激光LIGA技術(shù)它采用準(zhǔn)分子激光深層刻蝕代替載射線光刻,從而避開了高精密的載射線掩膜制作、套刻對準(zhǔn)等技術(shù)難題,同時激光光源的經(jīng)濟(jì)性和使用的普遍性明顯優(yōu)于同步輻射載光源,從而有效降低LIGA工藝的制造成本,使LIGA技術(shù)得以廣泛應(yīng)用。盡管激光LIGA技術(shù)在加工微構(gòu)件高徑比方面比載射線差,但對于一般的微構(gòu)件加工完全可以接受。此外,激光LIGA工藝不像載射線光刻需要化學(xué)腐蝕顯影,而是“直寫”刻蝕,不存在化學(xué)腐蝕的橫向浸潤腐蝕影響,因而加工邊緣陡直,精度高,光刻性能優(yōu)于同步載射線光刻。寧波米控機(jī)器人科技有限公司的微孔加工技術(shù)支持定制化服務(wù),滿足客戶多樣化需求。溫州微孔加工機(jī)
隨著精密加工技術(shù)的高速發(fā)展,無論民用、工業(yè)、醫(yī)療抑或是航天領(lǐng)域,其發(fā)展趨勢均向微型化、高精度和高質(zhì)量方向發(fā)展。傳統(tǒng)的機(jī)加工、電火花加工和電子束加工等方法已不能滿足高精度微孔加工中所提出的技術(shù)要求,如微孔孔徑的尺寸及精度、微孔的錐度可控性、大深徑比圓柱孔的加工和高硬度高熔點(diǎn)高脆性材料的應(yīng)用等。激光加工具有高精度、高效率、成本低、材料選擇性低等優(yōu)點(diǎn),現(xiàn)已成為高精度微孔加工的主流技術(shù)之一。一般掃描振鏡打出的孔都是正錐度,難以實現(xiàn)不同錐度孔和異型孔的加工。普通長脈沖激光加工熱影響區(qū)大,且有重鑄層,無法滿足高精度微孔加工的要求。金華探針卡微孔加工寧波米控機(jī)器人科技有限公司的微孔加工設(shè)備具有高兼容性,可與其他生產(chǎn)線無縫對接。
激光加工是一種常用的微孔加工方法。它利用激光束對材料進(jìn)行加工,可以加工出高精度、高質(zhì)量的微孔結(jié)構(gòu)。激光加工的主要優(yōu)點(diǎn)是加工速度快、效率高、加工精度高、對材料沒有熱影響等。電火花加工是另一種常用的微孔加工方法。它利用電火花對材料進(jìn)行加工,可以加工出高精度、高質(zhì)量的微孔結(jié)構(gòu)。電火花加工的主要優(yōu)點(diǎn)是加工速度快、加工精度高、對材料沒有熱影響等。電解加工是一種利用電化學(xué)反應(yīng)對材料進(jìn)行加工的方法。它可以加工出復(fù)雜的微孔結(jié)構(gòu),具有高加工效率、高加工精度、低加工成本等優(yōu)點(diǎn)。離子束加工是一種利用離子束對材料進(jìn)行加工的方法。它可以加工出高精度、高質(zhì)量的微孔結(jié)構(gòu),具有高加工效率、高加工精度、對材料沒有熱影響等優(yōu)點(diǎn)。
機(jī)械加工小孔的方法是通過刀具或鉆頭來完成,是一種歷史悠久的傳統(tǒng)加工方法,在目前的加工領(lǐng)域應(yīng)用很廣,在小孔加工領(lǐng)域,常用的機(jī)械加工方法是鉆削,鉆削具有生產(chǎn)效率高,表面質(zhì)量和加工精度較高,是一種精度、經(jīng)濟(jì)和效率都優(yōu)越的加工方法,但是加工0.1mm的小孔尤其是密集型小孔加工方面任然存在著缺陷和相當(dāng)大的難度,主要原因是鉆頭的直徑也要小于0.1mm,0.1mm以下的鉆頭制造都已經(jīng)相當(dāng)?shù)睦щy,就算可以制造出0.1mm以下的鉆頭,又因為鉆頭直徑小,其剛性和強(qiáng)度都明顯降低,在機(jī)床加工過程中因為搖晃會不斷折斷。所以直徑0.1mm小孔加工尤其是密集的小孔加工用機(jī)械加工的方式基本是不可行的。激光微孔加工憑借其高能量密度光束,可在金屬、陶瓷等多種材料上精確雕琢出微米級孔洞,且加工熱影響區(qū)小。
電火花微孔加工技術(shù)隨著微機(jī)械、精密機(jī)械、光學(xué)儀器等領(lǐng)域的不斷拓展而得到廣泛的關(guān)注。電火花微孔加工以其加工中受力小、加工的孔徑和深度由調(diào)節(jié)電參數(shù)就可得到控制等優(yōu)勢,使其在各國的研究日益活躍。電火花精密微孔機(jī)利用電火花放電原理加工精密微孔。適合于加工各類噴嘴精密微孔、化纖紡絲板精密微孔等各類精密微孔。數(shù)控電火花精密微孔機(jī)通過簡單電極數(shù)控組合,加工噴絲板不同的規(guī)格、形狀、孔型的微孔和噴絲板的各種異形微孔。電火花精密微孔機(jī)加工精密圓形微孔范圍一般在在¢0.08-¢1mm,孔深一般在1-3mm以內(nèi)??椎募庸ぞ?孔徑Φ0.2mm厚度≤1.0mm材料1Cr18Ni9Ti)±0.003mm。加工表面粗糙度:Ra≤0.6μm.單孔加工時間(孔徑¢0.2mm厚度1.0mm材料1Cr18Ni9Ti)≤30秒。電火花精密微孔機(jī)可采用圓形細(xì)長絲電極或細(xì)長扁絲電極,亦可采用異形整體電極加工圓形或各種異形截面微孔。但是電火花加工是一個典型的慢加工,在加工微細(xì)小孔時表現(xiàn)的尤為明顯,時間隨著加工精度的提高而減慢。寧波米控機(jī)器人科技有限公司的微孔加工設(shè)備具有快速換模功能,提高生產(chǎn)靈活性。溫州微孔加工機(jī)
寧波米控機(jī)器人科技有限公司的微孔加工技術(shù)支持微孔陣列加工,提升產(chǎn)品功能性。溫州微孔加工機(jī)
隨著電子產(chǎn)品朝著便攜式、小型化的方向發(fā)展,單位體積信息的提高(高密度)和單位時間處理速度的提高(高速化)對微電子封裝技術(shù)提出不斷增長的新需求。例如現(xiàn)代手機(jī)和數(shù)碼相機(jī)每平方厘米安裝大約為1200條互連線。提高芯片封裝水平的關(guān)鍵之處就是在不同層面的線路之間保留微型過孔的存在,這樣通過微型過孔不僅提供了表面安裝器件與下面信號面板之間的高速連接,而且有效地減小了封裝面積。激光微加工技術(shù)在設(shè)備制造業(yè)、汽車以及航空精密制造業(yè)和各種微細(xì)加工業(yè)中可用激光進(jìn)行切割、鉆孔、雕刻、劃線、熱滲透、焊接等,如20多微米大小的噴墨打印機(jī)的噴墨口的加工。溫州微孔加工機(jī)