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離心風(fēng)機(jī):風(fēng)壓高、風(fēng)量較大,適用于需要克服較大阻力
軸流風(fēng)機(jī):具有風(fēng)量大、風(fēng)壓低的特點(diǎn)。適合在對(duì)通風(fēng)量需求大、阻力較小的環(huán)境
屋頂風(fēng)機(jī):安裝于電鍍車(chē)間屋頂,可直接將車(chē)間內(nèi)廢氣排至室外。其優(yōu)點(diǎn)是不占室內(nèi)空間,安裝簡(jiǎn)便
防爆風(fēng)機(jī):針對(duì)電鍍廢氣含易燃易爆氣體(如有機(jī)溶劑揮發(fā)氣)的情況設(shè)計(jì),采用特殊防爆結(jié)構(gòu)與材料,防止運(yùn)行中產(chǎn)生電火花引發(fā)炸掉,保障生產(chǎn)安全
玻璃鋼風(fēng)機(jī):處理電鍍過(guò)程中產(chǎn)生的強(qiáng)腐蝕性酸堿廢氣,且質(zhì)量較輕、強(qiáng)度較高、使用壽命長(zhǎng)
不銹鋼風(fēng)機(jī):用于對(duì)耐腐蝕有一定要求且廢氣中顆粒物磨損性較強(qiáng)的電鍍廢氣抽取
防腐涂層或特殊防腐工藝處理的普通金屬風(fēng)機(jī):抽風(fēng)設(shè)備搭配集氣罩、通風(fēng)管道等部件,組成完整的抽風(fēng)系統(tǒng),將電鍍廢氣高效收集并輸送至后續(xù)處理設(shè)備,如酸霧凈化塔、活性炭吸附裝置等。
自動(dòng)線(xiàn)線(xiàn)外連接抽風(fēng)系統(tǒng)
PP抽風(fēng)管連接,抽風(fēng)連接口采用方形變通連接室外抽風(fēng)系統(tǒng)
可根據(jù)不同種類(lèi)廢氣和不同排放量以及現(xiàn)場(chǎng)情形適當(dāng)設(shè)計(jì)制,并負(fù)責(zé)安裝調(diào)試,抽風(fēng)效果好
適用于氧化、電鍍、涂裝、印刷等行業(yè)多種堿性、有毒氣體抽排(退掛、除銹等)
陽(yáng)極裝置分可溶性(如鋅板、銅板)與不溶性(如鉛板),維持電解液金屬離子濃度,保障電鍍反應(yīng)持續(xù)穩(wěn)定。貴州陶瓷元器件鍍金電鍍?cè)O(shè)備
一、設(shè)備概述:
適用于電鍍鋅、鍍鎳、鍍錫、鍍鉻、鍍銅、鍍鎘等有色金屬;鍍金、鍍銀等貴重金屬的精密電鍍。
降低孔隙率,晶核的形成速度大于成長(zhǎng)速度,促使晶核細(xì)化。
改善結(jié)合力,使鈍化膜擊穿,有利于基體與鍍層之間牢固的結(jié)合。
改善覆蓋能力和分散能力,高的陰極負(fù)電位使普通電鍍中鈍化的部位也能沉積,掛鍍生產(chǎn)線(xiàn)設(shè)備,減緩形態(tài)復(fù)雜零件的突出部位由于沉積離子過(guò)度消耗而帶來(lái)的“燒焦”“樹(shù)枝狀”沉積的缺陷,對(duì)于獲得一個(gè)給定特性鍍層的厚度可減少到原來(lái)1/3~1/2,節(jié)省原材料。
降低鍍層的內(nèi)應(yīng)力,改善晶格缺陷、雜質(zhì)、空洞、瘤子等,容易得到無(wú)裂紋的鍍層,減少添加劑。
有利于獲得成份穩(wěn)定的合金鍍層。
改善陽(yáng)極的溶解,不需陽(yáng)極活化劑。
改進(jìn)鍍層的機(jī)械物理性能,如提高密度,降低表面電阻和體電阻,提高韌性、耐磨性、抗蝕性,而且可以控制鍍層硬度。 自動(dòng)化電鍍?cè)O(shè)備發(fā)展前處理電鍍?cè)O(shè)備含除油、酸洗槽,除工件表面油污氧化皮,為鍍層結(jié)合奠定基礎(chǔ)。
電鍍?cè)O(shè)備是通過(guò)電解反應(yīng)在物體表面沉積金屬層的裝置,用于形成保護(hù)性或功能性涂層。
其系統(tǒng)包括:
電解電源:提供0-24V直流電,電流可達(dá)數(shù)千安培,適配不同鍍種需求;
電解槽:耐腐蝕材質(zhì)(如PP/PVDF),雙層防漏設(shè)計(jì),容積0.5-10m3;
電極系統(tǒng):陽(yáng)極采用可溶性金屬或不溶性鈦籃,陰極掛具定制設(shè)計(jì),確保接觸電阻<0.1Ω;
控制系統(tǒng):精細(xì)溫控(±1℃)、pH監(jiān)測(cè)(±0.1)及鍍層厚度管理。
設(shè)備分類(lèi):
掛鍍線(xiàn):精密件加工,厚度均勻性±5%;
滾鍍系統(tǒng):小件批量處理,效率3-8㎡/h;
連續(xù)電鍍線(xiàn):帶材/線(xiàn)材高速生產(chǎn),產(chǎn)能達(dá)30㎡/h;選擇性電鍍:數(shù)控噴射,局部鍍層精度±3%。技術(shù)前沿:脈沖電鍍:納米晶結(jié)構(gòu)(晶粒<50nm),孔隙率降低60%;
復(fù)合電鍍:添加納米顆粒(SiC/Al?O?),硬度達(dá)HV1200;智能化:機(jī)器視覺(jué)定位(±0.1mm),大數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)優(yōu)化工藝。環(huán)保與應(yīng)用:閉路水循環(huán)(回用率>90%)及重金屬回收技術(shù);汽車(chē)(耐鹽霧>720h)、PCB(微孔鍍銅偏差<8%)、航空航天(耐溫800℃)等領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。設(shè)備正向高精度、低能耗、智能化發(fā)展,納米電鍍等新技術(shù)持續(xù)突破工藝極限。選型需結(jié)合基材特性、鍍層需求及成本綜合考量。
1.鍍槽:是電鍍加工的設(shè)備,用于盛放電鍍液,為電鍍提供反應(yīng)場(chǎng)所。根據(jù)電鍍工藝和工件的不同,鍍槽的材質(zhì)、形狀和尺寸也各不相同,常見(jiàn)的有聚丙烯、聚四氟乙烯等材質(zhì)制成的鍍槽。
2.整流器:其作用是將交流電轉(zhuǎn)換為直流電,為電鍍過(guò)程提供穩(wěn)定的電流。電鍍過(guò)程需要精確控制電流的大小和穩(wěn)定性,以確保電鍍層的質(zhì)量和性能。
3.過(guò)濾機(jī):用于過(guò)濾電鍍液中的雜質(zhì)、顆粒和懸浮物,保持電鍍液的清潔度。過(guò)濾機(jī)通常采用濾芯式或?yàn)V袋式過(guò)濾,可根據(jù)電鍍液的性質(zhì)和過(guò)濾精度要求選擇不同的過(guò)濾材料。
4.加熱和冷卻裝置:加熱裝置通常采用電加熱或蒸汽加熱的方式,而冷卻裝置則多采用冷水機(jī)或冷卻塔進(jìn)行冷卻。
5.攪拌設(shè)備:包括機(jī)械攪拌和空氣攪拌等方式。
6.掛具:用于懸掛和固定待電鍍的工件,使工件能夠在電鍍槽中與電鍍液充分接觸,并保證電流均勻地通過(guò)工件。7.行車(chē):主要用于在電鍍車(chē)間內(nèi)吊運(yùn)工件、原材料和成品等重物。
8.廢氣處理設(shè)備:電鍍過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生各種有害氣體,如酸霧、堿霧和重金屬?gòu)U氣等。廢氣處理設(shè)備通常采用噴淋塔、活性炭吸附裝置、催化燃燒裝置等,對(duì)廢氣進(jìn)行凈化處理,達(dá)標(biāo)后排放。 貴金屬電鍍?cè)O(shè)備配備凈化循環(huán)系統(tǒng),嚴(yán)格把控鍍金液雜質(zhì)含量,滿(mǎn)足芯片鍵合線(xiàn)的超高純度要求。
掛鍍工藝:晶圓固定在掛具上,浸入電鍍液,通過(guò)精細(xì)控制電流、電壓及溶液成分,在表面沉積均勻金屬層。
電鍍槽:耐腐蝕材質(zhì),配備溫控、循環(huán)過(guò)濾系統(tǒng),維持鍍液均勻性
掛具與陽(yáng)極:鈦或鉑金陽(yáng)極,掛具設(shè)計(jì)適配晶圓尺寸,確保電場(chǎng)分布均勻
自動(dòng)化傳輸:機(jī)械臂自動(dòng)上下料,減少人工污染風(fēng)險(xiǎn)
控制系統(tǒng):PLC/計(jì)算機(jī)實(shí)時(shí)調(diào)控電流密度、電鍍時(shí)間、pH值等參數(shù)
高均勻性:通過(guò)脈沖電鍍或水平電鍍技術(shù)(如ECP),減少邊緣效應(yīng),實(shí)現(xiàn)亞微米級(jí)鍍層均勻性
低缺陷率:鍍液雜質(zhì)控制(<0.1ppm)與膜厚在線(xiàn)監(jiān)測(cè),降低孔洞、結(jié)節(jié)等缺陷
高產(chǎn)能:支持多晶圓并行處理
銅互連:在邏輯芯片中沉積多層銅導(dǎo)線(xiàn),替代傳統(tǒng)鋁工藝以降低電阻
TSV填充:為3D封裝提供垂直導(dǎo)電通道,實(shí)現(xiàn)芯片堆疊
凸塊電鍍:在晶圓表面形成錫、銅柱凸塊,用于Flip-Chip鍵合
RDL(重布線(xiàn)層):沉積銅層實(shí)現(xiàn)芯片I/O端口的重新布局
半導(dǎo)體掛鍍?cè)O(shè)備通過(guò)精密電化學(xué)控制與自動(dòng)化技術(shù),解決了納米級(jí)金屬沉積的均勻性與可靠性難題,是先進(jìn)芯片制造與封裝的裝備。其性能直接關(guān)聯(lián)芯片的導(dǎo)電性、散熱及良率 槽體設(shè)備采用 PVC、PP 等耐酸堿材料,根據(jù)電解液特性定制,有效抵御鹽酸、鉻酸等藥液腐蝕。上海電鍍?cè)O(shè)備周邊產(chǎn)業(yè)
鍍鉻設(shè)備需配置鉛合金陽(yáng)極與陽(yáng)極袋,防止雜質(zhì)污染電解液,確保硬鉻鍍層的高硬度與耐磨性。貴州陶瓷元器件鍍金電鍍?cè)O(shè)備
是一種于半導(dǎo)體制造中金屬化工藝的精密設(shè)備,主要用于在半導(dǎo)體晶圓、芯片或微型元件表面沉積均勻的金屬鍍層。其在于通過(guò)可控的電化學(xué)或化學(xué)鍍工藝,實(shí)現(xiàn)高精度、高一致性的金屬覆蓋,滿(mǎn)足集成電路封裝、先進(jìn)封裝及微機(jī)電系統(tǒng)等領(lǐng)域的特定需求
與傳統(tǒng)滾鍍不同,半導(dǎo)體滾鍍更注重工藝潔凈度、鍍層精度及與半導(dǎo)體材料的兼容性。
1.金屬互連:在晶圓上形成銅導(dǎo)線(xiàn)。
2.凸塊制備:沉積錫、銅、金等材料,用于芯片與基板的電氣連接。
3.阻擋層/種子層鍍覆:鍍鈦、鉭等材料,防止金屬擴(kuò)散并增強(qiáng)附著力。
1.電鍍槽:
材質(zhì):耐腐蝕材料,避免污染鍍液
鍍液循環(huán)系統(tǒng):維持鍍液成分均勻,過(guò)濾顆粒雜質(zhì)
2.旋轉(zhuǎn)載具:
晶圓固定裝置:真空吸附或機(jī)械夾持,確保晶圓平穩(wěn)旋轉(zhuǎn)
轉(zhuǎn)速控制:通過(guò)伺服電機(jī)調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速,優(yōu)化鍍層均勻性
3.陽(yáng)極系統(tǒng):
可溶性/不溶性陽(yáng)極:銅、鉑等材料,依鍍層需求選擇
陽(yáng)極位置調(diào)節(jié):控制電場(chǎng)分布,減少邊緣效應(yīng)
4.供液與噴淋系統(tǒng):
多點(diǎn)噴淋頭:均勻分配鍍液至晶圓表面,避免氣泡滯留
流量控制:精確調(diào)節(jié)鍍液流速,匹配不同工藝需求
5.控制系統(tǒng):
PLC/工控機(jī):集成溫度、pH值、電流密度等參數(shù)監(jiān)測(cè)與反饋。
配方管理:存儲(chǔ)不同鍍層的工藝參數(shù) 貴州陶瓷元器件鍍金電鍍?cè)O(shè)備