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來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2023-08-16

晶圓激光切割與傳統(tǒng)的機(jī)械切割法相比,這種新的方法有幾個(gè)重要的優(yōu)點(diǎn)。首先,這是一步即可完成的、干燥的加工過(guò)程。邊緣光滑整齊,不需要后續(xù)的清潔和打磨。并且,激光引致的分離過(guò)程產(chǎn)生**度、自然回火的邊緣,沒(méi)有微小裂痕。使用這種方法,避免了不可預(yù)料的裂痕和殘破,降低了次品率,提高了產(chǎn)量。因?yàn)榱押凼?*地沿著激光光束所劃出的痕跡,激光引致的分離可以切劃出非常**的曲線圖案。我們所做的實(shí)驗(yàn)也證明了無(wú)論直線或是曲線,激光切割都能連續(xù)地、**地完成設(shè)定圖案,重復(fù)性可達(dá)+50μm。所以激光可以進(jìn)行曲線圖形的**切割。激光切割晶圓有速度快、精度高,定位準(zhǔn)確等明顯優(yōu)勢(shì)。無(wú)錫超通智能超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備值得推薦。河南銷售超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備服務(wù)電話

超通智能本著以質(zhì)量求生存,以用戶效益求發(fā)展,的服務(wù)理念,完善的質(zhì)量管理體系、合理的價(jià)格,真誠(chéng)為用戶提供*的服務(wù)。激光屬于無(wú)接觸式加工,不對(duì)晶圓產(chǎn)生機(jī)械應(yīng)力的作用,對(duì)晶圓損傷較小。由于激光在聚焦上的優(yōu)點(diǎn),聚焦點(diǎn)可小到微米數(shù)量級(jí),從而對(duì)晶圓的微處理具有優(yōu)越性,可以進(jìn)行小部件的加工;即使在不高的脈沖能量水平下,也能得到較高的能量密度,有效地進(jìn)行材料加工。大多數(shù)材料吸收激光直接將硅材料氣化,形成溝道。從而實(shí)現(xiàn)切割的目的因?yàn)楣獍唿c(diǎn)較小,較低限度的炭化影響。陜西自制超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備解決方案無(wú)錫超通智能超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備品質(zhì)保障。

晶圓是指制作硅半導(dǎo)體電路所用的硅晶片,其原始材料是硅。高純度的多晶硅溶解后摻入硅晶體晶種,然后慢慢拉出,形成圓柱形的單晶硅。硅晶棒在經(jīng)過(guò)研磨,拋光,切片后,形成硅晶圓片,也就是晶圓。國(guó)內(nèi)晶圓以 8英寸和 12 英寸為主。激光切割SiC晶圓的方案為激光內(nèi)部改質(zhì)切割,其原理為激光在SiC晶圓內(nèi)部聚焦,在晶圓內(nèi)部形成改質(zhì)層后,配合裂片進(jìn)行晶粒分離。SiC作為寬禁帶半導(dǎo)體,禁帶寬度在3.2eV左右,這也意味著材料表面的對(duì)于大部分波長(zhǎng)的吸收率很低,使得SiC晶圓與激光內(nèi)部改質(zhì)切割擁有較好的相匹配性。

迭代升級(jí)后的激光晶圓隱形切割設(shè)備可自由控制激光聚焦點(diǎn)的深度、可自由控制聚焦點(diǎn)的長(zhǎng)度、可自由控制兩個(gè)焦點(diǎn)之間的水平間隔,通過(guò)采用特殊材料、特殊結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、特殊運(yùn)動(dòng)平臺(tái),可在500mm/S的高速運(yùn)動(dòng)之下,保持高穩(wěn)定性、高精度切割,激光焦點(diǎn)*為0.5um,切割痕跡更細(xì)膩,可以避免對(duì)材料表面造成損傷,大幅提升芯片生產(chǎn)制造的質(zhì)量、效率、效益。這款激光晶圓隱形切割設(shè)備可廣泛應(yīng)用于高能集成電路產(chǎn)品,包括CPU制造、圖像處理IC、汽車電子、傳感器、內(nèi)存等領(lǐng)域的制造,對(duì)我國(guó)實(shí)現(xiàn)**國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體供應(yīng)鏈起到了積極的促進(jìn)作用,有很重要的現(xiàn)實(shí)意義。超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備的制作步驟詳解。

與傳統(tǒng)的切割方式相比,隨著激光技術(shù)的成熟,使用激光對(duì)硅晶圓進(jìn)行高效質(zhì)量切割已成為質(zhì)量選擇。激光切割屬于非接觸式加工,可以避免對(duì)晶體硅表面造成損傷,解決了金剛石鋸片引入外力對(duì)產(chǎn)品內(nèi)外部的沖擊破壞問(wèn)題,還免去了更換刀具和模具帶來(lái)的長(zhǎng)期成本。隨著“工業(yè)4.0”和“中國(guó)制造2025”的***鋪開(kāi),**智能制造越來(lái)越離不開(kāi)高性能激光器的加持。在這樣的宏觀背景下,為超通智能超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備這樣的產(chǎn)品提供了廣闊的舞臺(tái),也將隨著其在各行各業(yè)的應(yīng)用而被認(rèn)可。超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備哪個(gè)性價(jià)比高?無(wú)錫超通智能告訴您。廣東自主研發(fā)超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備

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硅作為第三代半導(dǎo)體材料,一直受到業(yè)界追捧,可材料始終是材料,就好比礦,沒(méi)有復(fù)雜的工藝處理,他就是一堆石頭,那半導(dǎo)體材料這樣偏精細(xì)的物質(zhì),那自然得有一套成熟的工藝,那首要的就是晶圓的加工。我們常用的半導(dǎo)體材料精細(xì),成本高,而且刀片劃片容易產(chǎn)生圓晶破損和刀具損壞,刀具還要頻繁的更換,后期運(yùn)行成本高。激光劃片屬于無(wú)接觸式加工,對(duì)圓晶損傷小,聚焦的優(yōu)點(diǎn)更是在晶圓的微處理上更具優(yōu)越性等更適用于圓晶劃片處理。河南銷售超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備服務(wù)電話

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