晶圓是半導(dǎo)體產(chǎn)品與芯片的基礎(chǔ)材料，晶圓生長后需要經(jīng)過機(jī)械拋光，后期尤為重要的是晶圓切割加工，也叫晶圓劃片。早期短脈沖DPSS激光器切割晶圓技術(shù)已經(jīng)在歐洲、美國發(fā)展成熟。隨著超快激光器的快速發(fā)展和功率提升，超快激光切割晶圓未來將會逐漸成為主流，特別在晶圓切割、微鉆孔、封測等工序上，設(shè)備需求潛力較大。目前國內(nèi)已經(jīng)有精密激光設(shè)備廠家能夠提供晶圓開槽設(shè)備，可應(yīng)用于28nm制程以下12寸晶圓的表面開槽，以及激光晶圓隱切設(shè)備應(yīng)用于MEMS傳感器芯片，存儲芯片等**芯片制造領(lǐng)域。在2020年深圳某大型激光企業(yè)已經(jīng)研發(fā)出激光解鍵合設(shè)備，實現(xiàn)玻璃片和硅片分離，可用于**半導(dǎo)體芯片應(yīng)用。無錫超通智能告訴您超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備的選擇方法。上海國產(chǎn)超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備

激光隱形切割是一種全新的激光切割工藝，具有切割速度快、切割不產(chǎn)生粉塵、無切割基材耗損、所需切割道小、完全干制程等諸多優(yōu)勢。激光隱形切割**早起源于激光內(nèi)雕，其原理是將短脈沖激光光束透過材料表面聚焦在材料中間，由于短脈沖激光瞬時能量極高，在材料中間形成小的變質(zhì)點。將激光在聚焦在物質(zhì)內(nèi)部應(yīng)用到切割領(lǐng)域，由日本的光學(xué)**企業(yè)濱松光學(xué)率先發(fā)明了隱形切割（steal dicing），多年來濱松一直持有這項技術(shù)的多項**。幾年前德龍激光通過**技術(shù)團(tuán)隊技術(shù)攻關(guān)，成功研發(fā)出了區(qū)別于濱松光學(xué)的隱形切割技術(shù)，并申請了自己的**，并將該技術(shù)應(yīng)用于藍(lán)寶石、玻璃、硅、SiC等多種材料的切割。隱切切割主要原理是將短脈沖激光光束透過材料表面聚焦在材料中間，在材料中間形成改質(zhì)層，然后通過外部施加壓力使芯片分開福建品質(zhì)超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備解決方案超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備的制作步驟詳解。

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近年來光電產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，高集成度和高性能的半導(dǎo)體晶圓需求不斷增長，硅、碳化硅、藍(lán)寶石、玻璃以及磷化銦等材料被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓的襯底材料。隨著晶圓集成度大幅提高，晶圓趨向于輕薄化，傳統(tǒng)的很多加工方式已經(jīng)不再適用，于是在部分工序引入了激光技術(shù)。在諸多激光技術(shù)中脈沖激光特別是超短脈沖激光在精密加工領(lǐng)域應(yīng)用又尤為***，超短脈沖激光是指激光單個脈沖寬度達(dá)到甚至小于10-12秒（即皮秒）這個量級的激光，由于激光脈沖時間寬度極短，在某個頻率（即一定脈沖個數(shù)）下需要釋放設(shè)定的激光功率，單個脈沖的激光功率就是固定的，將單個脈沖的能量在極短的時間釋放出去，造成瞬時功率極高（兆瓦及以上），瞬間改變材料性質(zhì)，平均功率很低對材料加工區(qū)域熱影響很小的加工效果即激光冷加工。超短脈沖激光加工具有諸多獨特的優(yōu)勢：無錫超通智能超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備質(zhì)量保證。

激光劃片是利用高能激光束照射工件表面，使被照射區(qū)域局部熔化、氣化，從而達(dá)到去除材料，實現(xiàn)劃片的過程。激光劃片是非接觸式加工，無機(jī)械應(yīng)力損傷，加工方式靈活，不存在刀具損耗和水污染，設(shè)備使用維護(hù)成本低。為避免激光劃透晶圓時損傷支撐膜，采用耐高溫?zé)g的UV膜。目前，激光劃片設(shè)備采用工業(yè)激光器，波長主要有1064nm、532nm、355nm三種，脈寬為納秒、皮秒和飛秒級。理論上，激光波長越短、脈寬越短，加工熱效應(yīng)越小，有利于微細(xì)精密加工，但成本相對較高。355nm的紫外納秒激光器因其技術(shù)成熟、成本低、加工熱效應(yīng)小，應(yīng)用非常***。近幾年1064nm的皮秒激光器技術(shù)發(fā)展迅速，應(yīng)用到很多新領(lǐng)域，獲得了很好的效果。無錫超通智能超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備值得信賴。廣東銷售超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備廠家報價

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晶圓激光切割與傳統(tǒng)的機(jī)械切割法相比，這種新的方法有幾個重要的優(yōu)點。首先，這是一步即可完成的、干燥的加工過程。邊緣光滑整齊，不需要后續(xù)的清潔和打磨。并且，激光引致的分離過程產(chǎn)生**度、自然回火的邊緣，沒有微小裂痕。使用這種方法，避免了不可預(yù)料的裂痕和殘破，降低了次品率，提高了產(chǎn)量。因為裂痕是**地沿著激光光束所劃出的痕跡，激光引致的分離可以切劃出非常**的曲線圖案。我們所做的實驗也證明了無論直線或是曲線，激光切割都能連續(xù)地、**地完成設(shè)定圖案，重復(fù)性可達(dá)＋50μm。所以激光可以進(jìn)行曲線圖形的**切割。激光切割晶圓有速度快、精度高，定位準(zhǔn)確等明顯優(yōu)勢。上海國產(chǎn)超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備

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