半導(dǎo)體滾鍍?cè)O(shè)備

是一種于半導(dǎo)體制造中金屬化工藝的精密設(shè)備，主要用于在半導(dǎo)體晶圓、芯片或微型元件表面沉積均勻的金屬鍍層。其在于通過可控的電化學(xué)或化學(xué)鍍工藝，實(shí)現(xiàn)高精度、高一致性的金屬覆蓋，滿足集成電路封裝、先進(jìn)封裝及微機(jī)電系統(tǒng)等領(lǐng)域的特定需求

與傳統(tǒng)滾鍍不同，半導(dǎo)體滾鍍更注重工藝潔凈度、鍍層精度及與半導(dǎo)體材料的兼容性。

二、功能

1.金屬互連：在晶圓上形成銅導(dǎo)線。

2.凸塊制備：沉積錫、銅、金等材料，用于芯片與基板的電氣連接。

3.阻擋層/種子層鍍覆：鍍鈦、鉭等材料，防止金屬擴(kuò)散并增強(qiáng)附著力。

三、設(shè)備組成

1.電鍍槽：

材質(zhì)：耐腐蝕材料，避免污染鍍液

鍍液循環(huán)系統(tǒng)：維持鍍液成分均勻，過濾顆粒雜質(zhì)

2.旋轉(zhuǎn)載具：

晶圓固定裝置：真空吸附或機(jī)械夾持，確保晶圓平穩(wěn)旋轉(zhuǎn)

轉(zhuǎn)速控制：通過伺服電機(jī)調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速，優(yōu)化鍍層均勻性

3.陽極系統(tǒng)：

可溶性/不溶性陽極：銅、鉑等材料，依鍍層需求選擇

陽極位置調(diào)節(jié)：控制電場分布，減少邊緣效應(yīng)

4.供液與噴淋系統(tǒng)：

多點(diǎn)噴淋頭：均勻分配鍍液至晶圓表面，避免氣泡滯留

流量控制：精確調(diào)節(jié)鍍液流速，匹配不同工藝需求

5.控制系統(tǒng)：

PLC/工控機(jī)：集成溫度、pH值、電流密度等參數(shù)監(jiān)測與反饋。

配方管理：存儲(chǔ)不同鍍層的工藝參數(shù) 鍍鉻設(shè)備配置鉛銻合金陽極與陽極袋，過濾陽極泥渣，防止雜質(zhì)污染鍍液，維持硬鉻鍍層高硬度。手動(dòng)電鍍?cè)O(shè)備價(jià)格

龍門自動(dòng)線的特點(diǎn)

高精度定位

伺服系統(tǒng)+光柵尺反饋，確保工件浸鍍位置誤差＜1mm適用于精密電子接插件、汽車精密部件等對(duì)鍍層均勻性要求高的場景（厚度偏差±3-5%）。

多工藝兼容性

可集成除油、酸洗、電鍍、鈍化、烘干等20+工序支持掛鍍、滾鍍（通過可切換掛具）混合生產(chǎn)

柔性化生產(chǎn)

通過編程快速切換工件類型（換型時(shí)間＜30分鐘）支持小批量多品種（如同時(shí)處理10種不同規(guī)格螺栓）

穩(wěn)定性強(qiáng)

故障率＜0.5%（關(guān)鍵部件如電機(jī)、傳感器采用工業(yè)級(jí)防護(hù)）連續(xù)運(yùn)行壽命＞10萬小時(shí)

典型應(yīng)用

行業(yè)                                        應(yīng)用案例                                          工藝要求                                            汽車制造                  發(fā)動(dòng)機(jī)支架鍍鋅、輪轂鍍鉻                     耐鹽霧＞720小時(shí)，厚度10-15μm

電子行業(yè)                  手機(jī)接口鍍金、PCB接插件鍍鎳 鍍層         孔隙率＜5個(gè)/cm2                                          五金                   衛(wèi)浴鍍銅鎳鉻三鍍層                        表面粗糙度Ra＜0.2μm 貴州龍門電鍍?cè)O(shè)備滾鍍?cè)O(shè)備采用帶孔滾筒裝載小工件，旋轉(zhuǎn)翻滾中完成電鍍，高效處理螺絲、電子元件等批量小件。

電鍍?cè)O(shè)備的組成

1.電解電源系統(tǒng)

提供穩(wěn)定直流電，通常采用高頻開關(guān)電源或硅整流器，電壓范圍0-24V，電流可調(diào)至數(shù)千安培，滿足不同鍍種需求。

2.電解槽體結(jié)構(gòu)

耐腐蝕材質(zhì)槽體（如PP/CPVC/PVDF），尺寸設(shè)計(jì)依據(jù)生產(chǎn)需求，典型容積0.5-10m3，配置防滲漏雙層結(jié)構(gòu)。

3.電極系統(tǒng)

陽極組件：可溶性金屬（如鎳板）或不溶性陽極（鈦籃+金屬球），配置陽極袋防止雜質(zhì)擴(kuò)散

陰極掛具：定制化設(shè)計(jì)，確保工件均勻受鍍，接觸電阻＜0.1Ω

4.工藝控制系統(tǒng)

溫控精度±1℃，流量控制誤差＜5%

在線pH監(jiān)測（±0.1精度）

安培小時(shí)計(jì)控制鍍層厚度

設(shè)備分類與技術(shù)參數(shù)

類型                    適用場景                  產(chǎn)能(㎡/h)              厚度均勻性                 典型配置

掛鍍線                精密零部件                   0.5-2                     ±5%                    多工位龍門架，PLC控制        滾鍍系統(tǒng)            小件批量處理                  3-8                      ±15%                    六角滾筒，變頻驅(qū)動(dòng)          連續(xù)電鍍線           帶材/線材                     10-30                     ±8%                    張力控制+多槽串聯(lián)          選擇性電鍍             局部強(qiáng)化                   0.1-0.5                   ±3%                   數(shù)控噴射裝置，微區(qū)控制

半導(dǎo)體滾鍍與傳統(tǒng)滾鍍的區(qū)別：

 對(duì)比項(xiàng)                              傳統(tǒng)滾鍍                                          半導(dǎo)體滾鍍                                                對(duì)象                     小型金屬零件（螺絲、紐扣等）               晶圓、芯片、微型半導(dǎo)體元件                               精度                               微米級(jí)                                             納米級(jí)（≤100nm）                                       潔凈度                          普通工業(yè)環(huán)境                                         無塵室（Class100~1000）                         工藝控制                    電流/時(shí)間粗調(diào)                                       實(shí)時(shí)閉環(huán)控制（電流、流量、溫度）               鍍液類型                      酸性/堿性鍍液                                      高純度鍍液（低雜質(zhì)）

發(fā)展趨勢：

大尺寸晶圓兼容：適配12英寸（300mm）晶圓，向18英寸過渡。環(huán)保鍍液：無物、低毒配方，減少廢水處理壓力。智能化集成：AI工藝優(yōu)化：通過機(jī)器學(xué)習(xí)預(yù)測鍍層缺陷。與CMP（化學(xué)機(jī)械拋光）、PVD設(shè)備聯(lián)動(dòng)，形成全自動(dòng)金屬化產(chǎn)線

總結(jié)：

半導(dǎo)體滾鍍?cè)O(shè)備是封裝與芯片制造的關(guān)鍵裝備，通過精密旋轉(zhuǎn)與鍍液控制，實(shí)現(xiàn)納米級(jí)金屬鍍層的均勻沉積。其技術(shù)在于潔凈環(huán)境下的高精度工藝控制 廢水處理設(shè)備分類收集含鉻、鎳等廢水，經(jīng)化學(xué)沉淀、離子交換處理，確保重金屬達(dá)標(biāo)排放。

半導(dǎo)體掛鍍?cè)O(shè)備

1.基本原理與結(jié)構(gòu)

掛鍍工藝：晶圓固定在掛具上，浸入電鍍液，通過精細(xì)控制電流、電壓及溶液成分，在表面沉積均勻金屬層。

組件：

電鍍槽：耐腐蝕材質(zhì)，配備溫控、循環(huán)過濾系統(tǒng)，維持鍍液均勻性

掛具與陽極：鈦或鉑金陽極，掛具設(shè)計(jì)適配晶圓尺寸，確保電場分布均勻

自動(dòng)化傳輸：機(jī)械臂自動(dòng)上下料，減少人工污染風(fēng)險(xiǎn)

控制系統(tǒng)：PLC/計(jì)算機(jī)實(shí)時(shí)調(diào)控電流密度、電鍍時(shí)間、pH值等參數(shù)

2. 關(guān)鍵技術(shù)優(yōu)勢

高均勻性：通過脈沖電鍍或水平電鍍技術(shù)（如ECP），減少邊緣效應(yīng)，實(shí)現(xiàn)亞微米級(jí)鍍層均勻性

低缺陷率：鍍液雜質(zhì)控制（＜0.1ppm）與膜厚在線監(jiān)測，降低孔洞、結(jié)節(jié)等缺陷

高產(chǎn)能：支持多晶圓并行處理

3. 典型應(yīng)用場景

芯片制造：

銅互連：在邏輯芯片中沉積多層銅導(dǎo)線，替代傳統(tǒng)鋁工藝以降低電阻

TSV填充：為3D封裝提供垂直導(dǎo)電通道，實(shí)現(xiàn)芯片堆疊

先進(jìn)封裝：

凸塊電鍍：在晶圓表面形成錫、銅柱凸塊，用于Flip-Chip鍵合

RDL（重布線層）：沉積銅層實(shí)現(xiàn)芯片I/O端口的重新布局

總結(jié)

半導(dǎo)體掛鍍?cè)O(shè)備通過精密電化學(xué)控制與自動(dòng)化技術(shù)，解決了納米級(jí)金屬沉積的均勻性與可靠性難題，是先進(jìn)芯片制造與封裝的裝備。其性能直接關(guān)聯(lián)芯片的導(dǎo)電性、散熱及良率 自動(dòng)化電鍍線的機(jī)器人上下料系統(tǒng)，通過視覺識(shí)別定位工件，實(shí)現(xiàn)高精度無人化操作。廣東微型電鍍?cè)O(shè)備

連續(xù)鍍生產(chǎn)線的導(dǎo)電輥鍍覆耐磨碳鎢涂層，降低鋼帶傳輸摩擦，避免劃傷與鍍層缺陷。手動(dòng)電鍍?cè)O(shè)備價(jià)格

電鍍周邊設(shè)備有哪些？

1.鍍槽：是電鍍加工的設(shè)備，用于盛放電鍍液，為電鍍提供反應(yīng)場所。根據(jù)電鍍工藝和工件的不同，鍍槽的材質(zhì)、形狀和尺寸也各不相同，常見的有聚丙烯、聚四氟乙烯等材質(zhì)制成的鍍槽。

2.整流器：其作用是將交流電轉(zhuǎn)換為直流電，為電鍍過程提供穩(wěn)定的電流。電鍍過程需要精確控制電流的大小和穩(wěn)定性，以確保電鍍層的質(zhì)量和性能。

3.過濾機(jī)：用于過濾電鍍液中的雜質(zhì)、顆粒和懸浮物，保持電鍍液的清潔度。過濾機(jī)通常采用濾芯式或?yàn)V袋式過濾，可根據(jù)電鍍液的性質(zhì)和過濾精度要求選擇不同的過濾材料。

4.加熱和冷卻裝置：加熱裝置通常采用電加熱或蒸汽加熱的方式，而冷卻裝置則多采用冷水機(jī)或冷卻塔進(jìn)行冷卻。

5.攪拌設(shè)備：包括機(jī)械攪拌和空氣攪拌等方式。

6.掛具：用于懸掛和固定待電鍍的工件，使工件能夠在電鍍槽中與電鍍液充分接觸，并保證電流均勻地通過工件。7.行車：主要用于在電鍍車間內(nèi)吊運(yùn)工件、原材料和成品等重物。

8.廢氣處理設(shè)備：電鍍過程中會(huì)產(chǎn)生各種有害氣體，如酸霧、堿霧和重金屬廢氣等。廢氣處理設(shè)備通常采用噴淋塔、活性炭吸附裝置、催化燃燒裝置等，對(duì)廢氣進(jìn)行凈化處理，達(dá)標(biāo)后排放。 手動(dòng)電鍍?cè)O(shè)備價(jià)格