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來源: 發(fā)布時(shí)間:2025-05-16

    隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展以及真空應(yīng)用領(lǐng)域的擴(kuò)大,原有的機(jī)械真空泵及其組成的抽氣系統(tǒng)出現(xiàn)了兩個(gè)急需解決問題:一是泵的工作介質(zhì)返流污染被抽容器,而這種返流在許多情況下影響產(chǎn)品的質(zhì)量、數(shù)量,增加設(shè)備的維護(hù)成本。其次,由于某些工藝過程中的反應(yīng)物質(zhì)使真空泵內(nèi)的介質(zhì)嚴(yán)重變質(zhì),使泵不能正常工作。對(duì)于普通的無油真空系統(tǒng)來說,雖然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之類附件來防止返流,但不能徹底解決問題,而且使系統(tǒng)顯得復(fù)雜。而使用適當(dāng)型式的干式機(jī)械真空泵,則可以達(dá)到理想的使用效果。干式機(jī)械真空泵的應(yīng)用是普遍的,主要有以下幾個(gè)方面:1)低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中;2)半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒;3)除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝,不希望微?;烊氡糜椭?,而希望微粒排出泵外,則用一定型式的干式機(jī)械真空泵可以滿足要求;4)在化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等,要防止有機(jī)溶劑造成污染,適合用干式真空泵;5)用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級(jí)泵,以防止油污染。沃德氣體愿和各界朋友真誠(chéng)合作一同開拓。青海無油干式真空泵銷售

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    真空泵機(jī)組啟動(dòng)前要注意什么?真空泵機(jī)組啟動(dòng)前要注意什么?對(duì)于真空泵機(jī)組來講,它在進(jìn)行啟動(dòng)之前,肯定的就是要做啟動(dòng)準(zhǔn)備的。就其真空泵機(jī)組的步的啟動(dòng)的準(zhǔn)備的話也就是要把真空泵閥門進(jìn)行試驗(yàn),檢查它的開關(guān)是不是靈活,確定其信號(hào)指示上是不是正確;接著也就是要對(duì)真空泵A、以及真空泵B,還有就是羅茨泵C等的電機(jī)進(jìn)行正反轉(zhuǎn)試驗(yàn)。我們?cè)趯?duì)真空泵機(jī)組進(jìn)行啟動(dòng)之前,如果發(fā)現(xiàn)其泵內(nèi)有污物的情況存在的話,我們也就是可以暫時(shí)的打開其排水管道,來進(jìn)行排污沖洗;接著,對(duì)于其泵組軸承的話,我們也就是要注潤(rùn)滑油,然后就是要檢查其各冷卻水管,確認(rèn)其密封水管是不是暢通,如果水管內(nèi)有污物的話,我們其實(shí)也就是需要直接的進(jìn)行沖洗。就其真空泵機(jī)組啟動(dòng)來講的話,我們其實(shí)也就是應(yīng)該注意,在我們進(jìn)行啟動(dòng)之前的話,也就是應(yīng)該先用手轉(zhuǎn)動(dòng)其泵輪數(shù)周,這樣的話也就是可以確認(rèn)其泵內(nèi)沒有卡住或者是其它損壞現(xiàn)象之后,才可以進(jìn)行啟動(dòng),在我們進(jìn)行起動(dòng)之前,也應(yīng)該根據(jù)其泵上的旋轉(zhuǎn)箭頭方向,來確認(rèn)其電動(dòng)機(jī)的一個(gè)轉(zhuǎn)向。接著,我們就要直接的把真空泵機(jī)組的進(jìn)氣管路上的閘閥進(jìn)行打開,然后的話也就是要打開其管路的一個(gè)閘閥;下一步的話,也就是要啟動(dòng)其真空泵A以及真空泵B。四川羅茨干式真空泵沃德氣體用先進(jìn)的生產(chǎn)工藝和規(guī)范的質(zhì)量管理,打造優(yōu)良的產(chǎn)品!

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干式螺桿真空泵,是利用一對(duì)螺桿,在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的抽氣設(shè)備,兩螺桿經(jīng)精細(xì)動(dòng)平衡校正,由軸承支撐,安裝在泵殼中,螺桿與螺桿之間都有一定的間隙,因此泵工作時(shí),相互之間無磨擦,運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn),噪音低,工作腔無需潤(rùn)滑油,因此,干式螺桿泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場(chǎng)合,極限真空更高,消耗功率更低,具有節(jié)能,免維修等優(yōu)點(diǎn)。它是油封式/水環(huán)式/噴射式真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品。

    高速運(yùn)行穩(wěn)定性差,所以這種類型用于小型泵。臥式泵在進(jìn)氣口,排氣口在下。有時(shí)真空系統(tǒng)管道安裝連接方便,可以從排氣的水平方向排出,即排氣方向相互垂直。此時(shí),排氣口除了排氣管的另一端還是旁通閥外,還可以從左右方向打開排氣口。該泵結(jié)構(gòu)具有低重心和高速穩(wěn)定性。一般大中型泵使用這種結(jié)構(gòu)。泵的兩個(gè)轉(zhuǎn)子軸與水平面垂直安裝。這種結(jié)構(gòu)易于控制裝配間隙,易于安裝轉(zhuǎn)子,泵面積小。但是泵的重心是高的和齒輪的拆裝,潤(rùn)滑機(jī)構(gòu)也比較復(fù)雜。(2)泵送模式真空泵的兩個(gè)轉(zhuǎn)子由一對(duì)高精度齒輪操作,用于相對(duì)同步運(yùn)行。驅(qū)動(dòng)軸通過聯(lián)軸器連接到電機(jī)。在傳輸結(jié)構(gòu)布局中主要有以下兩個(gè):一個(gè)是電機(jī)和齒輪在同一側(cè)的轉(zhuǎn)子上,如圖所示。從動(dòng)轉(zhuǎn)子由電機(jī)端齒輪直接驅(qū)動(dòng),使主動(dòng)轉(zhuǎn)子軸的扭轉(zhuǎn)變形小,由于主軸反向變形,兩個(gè)轉(zhuǎn)子之間的間隙不會(huì)發(fā)生變化,從而使轉(zhuǎn)子之間的間隙操作均勻。這種傳播的比較大缺點(diǎn)是:驅(qū)動(dòng)軸上有三個(gè)軸承,這增加了加工和組裝泵的難度。齒輪的拆卸和調(diào)整是不方便的。整體結(jié)構(gòu)不對(duì)稱,泵的重心偏向電機(jī)和齒輪箱側(cè)。干式真空泵的功能特點(diǎn):在較寬的壓力范圍內(nèi)具有較大的泵送速度;轉(zhuǎn)子具有良好的幾何對(duì)稱性,因此振動(dòng)小,運(yùn)行平穩(wěn)。轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子和殼體之間有間隙。沃德氣體以誠(chéng)信為根本,以質(zhì)量服務(wù)求生存。

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    無潤(rùn)滑,摩擦損失小,能降低驅(qū)動(dòng)功率,可實(shí)現(xiàn)高速運(yùn)轉(zhuǎn);泵室無油封和潤(rùn)滑,可減少真空系統(tǒng)上的油蒸氣污染;泵室無壓縮,無排氣閥。結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,結(jié)構(gòu)緊湊,對(duì)抽氣中的灰塵和水蒸汽不敏感;壓縮比較低,氫提取效果差;轉(zhuǎn)子表面為圓形曲線更復(fù)雜的形狀,加工和檢查更加困難。干式螺桿真空泵優(yōu)點(diǎn)和缺點(diǎn):伴隨著在我國(guó)工業(yè)的發(fā)展趨勢(shì),對(duì)清理真空環(huán)境的規(guī)定愈來愈**式螺桿真空泵由于具有抽速范圍寬、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、無摩擦、使用壽命長(zhǎng)、能耗低、無油污染等優(yōu)點(diǎn),越來越受到制造和應(yīng)用單位的重視。干式螺桿真空泵選用一對(duì)螺桿,具備高精密轉(zhuǎn)子動(dòng)平衡作用,按滾子軸承支撐架,安裝在泵體上,螺桿中間和一定空隙中間,因而干式螺桿真空泵在工作中房間內(nèi)不容易造成磨擦,干式螺桿真空泵可消化吸收蒸氣,機(jī)械泵較高。是在我國(guó)運(yùn)用的磁力泵關(guān)鍵靠進(jìn)口,很貴了。干式螺桿真空泵,它應(yīng)用一對(duì)螺絲在防水套管內(nèi)同歩轉(zhuǎn)速比反方向轉(zhuǎn)動(dòng)并造成吸附力。順著油封式真空泵的優(yōu)點(diǎn)填補(bǔ)了不夠,我們稱作更新油封式真空泵。而干式螺桿真空泵的成本費(fèi)都是其存在的不足。下文介紹了其優(yōu)缺點(diǎn):干式螺桿真空泵具備在工作中腔和擠出機(jī)螺桿電機(jī)轉(zhuǎn)子表面耐腐蝕鍍層的優(yōu)勢(shì),可以融入泵內(nèi)的非縮小壞汽體。沃德氣體始終以適應(yīng)和促進(jìn)工業(yè)發(fā)展為宗旨。四川羅茨干式真空泵

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    重新裝配的真空泵應(yīng)進(jìn)行幾個(gè)小時(shí)的運(yùn)轉(zhuǎn)試驗(yàn),以觀察是否達(dá)到使用要求)真空泵的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)真空泵的結(jié)構(gòu):(1)真空泵總體結(jié)構(gòu)型式真空泵的泵體的布置結(jié)構(gòu)決定了泵的總體結(jié)構(gòu)。立式結(jié)構(gòu)的進(jìn)、排氣口水平設(shè)置,裝配和連接管路都比較方便。但泵的重心較高,在高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)穩(wěn)定性差,故這種型式多用于小泵。真空泵臥式泵的進(jìn)氣口在上,排氣口在下。有時(shí)為了真空系統(tǒng)管道安裝連接方便,可將排氣口從水平方向接出,即進(jìn)、排氣方向是相互垂直的。此時(shí),排氣口可以從左或右兩個(gè)方向開口,除接排氣管道一端外,另一端堵死或接旁通閥。這種泵結(jié)構(gòu)重心低,高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)穩(wěn)定性好。一般大、中型泵多采用此種結(jié)構(gòu)。真空泵的兩個(gè)轉(zhuǎn)子軸與水平面垂直安裝。這種結(jié)構(gòu)裝配間隙容易控制,轉(zhuǎn)子裝配方便,泵占地面積小。但泵重心較高且齒輪拆裝不便,潤(rùn)滑機(jī)構(gòu)也相對(duì)復(fù)雜。(2)真空泵的傳動(dòng)方式真空泵的兩個(gè)轉(zhuǎn)子是通過一對(duì)高精度齒輪來實(shí)現(xiàn)其相對(duì)同步運(yùn)轉(zhuǎn)的。主動(dòng)軸通過聯(lián)軸器與電機(jī)聯(lián)接。在傳動(dòng)結(jié)構(gòu)布置上主要有以下兩種:其一是電動(dòng)機(jī)與齒輪放在轉(zhuǎn)子的同一側(cè)如圖。從動(dòng)轉(zhuǎn)子由電動(dòng)機(jī)端齒輪直接傳過去帶動(dòng),這樣主動(dòng)轉(zhuǎn)子軸的扭轉(zhuǎn)變形小,則兩個(gè)轉(zhuǎn)子之間的間隙不會(huì)因主動(dòng)軸的扭轉(zhuǎn)變形大而改變。青海無油干式真空泵銷售

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