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在高科技飛速發(fā)展的現(xiàn)在，半導體材料作為電子工業(yè)的重要基礎，其制造過程中的每一步都至關重要。其中，將半導體材料精確切割成晶圓是芯片制造中的關鍵...
功能密度是指單位體積內包含的功能單位的數(shù)量。從系統(tǒng)級封裝（SiP）到先進封裝，鮮明的特點就是系統(tǒng)功能密度的提升。通過先進封裝技術，可以將不同...
激光微納加工技術以其非接觸式加工、高精度和高效率等優(yōu)點，正在成為納米制造領域的一種重要手段。這一技術利用激光束對材料進行精確去除、沉積和形貌...
真空鍍膜需要控制好抽氣系統(tǒng)，確保每個抽氣口同時開動并力度一致，以控制好抽氣的均勻性。如果抽氣不均勻，在真空室內的壓強就不能均勻，從而影響離子...
廣東省科學院半導體研究所微納加工平臺，面向半導體光電子器件、功率電子器件、MEMS、生物芯片等前沿領域，致力于打造***的公益性、開放性、支撐性樞紐中心。平臺擁有半導體制備工藝所需的整套儀器設備，建立了一條實驗室研發(fā)線和一條中試線，加工尺寸覆蓋2-6英寸（部分8英寸），同時形成了一支與硬件有機結合的專業(yè)人才隊伍。平臺當前緊抓技術創(chuàng)新和公共服務，面向國內外高校、科研院所以及企業(yè)提供開放共享，為技術咨詢、創(chuàng)新研發(fā)、技術驗證以及產品中試提供技術支持。
