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氮化鎵砂輪工藝

來源: 發(fā)布時(shí)間:2025-06-21

在半導(dǎo)體制造等精密加工領(lǐng)域,精磨減薄砂輪發(fā)揮著舉足輕重的作用。其工作原理基于磨料的磨削作用,通過砂輪高速旋轉(zhuǎn),磨粒與工件表面產(chǎn)生強(qiáng)烈摩擦,從而實(shí)現(xiàn)材料的去除與減薄。以江蘇優(yōu)普納科技有限公司的精磨減薄砂輪為例,在碳化硅(SiC)、氮化鎵(GaN)等第三代半導(dǎo)體材料的加工中,砂輪中的磨粒憑借自身極高的硬度,切入堅(jiān)硬且脆性大的半導(dǎo)體材料表面。磨粒的粒度分布經(jīng)過精心設(shè)計(jì),從粗粒度用于高效去除大量材料,到細(xì)粒度實(shí)現(xiàn)精密的表面修整,整個(gè)過程如同工匠精心雕琢藝術(shù)品。在磨削過程中,結(jié)合劑的作用不可或缺,它牢牢把持磨粒,使其在合適的時(shí)機(jī)發(fā)揮磨削功能,同時(shí)又能在磨粒磨損到一定程度時(shí),適時(shí)讓磨粒脫落,新的鋒利磨粒得以露出,這一過程被稱為砂輪的自銳性。優(yōu)普納的砂輪在結(jié)合劑的研發(fā)上投入大量精力,通過優(yōu)化結(jié)合劑配方,實(shí)現(xiàn)了磨粒把持力與自銳性的完美平衡,確保在長時(shí)間的磨削作業(yè)中,砂輪始終保持穩(wěn)定且高效的磨削性能,為半導(dǎo)體晶圓的高質(zhì)量減薄加工奠定堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。在實(shí)際應(yīng)用中,優(yōu)普納砂輪展現(xiàn)出的高精度、低損耗和強(qiáng)適配性,使其成為半導(dǎo)體加工領(lǐng)域不可或缺的高效工具。氮化鎵砂輪工藝

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江蘇優(yōu)普納科技有限公司的碳化硅晶圓減薄砂輪,以其優(yōu)越的低損耗特性,為客戶節(jié)省了大量的成本。其獨(dú)特的多孔顯微組織調(diào)控技術(shù),使得砂輪在高磨削效率的同時(shí),磨耗比極低。在實(shí)際應(yīng)用中,6吋SiC線割片的磨耗比只為15%,而8吋SiC線割片的磨耗比也只為35%。這意味著在長時(shí)間的加工過程中,砂輪的磨損極小,使用壽命更長。低損耗不只體現(xiàn)在砂輪本身的使用壽命上,還體現(xiàn)在加工后的晶圓表面質(zhì)量上,損傷極小,進(jìn)一步提升了產(chǎn)品的性價(jià)比,助力優(yōu)普納在國產(chǎn)化替代進(jìn)程中占據(jù)優(yōu)勢。適配砂輪廠家基體優(yōu)化設(shè)計(jì)的優(yōu)普納砂輪,減少振動(dòng),增強(qiáng)冷卻液流動(dòng),提升加工效率與質(zhì)量,適配不同設(shè)備,展現(xiàn)強(qiáng)適配性。

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江蘇優(yōu)普納科技有限公司:碳化硅減薄砂輪已通過東京精密、DISCO等主流設(shè)備的兼容性測試,并獲得多家國際半導(dǎo)體廠商的認(rèn)證。例如,在DISCO-DFG8640設(shè)備上,優(yōu)普納砂輪連續(xù)加工1000片8吋SiC晶圓后,磨耗比仍穩(wěn)定在200%以內(nèi),精度無衰減。這一表現(xiàn)不只達(dá)到進(jìn)口砂輪水平,更以快速交付與本地化服務(wù)贏得客戶青睞,成為國產(chǎn)替代優(yōu)先選擇的品牌。江蘇優(yōu)普納科技有限公司專業(yè)生產(chǎn)砂輪,品質(zhì)有保證,歡迎您的隨時(shí)致電咨詢,為您提供滿意的產(chǎn)品以及方案。

江蘇優(yōu)普納科技有限公司的強(qiáng)度高微晶增韌陶瓷結(jié)合劑通過納米級(jí)陶瓷相復(fù)合技術(shù),明顯提升砂輪抗沖擊性與耐磨性。在6吋SiC襯底粗磨中,砂輪磨耗比低至11%,且無邊緣崩缺現(xiàn)象,TTV精度穩(wěn)定≤3μm。該技術(shù)尤其適用于碳化硅等高硬度材料加工,對(duì)比傳統(tǒng)樹脂結(jié)合劑砂輪,壽命延長50%,減少設(shè)備停機(jī)換輪頻率,助力客戶實(shí)現(xiàn)連續(xù)化生產(chǎn)。江蘇優(yōu)普納科技有限公司專業(yè)生產(chǎn)砂輪,品質(zhì)有保證,歡迎您的隨時(shí)致電咨詢,為您提供滿意的產(chǎn)品以及方案。在東京精密-HRG200X減薄機(jī)上,優(yōu)普納砂輪加工6吋SiC線割片,磨耗比為15%,Ra≤30nm,TTV≤3μm。

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隨著半導(dǎo)體行業(yè)的快速發(fā)展,超薄晶圓的需求持續(xù)增長。這對(duì)襯底粗磨減薄砂輪提出了更高的挑戰(zhàn)。江蘇優(yōu)普納科技有限公司緊跟行業(yè)發(fā)展趨勢,致力于研發(fā)更先進(jìn)的砂輪技術(shù)和制造工藝。我們通過與高校、科研機(jī)構(gòu)的合作,不斷探索新的磨料、結(jié)合劑和制備技術(shù),以提高砂輪的磨削效率和加工質(zhì)量。同時(shí),我們還注重環(huán)保型砂輪的研發(fā)和推廣,積極響應(yīng)國家對(duì)于綠色制造的號(hào)召。江蘇優(yōu)普納科技有限公司專業(yè)生產(chǎn)砂輪,品質(zhì)有保證,歡迎您的隨時(shí)致電咨詢,為您提供滿意的產(chǎn)品以及方案。在6吋SiC線割片的精磨加工中,優(yōu)普納砂輪于DISCO-DFG8640減薄機(jī)上實(shí)現(xiàn)磨耗比100%,Ra≤3nm,TTV≤2μm。磨削砂輪使用方法

優(yōu)普納碳化硅晶圓減薄砂輪,以低磨耗比和高表面質(zhì)量,打破國外技術(shù)壟斷 為國內(nèi)半導(dǎo)體企業(yè)提供高性價(jià)比選擇。氮化鎵砂輪工藝

襯底粗磨減薄砂輪的應(yīng)用工序主要包括背面減薄和正面磨削的粗磨加工。在背面減薄過程中,砂輪需要與晶圓保持恒定的接觸面積,以確保磨削力的穩(wěn)定,避免晶圓出現(xiàn)破片或亞表面損傷。江蘇優(yōu)普納科技有限公司的襯底粗磨減薄砂輪經(jīng)過精心設(shè)計(jì)和制造,具有優(yōu)異的端面跳動(dòng)和外圓跳動(dòng)控制,能夠在高轉(zhuǎn)速下保持穩(wěn)定的磨削性能。此外,我們的砂輪還具有良好的散熱性能,能夠有效降低磨削過程中產(chǎn)生的熱量,保護(hù)晶圓不受熱損傷。歡迎您的隨時(shí)致電咨詢~氮化鎵砂輪工藝

標(biāo)簽: 超精密機(jī)床 砂輪