了控制爐內(nèi)的氣氛,維持爐內(nèi)的壓力,爐內(nèi)工作空間始終要與外界空氣隔絕,盡量避免漏氣和吸入空氣,故要求爐殼,砌體,爐門及所有外界連接零件如風扇,熱電偶,輻射管,推拉料機等采用密封裝置;加熱方法為了保證氣氛的穩(wěn)定性,氣氛爐可分為馬弗爐和無馬弗爐兩種,馬弗爐的火焰在馬弗外,工件在馬弗內(nèi)進行間接加熱;無馬弗爐采用各種火焰輻射管或者電輻射管,將火焰或者電熱體與爐氣隔開,以免破環(huán)爐內(nèi)氣氛的穩(wěn)定。防爆裝置還原氣體和空氣混合達到一定混合比,在一定溫度下易引起,故對爐子的前,后室,淬火室以及緩冷室等均設有防爆裝置,爐子供氣和排氣的控制系統(tǒng)也要有防爆措施。合肥真萍科技氣氛爐價格更優(yōu)惠。泉州氣氛爐生產(chǎn)廠商

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電熱鼓風烤箱適用于各種產(chǎn)品或材料及電氣、儀表、元器件、電子、電工及汽車、航空、通訊塑膠、機械、食品、化工、化學品、五金工具等在恒溫環(huán)境條件下做干燥和各種恒溫適應性試驗。下面為大家介紹一下真萍科技電熱鼓風烤箱的箱體結構。1.工作室與外箱之間的保溫材質是質量超細玻璃纖維保溫棉,保溫厚度:>70mm,隔溫效果好,國內(nèi)高性能的絕緣結構。從內(nèi)到外有內(nèi)腔、外殼、超細玻璃纖維、鋁制反射鋁箔片、空氣夾層,內(nèi)膽熱量損失少。內(nèi)膽外箱及門膽結構獨特,極大減少了內(nèi)腔熱量的外傳。2.門與門框之間采用高性能密封材料及獨特的橡膠密封結構,密封、耐高溫性、抗老化性好。3.箱內(nèi)風道采用雙循環(huán)系統(tǒng),不銹鋼多翼式離心風輪及循環(huán)風道組成,置于箱體背部的電加熱器熱量通過側面風道向前排出,經(jīng)過干燥物后再被背部的離心風輪吸入,形成合理的風道,能使熱氣充分對流,使箱內(nèi)溫度相當大限度達到均勻。提高了空氣流量加熱的能力,大幅改善了干燥箱的溫度均勻性。4.加熱器用不銹鋼電加熱管,升溫快,壽命長。常州氣氛爐供應商家

合肥真萍電子科技有限公司是一家生產(chǎn)型類企業(yè),積極探索行業(yè)發(fā)展,努力實現(xiàn)產(chǎn)品創(chuàng)新。是一家有限責任公司企業(yè),隨著市場的發(fā)展和生產(chǎn)的需求,與多家企業(yè)合作研究,在原有產(chǎn)品的基礎上經(jīng)過不斷改進,追求新型,在強化內(nèi)部管理,完善結構調整的同時,良好的質量、合理的價格、完善的服務,在業(yè)界受到寬泛好評。公司始終堅持客戶需求優(yōu)先的原則,致力于提供高質量的潔凈箱,干燥箱,高溫無氧烤箱,隧道爐。真萍電子自成立以來,一直堅持走正規(guī)化、專業(yè)化路線,得到了廣大客戶及社會各界的普遍認可與大力支持。